Хагас дамжуулагч үйлдвэрлэл, оптик багаж угсралт зэрэг дэвшилтэт салбарт олон тэнхлэгтэй нарийвчлалтай ажлын ширээ ашиглан микроноос доош буюу бүр нанометрийн түвшний байршлын нарийвчлалыг эрэлхийлэх нь төгсгөлгүй юм. Өндөр нягтралтай боржин чулуу (≥3100кг/м³ нягтралтай) нь өвөрмөц физик шинж чанараасаа шалтгаалан ажлын ширээний гүйцэтгэлийг оновчтой болгох гол материал болж байна. Доорх нь дөрвөн цөм хэмжээсээс хамааран түүний орлуулшгүй давуу талуудын шинжилгээ юм.
1. Гайхалтай тогтвортой байдал: Чичиргээний хөндлөнгийн оролцоог дарах "байгалийн саад"
Олон тэнхлэгтэй ажлын ширээ өндөр хурдтай хөдөлгөөнд (шугаман хурд нь 500мм/с-ээс хэтэрсэн) эсвэл олон тэнхлэгтэй холбоостой үед нарийн төвөгтэй чичиргээ үүсэх хандлагатай байдаг. Өндөр нягтралтай боржин чулуун доторх эрдэс хэсгүүд нь хоорондоо нягт уялдаатай, 10-20Гц хүртэлх байгалийн давтамжтай бөгөөд гадаад чичиргээний энергийн 90%-иас илүүг шингээж чаддаг. Хагас дамжуулагч чип савлах процесст ажлын ширээний шилжилтийн алдааг ±0.5μm дотор хянаж, утас солигдох эсвэл чипний эвдрэлээс зайлсхийх боломжтой. Уламжлалт цутгамал төмрийн материалтай харьцуулахад боржин чулуун чичиргээний бууралтын хурд нь гурван дахин хурдан бөгөөд боловсруулалтын тогтвортой байдлыг мэдэгдэхүйц сайжруулдаг.
2. Дулааны тогтвортой байдал: Температурын хэлбэлзлийн эсрэг "Тогтворжуулагч зангуу"
Нарийвчлалтай боловсруулах орчинд 0.1℃ температурын өөрчлөлт нь материалын 0.1μm/m деформацид хүргэж болзошгүй. Өндөр нягтралтай боржин чулууны дулааны тэлэлтийн коэффициент нь ердөө (4-8) ×10⁻⁶/℃ бөгөөд энэ нь хөнгөн цагааны хайлшийнхаас ойролцоогоор 1/6 байна. Оптик линз нунтаглах зэрэг өндөр нарийвчлалтай нөхцөлд цехийн температур ±2℃-ээр хэлбэлзсэн ч боржин чулуун суурь нь ажлын ширээний гол бүрэлдэхүүн хэсгүүдийн микрон түвшний байршлын нарийвчлалыг хадгалж, линзний муруйлтын алдаа 0.01D-ээс бага байхаар баталгаажуулж, салбарын стандартаас хамаагүй давсан байна.
3. Хэт өндөр хатуулаг: Хүнд ачаа даах зориулалттай "Бат бөх суурь чулуу"
Олон тэнхлэгтэй ажлын ширээ нь ихэвчлэн лазер толгой, датчик массив (нэг тэнхлэгийн ачаалал 200кг-аас дээш) зэрэг хүнд эд ангиудаар тоноглогдсон байдаг. Өндөр нягтралтай боржин чулууны шахалтын бат бэх нь ≥200MPa бөгөөд байнгын деформацигүйгээр 1000кг/м²-ээс дээш жигд ачааллыг тэсвэрлэх чадвартай. Тодорхой сансрын аж ахуйн нэгж энэ материалыг нэвтрүүлсний дараа таван тэнхлэгтэй ажлын ширээ нь 500кг боловсруулах ачааллыг даах үед Z тэнхлэгийн босоо байдлын алдаа ердөө 0.3μm-ээр нэмэгдэж, нарийн төвөгтэй муруй гадаргуугийн боловсруулалтын нарийвчлалыг үр дүнтэйгээр баталгаажуулсан.
4. Урт хугацааны бат бөх чанар: Нийт ашиглалтын хугацааны зардлыг бууруулна
Боржин чулууны Мохсын хатуулаг нь 6-7 хүрдэг бөгөөд элэгдэлд тэсвэртэй байдал нь ердийн гангаас тав дахин их байдаг. Өдөрт дунджаар 16 цаг ажилладаг 3C бүтээгдэхүүний үйлдвэрлэлийн шугамд боржин чулуун суурь нь 8-10 жилийн турш засвар үйлчилгээ шаарддаггүй ажиллах боломжтой бол цутгамал төмөр суурь нь 3 жилийн дараа чиглүүлэгч төмөр замын хүрэлцэх гадаргуу дээр (гүн > 5μм) элэгдэлд ордог. Үүнээс гадна, химийн идэвхгүй байдал нь хүчиллэг болон шүлтлэг орчинд Ra≤0.2μм гадаргуугийн барзгар байдлыг хадгалах боломжийг олгодог бөгөөд торны шугам, шугаман мотор зэрэг нарийн эд ангиудын тогтвортой суурилуулалтын лавлагааг тасралтгүй хангаж өгдөг.
Дүгнэлт: Өндөр нягтралтай боржин чулуу - Нарийвчлалтай үйлдвэрлэлийн "Нууц аварга"
Нано хэмжээний байрлалаас эхлээд хүнд даацын боловсруулалт хүртэл өндөр нягтралтай боржин чулуу нь хосгүй цогц гүйцэтгэлээрээ олон тэнхлэгтэй нарийвчлалтай ажлын ширээний техникийн стандартыг өөрчилж байна. Хамгийн дээд зэргийн нарийвчлал, найдвартай байдлыг эрэлхийлдэг аж ахуйн нэгжүүдийн хувьд өндөр чанартай боржин чулуун суурийг (жишээлбэл, ISO гурван системээр баталгаажсан ZHHIMG® бүтээгдэхүүн) сонгох нь одоогийн үйлдвэрлэлийн баталгаа төдийгүй ирээдүйн үйл явцыг шинэчлэх стратегийн хөрөнгө оруулалт юм.
Нийтэлсэн цаг: 2025-06-09