Хагас дамжуулагч үйлдвэрлэлийн салбарт микроноос доош нарийвчлал нь чипийн гүйцэтгэлийг хангах гол түлхүүр бөгөөд (ZHHIMG®) боржин чулуун суурь нь материалын шинж чанар, нарийн боловсруулалт, шинэлэг дизайнтай тул энэхүү нарийвчлалд хүрэх гол баталгаа болсон.
Материалын шинж чанарын үүднээс авч үзвэл, ZHHIMG®-ийн сонгосон хар боржин чулуу нь ойролцоогоор 3100кг/м³ нягтралтай бөгөөд нягт дотоод бүтэцтэй. Энэхүү өндөр нягтрал нь гайхалтай тогтвортой байдал, хатуулаг чанарыг өгдөг. Хагас дамжуулагч тоног төхөөрөмжийг ажиллуулах явцад хөдөлгүүрийн эргэлт болон тоног төхөөрөмжийн доторх механик эд ангиудын хөдөлгөөн нь чичиргээ үүсгэдэг. Боржин суурь нь чичиргээний энергийн 90 гаруй хувийг үр дүнтэй шингээж, тоног төхөөрөмжийн нарийвчлалд чичиргээний нөлөөллийг мэдэгдэхүйц бууруулдаг. Үүний зэрэгцээ, дулааны тэлэлтийн маш бага коэффициент нь орчны температур өөрчлөгдөх үед деформациа маш бага хүрээнд байлгах боломжийг олгодог бөгөөд хагас дамжуулагч тоног төхөөрөмжийн тогтвортой тулгуур суурийг бий болгож, температурын өөрчлөлтөөс болж тоног төхөөрөмжийн эд ангиуд шилжихээс сэргийлж, нарийвчлалд нөлөөлж болзошгүй юм.
Боловсруулалт болон үйлдвэрлэлийн хувьд ZHHIMG® үйлдвэр нь олон улсын дэвшилтэт боловсруулах тоног төхөөрөмжийг ашигладаг бөгөөд боржин чулуун дээр өндөр нарийвчлалтай нунтаглах боломжтой дөрвөн супер том нунтаглах машинтай (машин тус бүр 500,000 ам.доллараас дээш үнэтэй). Таван тэнхлэгийн холбоос CNC боловсруулалт болон бусад процессоор дамжуулан машины суурийн тэгш байдал нь нанометрийн түвшинд хүрч, хагас дамжуулагч тоног төхөөрөмжийг суурилуулах хэт хавтгай лавлах гадаргууг хангаж, тоног төхөөрөмжийн бүрэлдэхүүн хэсэг бүрийн нарийн байрлалыг баталгаажуулдаг. Түүнчлэн, тогтмол температур, чийгшлийн цех (10,000 хавтгай дөрвөлжин метр талбайг хамардаг) нь боловсруулалтын тогтвортой орчныг бүрдүүлдэг. Эргэн тойронд нь 500 мм өргөн, 2000 мм гүн чичиргээний эсрэг суваг, мөн чимээгүй тогоруу нь гадны чичиргээний хөндлөнгийн оролцоог үр дүнтэй тусгаарлаж, машины суурийн боловсруулалтын нарийвчлалыг баталгаажуулдаг.
Үүнээс гадна, ZHHIMG® нь мөн хүчтэй тохируулгын чадвартай. Хагас дамжуулагч төхөөрөмжийн тусгай шаардлагын дагуу тоног төхөөрөмж болон суурийн хооронд төгс нийцтэй байдлыг хангахын тулд нарийн суурилуулах нүх, кабелийн тавиурыг урьдчилан бэлтгэж болно. Үүний зэрэгцээ, Германы Махр минутын хэмжүүр (0.5 мкм нарийвчлалтай) болон Швейцарийн WYLER электрон түвшин зэрэг дэлхийн хэмжээний хэмжил зүй, туршилтын тоног төхөөрөмжтэй хослуулан машины суурийг нарийн шалгаж, тохируулж, машины суурь бүр хагас дамжуулагч төхөөрөмжийн субмикрон түвшний нарийвчлалын хатуу шаардлагыг хангаж чадах эсэхийг баталгаажуулдаг.
Эдгээр давуу талуудын хослол нь ZHHIMG® боржин чулуун суурийг хагас дамжуулагч тоног төхөөрөмжид микроноос бага нарийвчлалтай ажиллах найдвартай сонголт болгож, хагас дамжуулагч үйлдвэрлэлийг илүү өндөр нарийвчлалтай салбар руу чиглүүлэхэд тусалдаг.
Нийтэлсэн цаг: 2025 оны 6-р сарын 18