Чип үйлдвэрлэх нарийвчлалын лабораторид онцгой бус мэт санагдах "тайзны ард байгаа баатар" байдаг - боржин чулуун машины суурь. Энэ чулууг дутуу үнэлж болохгүй. Энэ бол вафлиг эвдэхгүй туршилтын нарийвчлалыг хангах түлхүүр юм! Өнөөдөр энэ нь илрүүлэх төхөөрөмжийг хэрхэн үргэлж "хэвтээ ба босоо" байлгадаг болохыг харцгаая.
1. "Тогтвортой ген"-тэй төрсөн
Боржин чулуу бол энгийн чулуу биш. Түүний дотоод бүтэц нь нягт холбогдсон "эрдэс эвлүүлдэг тоглоом" шиг юм. Кварц, хээрийн жонш болон бусад талстууд нь маш өндөр нягтралтай, бараг хоосон зайгүй нягт байрладаг. Энэ нь бат бөх, тогтвортой төмөр бетоноор байшин барихтай адил юм. Хяналтын төхөөрөмж дээр "суурьсан" үед, хэдэн тонн жинтэй байсан ч боржин чулуун суурийн хэв гажилт нь маш бага, гангийнхаас аравны нэгтэй тэнцүү байна!
Бүр гайхалтай нь температурын өөрчлөлтөөс бараг айдаггүй явдал юм. Энгийн металл материалууд халах үед "тэлж, жин нэмдэг", хөргөх үед "агшиж, нимгэрдэг" хандлагатай байдаг. Гэсэн хэдий ч боржин чулуу нь "тогтмол температурын ид шид"-тэй юм шиг санагддаг. Температур 1°C-ээр хэлбэлзэх үед түүний тэлэлт, агшилт нь хүний үснийхээс мянга дахин их байдаг. Туршилтын лабораторийн температур бага зэрэг өөрчлөгдсөн ч боржин чулуун суурь нь тоног төхөөрөмжийг бат бөх барьж, тэгш байдал "хазайхаас" сэргийлж чадна гэдгийг тэмдэглэх нь зүйтэй.
Хоёрдугаарт, "чөтгөрийн нарийн ширийн зүйлс"-ийг боловсруулах арга техник
Боржин чулуун суурийг илүү нарийвчлалтай болгохын тулд инженерүүд боловсруулалтад "хар технологи" ашигласан. Таван тэнхлэгтэй нунтаглах машин ингэж ажилладаг тул алмаазаар хийсэн "супер зүлгүүр"-ээр чулууг өнгөлж байна гээд төсөөлөөд үз дээ. Энэ нь гурван алхамаар боржин чулуун гадаргууг толиноос ч хавтгай болгон нунтаглана.
Барзгар нунтаглах: Эхлээд чулуун гадаргуугийн толбыг арилгаж, хүний үсний хорин нэг хүртэл тэгш байдлыг хянана.
Хагас нарийн нунтаглах: Цаашид боловсронгуй болгох, тэгш байдлыг хүний үсний тавин нэг хүртэл нэмэгдүүлэх.
Нарийн нунтаглах: Эцэст нь хэт нарийн нунтаглах нунтагаар өнгөлж, хүний үсний мянганы нэгтэй тэнцүү тэгш байдлыг бий болгодог! Энэ үед боржин чулуун суурийн гадаргуу нь үзлэгийн төхөөрөмжид зориулж хийсэн "хэвтээ шат" шиг болдог.
Зарим өндөр зэрэглэлийн бэхэлгээ нь "ухаалаг тархи"-тай байдаг - суурилуулсан өндөр нарийвчлалтай түвшин нь өдөр бүр 24 цагаар жижүүрлэдэг "жижиг харуул" шиг байдаг. Төхөөрөмж 0.01 градусаар хазайсан (үзэгний үзүүрээс бага өнцөг) байгааг илрүүлмэгц гидравлик төхөөрөмж 30 секундын дотор төхөөрөмжийг нэн даруй идэвхжүүлж, "шулуун болгоно".
Гуравдугаарт, ухаалаг дизайн нь тогтвортой байдлыг улам сайжруулдаг
Инженерүүд мөн машины суурийн бүтцийг судалжээ. Ёроол нь зөгийн үүр шиг зургаан өнцөгт үүрний хэлбэртэй бөгөөд энэ нь жинг бууруулаад зогсохгүй даралтыг жигд хуваарилдаг. Илрүүлэгч датчик нь хавтангийн дээр хөдлөхөд суурийн цэг бүр дэх деформаци бараг ижил байдаг тул хэвтээ лавлагаа үргэлж тогтвортой хэвээр байхыг баталгаажуулдаг.
Бүр гайхалтай нь суурь болон газрын хооронд "үл үзэгдэх амортизатор" буюу пьезоэлектрик керамик амортизатор суурилуулсан явдал юм. Энэ нь радар шиг 1-1000Гц хүртэлх янз бүрийн чичиргээг барьж аваад шууд урвуу долгион ялгаруулж, хөндлөнгийн оролцоог "эсрэг" болгодог. Жишээлбэл, хажуу айлын машинуудын ажиллагаа эсвэл гаднаас өнгөрч буй тээврийн хэрэгслийн чичиргээнээс үүссэн чичиргээ нь түүний өмнө "хэрэггүй" байдаг.
Өгөгдөл өөрөө ярьдаг: Үр нөлөө нь хэр хүчтэй вэ?
Практик хэрэглээнд боржин чулуун суурийн гүйцэтгэл үнэхээр гайхалтай:
Оптик үзлэг: Вафер дээрх гадаргуугийн согогийг тодорхойлох нарийвчлалыг 3 микроноос 1 микрон (1 микрон = хүний үсний жаран нэг) болгон сайжруулсан.
Хэт авианы шинжилгээ: Ваферын зузааныг хэмжих алдааг дөрөвний гурваар бууруулсан.
Урт хугацааны хэрэглээ: Нэг жилийн турш тасралтгүй ажилласны дараа тэгш байдлын өөрчлөлт бараг мэдэгдэхүйц биш байдаг бол ердийн машины суурь нь удаан хугацаанд "бөхийх" болсон.
Байгалийн материалын давуу талуудаас эхлээд нарийн боловсруулалт, шинэлэг дизайн хүртэл боржин чулуун суурь нь "бат бөх чанараараа" хэрэв та үйрмэгийг нарийн илрүүлэхийг хүсвэл энэ чулуу үнэхээр зайлшгүй шаардлагатай гэдгийг нотолсон!
Нийтэлсэн цаг: 2025 оны 6-р сарын 18