Хагас дамжуулагчийн үйлдвэрлэл, оптик багажийн угсралт зэрэг дэвшилтэт салбарт олон тэнхлэгт нарийвчлалтай ажлын хүснэгтээр дэд микрон эсвэл бүр нанометрийн түвшний байршлын нарийвчлалыг эрэлхийлэх нь хязгааргүй юм. Өндөр нягтралтай боржин чулуу (≥3100кг/м³ нягттай) нь өвөрмөц физик шинж чанараараа ажлын ширээний ажиллагааг оновчтой болгох гол материал болж байна. Дараах нь үндсэн дөрвөн хэмжигдэхүүнээс түүний орлуулашгүй давуу талуудын дүн шинжилгээ юм.
1. Гайхалтай тогтвортой байдал: Чичиргээний хөндлөнгийн оролцоог дарах "байгалийн хаалт"
Олон тэнхлэгт ажлын ширээ нь өндөр хурдтай хөдөлгөөнд (шугаман хурд нь 500мм/с-ээс их) эсвэл олон тэнхлэгт холбогдсон үед нарийн төвөгтэй чичиргээ үүсэх хандлагатай байдаг. Өндөр нягтралтай боржингийн дотоод эрдсийн тоосонцор нь хоорондоо нягт уялдаатай, байгалийн давтамж нь 10-20 Гц ба гадаад чичиргээний энергийн 90 гаруй хувийг шингээж чаддаг. Хагас дамжуулагч чип баглаа боодлын явцад ажлын ширээний шилжилтийн алдааг ±0.5μm-ийн дотор хянаж, чичиргээнээс үүдэлтэй утсыг офсет эсвэл чип гэмтлээс зайлсхийх боломжтой. Уламжлалт цутгамал төмрийн материалтай харьцуулахад боржингийн чичиргээ саармагжуулах хурд нь гурав дахин хурдан бөгөөд боловсруулалтын тууштай байдлыг мэдэгдэхүйц сайжруулдаг.
2. Дулааны тогтвортой байдал: Температурын хэлбэлзлийн эсрэг "Тогтворжуулах зангуу"
Нарийвчлалтай боловсруулах орчинд 0.1 ℃ температурын өөрчлөлт нь 0.1 μm / м-ийн материалын деформацид хүргэдэг. Өндөр нягтралтай боржингийн дулааны тэлэлтийн коэффициент нь зөвхөн (4-8) ×10⁻⁶/℃ бөгөөд энэ нь хөнгөн цагааны хайлшийн 1/6 орчим байна. Оптик линз нунтаглах гэх мэт өндөр нарийвчлалтай хувилбаруудад цехийн температур ±2℃-аар хэлбэлзэж байсан ч боржин чулуун суурь нь ажлын ширээний гол бүрэлдэхүүн хэсгүүдийн микроны түвшний байршлын нарийвчлалыг хадгалж, линзний муруйлтын алдаа 0.01D-ээс бага буюу салбарын стандартаас хол давсан байх болно.
3. Хэт өндөр хөшүүн чанар: Хүнд даацыг даах "Хатуу суурийн чулуу"
Олон тэнхлэгт ажлын ширээ нь ихэвчлэн лазер толгой, датчикийн массив (нэг тэнхлэгийн ачаалал 200 кг-аас дээш) зэрэг хүнд эд ангиудаар тоноглогдсон байдаг. Өндөр нягтралтай боржингийн шахалтын бат бэх нь ≥200МПа бөгөөд байнгын хэв гажилтгүйгээр 1000кг/м²-аас дээш жигд ачааллыг тэсвэрлэх чадвартай. Сансар огторгуйн тодорхой аж ахуйн нэгж энэ материалыг хүлээн авсны дараа түүний таван тэнхлэгтэй ажлын ширээ нь 500 кг боловсруулах ачааллыг даах үед Z тэнхлэгийн босоо байдлын алдаа ердөө 0.3 μм-ээр нэмэгдэж, нарийн төвөгтэй муруй гадаргуугийн боловсруулалтын нарийвчлалыг үр дүнтэй баталгаажуулсан.
4. Удаан эдэлгээтэй байх: Амьдралын мөчлөгийн нийт зардлыг бууруулна
Боржингийн Mohs хатуулаг нь 6-7 хүрдэг бөгөөд элэгдлийн эсэргүүцэл нь энгийн гангаас тав дахин их байдаг. Өдөрт дунджаар 16 цаг ажилладаг 3С бүтээгдэхүүн үйлдвэрлэх шугамд боржин чулуун суурь нь 8-10 жилийн хугацаанд засвар үйлчилгээ шаарддаггүй бөгөөд цутгамал төмрийн суурь нь 3 жилийн дараа чиглүүлэгч төмөр замын контакт гадаргуу дээр (гүн > 5 μм) элэгдэлд ордог. Нэмж дурдахад түүний химийн идэвхгүй байдал нь хүчиллэг ба шүлтлэг орчинд Ra≤0.2μm гадаргуугийн барзгар байдлыг хадгалах боломжийг олгодог бөгөөд сараалжтай захирагч, шугаман мотор зэрэг нарийн эд ангиудыг суурилуулах тогтвортой лавлагааг тасралтгүй хангадаг.
Дүгнэлт: Өндөр нягтралтай боржин чулуу - Нарийвчлалтай үйлдвэрлэлийн "далд аварга"
Нано хэмжээний байршил тогтоохоос эхлээд хүнд даацын боловсруулалт хүртэл өндөр нягтралтай боржин чулуу нь хосгүй иж бүрэн гүйцэтгэлээрээ олон тэнхлэгт нарийвчлалтай ажлын ширээний техникийн стандартыг шинэчилж байна. Дээд зэргийн нарийвчлал, найдвартай байдлыг эрэлхийлдэг аж ахуйн нэгжүүдийн хувьд өндөр чанарын боржин чулуун суурийг (ISO гурван системээр баталгаажсан ZHHIMG® бүтээгдэхүүн гэх мэт) сонгох нь одоогийн үйлдвэрлэлийн баталгаа төдийгүй цаашдын үйл явцыг шинэчлэхэд стратегийн хөрөнгө оруулалт болно.
Шуудангийн цаг: 2025-06-09