Босоо нарийвчлалтай моторжуулсан үе шатууд (Z-байршуулагч)
Хэд хэдэн босоо шугаман үе шатууд байдаг бөгөөд тэдгээр нь шаталсан мотороор удирддаг шатнаас пьезо-Z гулзайлтын нанопозитор хүртэл байдаг.Босоо байрлал тогтоох үе шатууд (Z-шат, өргөлтийн үе шатууд эсвэл лифтний үе шатууд) нь анхаарлаа төвлөрүүлэх эсвэл нарийвчлалтай байршил тогтоох, тэгшлэх програмуудад ашиглагддаг бөгөөд оптикаас фотоникийн тэгшитгэл, хагас дамжуулагчийн туршилт хүртэлх өндөр түвшний үйлдвэрлэлийн болон судалгааны програмуудад ихэвчлэн чухал үүрэг гүйцэтгэдэг.Эдгээр бүх xy үе шатууд нь боржин чулуугаар хийгдсэн байдаг.
Зориулалтын Z-үе шат нь хаалтанд босоо суурилуулсан орчуулгын үе шаттай харьцуулахад илүү хатуу, шулуун байдлыг хангаж, байрлуулах дээж рүү бүрэн нэвтрэх боломжийг олгодог.
Олон сонголтууд: Хямд өртөгтэй гишгүүртэй хөдөлгүүрээс эхлээд байрлалыг шууд хариулах зориулалттай битүү эргэлттэй мотор, шугаман кодлогч бүхий өндөр нарийвчлалтай өргөх шат хүртэл янз бүрийн Z-үе шатууд.
Хэт өндөр нарийвчлалтай
вакуум тохирох шугаман байрлал тогтоох үе шатууд.
Шуудангийн цаг: 2022 оны 1-р сарын 18