Хагас дамжуулагч талст ялтсын хяналтын чиглэлээр цэвэр өрөөний орчны цэвэр байдал нь бүтээгдэхүүний гарцаас шууд хамаардаг. Чип үйлдвэрлэх үйл явцын нарийвчлал сайжирч байгаа тул илрүүлэх төхөөрөмжийн зөөвөрлөгчийн тавцанд тавигдах шаардлага улам бүр хатуу болж байна. Боржин чулуун платформууд нь металлын ион ялгаруулдаггүй, тоосонцор багатай бохирдолтой байдаг нь уламжлалт зэвэрдэггүй ган материалыг давж, өрмөнцөр шалгах төхөөрөмжийн давуу тал болсон.
Боржин чулуу нь кварц, хээрийн жонш, гялтгануур зэрэг металл бус эрдэсээс тогтдог байгалийн магмын чулуулаг юм. Энэ шинж чанар нь металын ион ялгарахгүй байх давуу талыг өгдөг. Үүний эсрэгээр, зэвэрдэггүй ган нь төмөр, хром, никель зэрэг металлын хайлшийн хувьд цэвэр өрөөний орчинд усны уур, хүчиллэг эсвэл шүлтлэг хийн элэгдлээс болж гадаргуу дээрээ цахилгаан химийн зэврэлтэнд өртөмтгий байдаг бөгөөд үүний үр дүнд Fe²⁺, Cr³⁺ зэрэг металлын ионуудын хур тунадас үүсдэг. Эдгээр өчүүхэн ионууд хавтанцарын гадаргуу дээр наалдсаны дараа хагас дамжуулагч материалын цахилгаан шинж чанарыг фотолитографи, сийлбэр гэх мэт дараагийн процессуудад өөрчилж, транзисторын босго хүчдэлийн шилжилтийг үүсгэж, хэлхээнд богино холболт үүсгэдэг. Мэргэжлийн байгууллагын туршилтын мэдээллээс үзэхэд боржин чулуун платформыг 1000 цагийн турш дуурайсан цэвэр өрөөний температур, чийгшил (23±0.5℃, 45%±5% RH) -д 1000 цагийн турш байлгасны дараа металлын ионуудын ялгаралт илрүүлэх хязгаараас (< 0.1ppb) бага байсныг харуулж байна. Зэвэрдэггүй ган платформыг ашиглах үед металлын ионы бохирдлоос шалтгаалсан ялтсуудын согогийн түвшин 15% -иас 20% хүртэл өндөр байж болно.
Бөөмийн бохирдлын хяналтын хувьд боржин чулуун платформууд нь маш сайн ажилладаг. Цэвэрлэгээний өрөөнүүд нь агаар дахь түдгэлзүүлсэн тоосонцрын концентрацид маш өндөр шаардлага тавьдаг. Жишээлбэл, ISO 1-р ангиллын цэвэрлэгээний өрөөнд нэг шоо метр талбайд зөвшөөрөгдсөн 0.1μm тоосонцрын тоо 10-аас хэтрэхгүй байна. Зэвэрдэггүй ган платформ нь өнгөлгөөний эмчилгээ хийлгэсэн ч гэсэн тоног төхөөрөмжийн чичиргээ, ажилтнуудын үйл ажиллагаа зэрэг гадны хүчин зүйлийн нөлөөгөөр металлын хог хаягдал, исэлийн хэмжээс гуужиж, илрэх гадаргуугийн замд саад учруулж болзошгүй. Нягт эрдсийн бүтэцтэй (нягт ≥2.7г/см³), өндөр хатуулагтай (Мохсын масштабаар 6-7) боржин чулуун платформууд нь урт хугацааны ашиглалтын явцад элэгдэлд өртөхгүй, эвдэрч гэмтдэггүй. Хэмжилт хийсэн хэмжилтүүд нь зэвэрдэггүй ган платформтой харьцуулахад илрүүлэх төхөөрөмжийн талбайн агаар дахь түдгэлзүүлсэн тоосонцрын концентрацийг 40% -иар бууруулж, цэвэр өрөөний стандартыг үр дүнтэй байлгах боломжтойг харуулж байна.
Цэвэр шинж чанараас гадна боржин чулуун тавцангийн иж бүрэн гүйцэтгэл нь зэвэрдэггүй гангаас хамаагүй давж гардаг. Дулааны тогтвортой байдлын хувьд түүний дулааны тэлэлтийн коэффициент нь зөвхөн (4-8) ×10⁻⁶/℃ буюу зэвэрдэггүй гангийнхаас хоёр дахин бага (ойролцоогоор 17×10⁻⁶/℃) бөгөөд энэ нь цэвэр өрөөний температур өөрчлөгдөх үед илрүүлэх төхөөрөмжийн байршлын нарийвчлалыг илүү сайн хадгалж чадна. Өндөр чийгшүүлэх шинж чанар (дампын харьцаа > 0.05) нь төхөөрөмжийн чичиргээг хурдан бууруулж, илрүүлэх мэдрэгчийг сэгсрэхээс сэргийлдэг. Байгалийн зэврэлтээс хамгаалах чадвар нь гэрэлт тэсвэртэй уусгагч, сийлбэрийн хий болон бусад химийн бодист өртсөн ч нэмэлт бүрэх хамгаалалт шаардлагагүйгээр тогтвортой байх боломжийг олгодог.
Одоогийн байдлаар боржин чулуун платформыг дэвшилтэт валют үйлдвэрлэх үйлдвэрүүдэд өргөнөөр ашиглаж байна. Тоо баримтаас харахад боржин чулуун платформыг ашигласны дараа вафель гадаргуугийн тоосонцор илрүүлэх буруу дүгнэлт 60%-иар буурч, тоног төхөөрөмжийн шалгалт тохируулгын мөчлөг 3 дахин нэмэгдэж, үйлдвэрлэлийн нийт өртөг 25%-иар буурсан байна. Хагас дамжуулагчийн үйлдвэрлэл өндөр нарийвчлал руу шилжихийн хэрээр металлын ион ялгаруулдаггүй, тоосонцор багатай бохирдол зэрэг үндсэн давуу талуудтай боржин чулуун платформууд нь өрмөнцөрийн үзлэгт тогтвортой, найдвартай дэмжлэг үзүүлж, салбарын ахиц дэвшлийг хөдөлгөгч чухал хүч болох болно.
Шуудангийн цаг: 2025 оны 5-р сарын 20-ны хооронд