Хагас дамжуулагчийн үйлдвэрлэлийн салбарт микро микроны нарийвчлал нь чипийн гүйцэтгэлийг хангах түлхүүр бөгөөд (ZHHIMG®) боржин чулуун суурь нь материалын шинж чанар, нарийн боловсруулалт, шинэлэг дизайн нь энэхүү нарийвчлалд хүрэх гол баталгаа болсон.
Материалын шинж чанарын үүднээс авч үзвэл ZHHIMG®-ийн сонгосон хар боржин нь ойролцоогоор 3100кг/м³ нягттай, нягт дотоод бүтэцтэй. Энэхүү өндөр нягтрал нь түүнд гайхалтай тогтвортой байдал, хатуу байдлыг өгдөг. Хагас дамжуулагч төхөөрөмжийг ажиллуулах явцад хөдөлгүүрийн эргэлт, тоног төхөөрөмжийн доторх механик эд ангиудын хөдөлгөөн нь чичиргээ үүсгэдэг. Боржин чулуун суурь нь чичиргээний энергийн 90 гаруй хувийг үр дүнтэй шингээж чаддаг тул чичиргээний төхөөрөмжийн нарийвчлалд үзүүлэх нөлөөллийг эрс багасгадаг. Үүний зэрэгцээ түүний дулааны тэлэлтийн маш бага коэффициент нь орчны температурын хэлбэлзэлтэй үед хэв гажилтаа маш бага хязгаарт байлгах боломжийг олгодог бөгөөд хагас дамжуулагч төхөөрөмжид тогтвортой тулгуур суурийг бүрдүүлж, температурын өөрчлөлтөөс шалтгаалан төхөөрөмжийн бүрэлдэхүүн хэсгүүдийн шилжилт хөдөлгөөнөөс сэргийлж, нарийвчлалд нөлөөлж болзошгүй юм.
Боловсруулалт, үйлдвэрлэлийн хувьд ZHHIMG® үйлдвэр нь олон улсын дэвшилтэт боловсруулах тоног төхөөрөмжийг нэвтрүүлсэн бөгөөд боржин чулууг өндөр нарийвчлалтай нунтаглах чадвартай дөрвөн супер том нунтаглах машинтай (машины нэг бүр нь 500,000 доллараас дээш үнэтэй). Таван тэнхлэгт холболтын CNC боловсруулалт болон бусад процессуудын тусламжтайгаар машины суурийн тэгш байдал нь нанометрийн түвшинд хүрч, хагас дамжуулагч төхөөрөмжийг суурилуулахад хэт хавтгай жишиг гадаргууг хангаж, тоног төхөөрөмжийн бүрэлдэхүүн хэсэг бүрийн нарийн байрлалыг баталгаажуулдаг. Түүнчлэн тогтмол температур, чийгшлийн цех (10,000 метр квадрат талбайг хамарсан) нь боловсруулалтын тогтвортой орчинг бүрдүүлдэг. Түүний эргэн тойронд чичиргээнээс хамгаалах 500 мм өргөн, 2000 мм гүн суваг шуудуу, чимээгүй тогоруунууд нь гадны чичиргээний хөндлөнгийн оролцоог үр дүнтэй тусгаарлаж, машины суурийн боловсруулалтын нарийвчлалыг баталгаажуулдаг.
Нэмж дурдахад ZHHIMG® нь маш сайн тохируулах чадвартай. Хагас дамжуулагч төхөөрөмжийн тусгай шаардлагын хувьд тоног төхөөрөмж ба суурийн хооронд төгс нийцтэй байхын тулд нарийн суурилуулах нүх, кабелийн тавиурыг угсарч болно. Үүний зэрэгцээ Германы Mahr минут хэмжигч (0.5 мм-ийн нарийвчлалтай) болон Швейцарийн WYLER цахим түвшин зэрэг дэлхийн жишигт нийцсэн хэмжилзүйн болон туршилтын төхөөрөмжтэй хослуулан машины суурь бүрийг дэд микроны хагас дамжуулагч түвшний тоног төхөөрөмжийн хатуу шаардлагыг хангаж чадах эсэхийг шалгахын тулд машины суурийг нарийн шалгаж, тохируулсан болно.
Чухам эдгээр давуу талуудын хослол нь ZHHIMG® боржин чулуун суурийг хагас дамжуулагч төхөөрөмжид микроноос бага нарийвчлалтай болгох найдвартай сонголт болгож, хагас дамжуулагчийн үйлдвэрлэлийг илүү нарийвчлалтай талбарт шилжүүлэхэд тусалдаг.
Шуудангийн цаг: 2025 оны 6-р сарын 18