.
.
Хагас дамжуулагчийн үйлдвэрлэлийн нарийн ертөнцөд өргүүрийг үл эвдэх туршилт нь чипний чанарыг баталгаажуулах гол холбоос юм. Ач холбогдолгүй мэт санагдах боржин чулуун суурь нь үнэн хэрэгтээ илрүүлэх нарийвчлалыг тодорхойлдог "нэргүй баатар" юм. Энэ нь туршилтын үр дүнд хэрхэн нөлөөлдөг вэ? Энэ нийтлэл нь материалын шинж чанар, бүтцийн дизайн зэрэг хэмжигдэхүүнүүдээс гүнзгий дүн шинжилгээ хийх болно. .
1. Тогтвортой суурь: Боржингийн байгалийн давуу тал нь нарийвчлалын бат бөх суурийг тавьдаг
1. Газар хөдлөлтийн маш сайн үзүүлэлттэй
Өргөст үл эвдэх туршилтын төхөөрөмжийг ажиллуулах явцад моторын эргэлт, механик эд ангиудын хөдөлгөөн нь чичиргээ үүсгэдэг. Хэрэв эдгээр чичиргээг үр дүнтэй дарахгүй бол туршилтын нарийвчлалд ноцтой саад учруулах болно. Боржингийн дотоод хэсэг нь кварц, хээрийн жонш зэрэг эрдсийн талстуудтай нягт холбоотой байдаг. Түүний өвөрмөц бүтэц нь байгалийн чичиргээ шингээх чадвартай бөгөөд тоног төхөөрөмжийн чичиргээний энергийн 90 гаруй хувийг шингээх чадвартай. Тодорхой хагас дамжуулагч үйлдвэрлэгчийн бодит хэмжилтийн өгөгдөл нь боржингийн суурийг ашигласны дараа илрүүлэх төхөөрөмжийн чичиргээний далайцыг 12 μм-ээс 2μм болгон бууруулж, чичиргээнээс үүдэлтэй илрүүлэх дохионы хазайлтаас үр дүнтэйгээр зайлсхийж байгааг харуулж байна. .
2. Дулааны тэлэлтийн маш бага коэффициент
Илрүүлэх явцад төхөөрөмжийн халаалт, орчны температурын өөрчлөлт зэрэг хүчин зүйлүүд бүгд машины суурийн тогтвортой байдалд нөлөөлнө. Энгийн материал нь халах үед ихээхэн өргөжиж, харин боржингийн дулааны тэлэлтийн коэффициент нь гангийнхаас ердөө 1/5 байна. Орчны температур 10℃ хэлбэлзэлтэй байсан ч түүний хэв гажилтыг үл тоомсорлож болно. Энэ нь боржин чулуун суурь нь хяналтын тоног төхөөрөмжийн тогтвортой лавлах платформоор хангах боломжийг олгож, хяналтын датчик ба ялтсуудын хоорондох харьцангуй байрлалыг үргэлж үнэн зөв хэвээр байлгаж, дулааны хэв гажилтаас шалтгаалсан шалгалтын алдаанаас зайлсхийх боломжийг олгодог. .
Хоёрдугаарт, нарийн дизайн: Бүтцийн оновчлол нь илрүүлэх найдвартай байдлыг улам сайжруулдаг
Өндөр нарийвчлалтай боловсруулалт, тэгш байдлын баталгаа
Өндөр чанартай боржин чулуун суурийг таван тэнхлэгт холбох дэвшилтэт CNC технологиор боловсруулж, ±0.5μm/m-ийн тэгш хэмтэй, хяналтын төхөөрөмжид хэт хавтгай суурилуулах лавлагаа өгдөг. Өргөст цаасны шалгалтын хувьд хяналтын датчикийн босоо байдал, тэгш байдал нь хяналтын үр дүнд чухал үүрэг гүйцэтгэдэг. Өндөр нарийвчлалтай боржин чулуун суурь нь датчикийн нарийн байрлалыг баталгаажуулж, шалгалтын өгөгдлийг илүү үнэн зөв, найдвартай болгодог. .
2. Захиалгат бүтцийн дасан зохицох
Боржингийн машины суурийг янз бүрийн ялтсанд үл эвдэх туршилтын төхөөрөмж, процессын шаардлагад тохируулан өөрчилж болно. Жишээлбэл, гэрлийн тусгалын оптик хяналтын төхөөрөмжийн шаардлагыг хангахын тулд машины суурийн гадаргууг тусгайлан боловсруулж болно; Хэт авианы туршилтын төхөөрөмжийг суурилуулах шаардлагыг хангахын тулд суурийг нарийн суурилуулах нүх, кабелийн тавиураар угсарч, уг төхөөрөмжийг хурдан бөгөөд үнэн зөв суурилуулах боломжийг олгож, суурилуулалтын алдаанаас үүдэлтэй илрүүлэх хазайлтыг багасгах боломжтой. .
Iii. Урт хугацааны тогтвортой байдал: Тоног төхөөрөмжийн засвар үйлчилгээнээс үүдэлтэй нарийвчлалын алдагдлыг бууруулна
Боржин чулуу нь өндөр хатуулагтай, элэгдэлд тэсвэртэй, Mohs хатуулаг нь 6-7 байдаг нь энгийн гангаас 3 дахин их элэгдэлд тэсвэртэй байдаг. Удаан хугацааны хяналтын үйл ажиллагааны явцад машины суурийн гадаргуу нь элэгдэлд өртөмтгий биш бөгөөд үргэлж сайн нарийвчлалыг хадгалж чаддаг. Үүний эсрэгээр, бусад материалаар хийсэн суурь нь элэгдэл, элэгдлээс шалтгаалан төхөөрөмжийн суурилуулалтын лавлагаанд өөрчлөлт оруулж, улмаар илрүүлэх нарийвчлалд нөлөөлж, тогтмол тохируулга, засвар үйлчилгээ шаарддаг. Боржин чулуун суурийн урт хугацааны ашиглалтын хугацаа, өндөр тогтвортой байдал нь тоног төхөөрөмжийн засвар үйлчилгээний давтамжийг үр дүнтэй бууруулж, засвар үйлчилгээний явцад гарч болох нарийвчлалыг алдах эрсдлийг бууруулдаг. .
Цочролд тэсвэртэй, халуунд тэсвэртэй байхаас эхлээд нарийн хийц хүртэл боржин чулуун суурийн бүх шинж чанар нь ялтсуудыг үл эвдэх туршилтын нарийвчлалыг баталгаажуулдаг. Хагас дамжуулагчийн үйлдвэрлэлийн эрин үед дээд зэргийн нарийвчлалыг эрэлхийлж байгаа өнөө үед өндөр чанартай боржин чулуун суурийг сонгох нь туршилтын үр дүнгийн үнэн зөв, найдвартай байдалд даатгал нэмж өгөхтэй адил юм. .
Шуудангийн цаг: 2025 оны 6-р сарын 18