Аж үйлдвэрийн өвдөлтийн цэг
Гадаргуугийн микроскопийн согогууд нь оптик бүрэлдэхүүн хэсгүүдийн суурилуулалтын нарийвчлалд нөлөөлдөг
Боржингийн бүтэц нь хатуу боловч боловсруулалтын явцад түүний гадаргуу нь бичил харуурын хагарал, элсний нүх болон бусад согогийг үүсгэж болно. Эдгээр жижиг согогууд нь нүцгэн нүдэнд үл үзэгдэх боловч оптик эд ангиудыг суурилуулахад ихээхэн нөлөө үзүүлдэг. Жишээлбэл, өндөр нарийвчлалтай оптик линзийг микроскопийн согогтой боржин чулуун тавцан дээр суурилуулсан үед линз ба платформын хооронд хамгийн тохиромжтой нягт тохируулгад хүрч чадахгүй тул оптик линзний оптик төв нь офсет болж, бүхэл оптик илрүүлэх төхөөрөмжийн оптик замын нарийвчлалд нөлөөлж, эцэст нь илрүүлэх нарийвчлалыг бууруулдаг.
Материал дахь дотоод стрессийг суллах нь платформын хэв гажилтыг үүсгэдэг
Хэдийгээр боржин чулуу нь удаан хугацааны туршид байгалийн хөгшрөлтийн дараа боловч олборлолт, боловсруулалтын явцад дотоод стресс өөрчлөгдөх болно. Цаг хугацаа өнгөрөхөд эдгээр стрессүүд аажмаар гарч ирдэг бөгөөд энэ нь боржингийн тавцангийн хэв гажилтыг үүсгэдэг. Өндөр нарийвчлал шаардсан оптик хяналтын төхөөрөмжид маш бага хэв гажилт нь илрүүлэх оптик замын хазайлтыг үүсгэж болно. Жишээлбэл, лазер интерферометр гэх мэт нарийн оптик илрүүлэх хэрэгсэлд платформын бага зэрэг хэв гажилт нь хөндлөнгийн ирмэгийг нүүлгэн шилжүүлэхэд хүргэж, хэмжилтийн үр дүнд алдаа гаргаж, илрүүлэх мэдээллийн найдвартай байдалд ноцтой нөлөөлнө.
Оптик элементийн дулааны тэлэлтийн коэффициентийг тохируулах нь хэцүү байдаг
Оптик хяналтын төхөөрөмж нь ихэвчлэн янз бүрийн температурын орчинд ажилладаг бөгөөд энэ үед боржин чулуу ба оптик бүрэлдэхүүн хэсгүүдийн дулааны тэлэлтийн коэффициентийн ялгаа нь томоохон сорилт болж байна. Орчны температур өөрчлөгдөхөд энэ хоёрын хоорондох дулааны тэлэлтийн коэффициент үл нийцэхээс шалтгаалан өөр өөр зэрэгтэй тэлэлт үүсгэх бөгөөд энэ нь оптик элемент ба боржингийн платформын хооронд харьцангуй шилжилт эсвэл стресс үүсгэж, улмаар оптик системийн тохируулгын нарийвчлал, тогтвортой байдалд нөлөөлдөг. Жишээлбэл, бага температурт боржингийн агшилтын зэрэг нь оптик шилнийхээс ялгаатай бөгөөд энэ нь оптик эд ангиудыг сулруулж, илрүүлэх төхөөрөмжийн хэвийн ажиллагаанд нөлөөлж болзошгүй юм.
шийдэл
Өндөр нарийвчлалтай гадаргууг боловсруулах үйл явц
Дэвшилтэт нунтаглах, өнгөлөх технологийг ашиглан боржингийн гадаргууг маш нарийн боловсруулдаг. Өндөр нарийвчлалтай CNC төхөөрөмж бүхий хэд хэдэн нарийн нунтаглах процессоор дамжуулан бичил харуурын гадаргууг үр дүнтэй арилгаж, боржингийн гадаргуу нь нанометрийн түвшинд хүртэл тэгш болно. Үүний зэрэгцээ гадаргуугийн чанарыг илүү оновчтой болгох, оптик эд ангиудыг үнэн зөв суурилуулах, гадаргуугийн согогоос үүдэлтэй оптик замын хазайлтыг багасгах, оптик хяналтын төхөөрөмжийн ерөнхий нарийвчлалыг сайжруулахын тулд ион туяа өнгөлөх зэрэг дэвшилтэт технологийг ашигладаг.
Стресс тайлах, урт хугацааны хяналтын механизм
Боржингийн боловсруулалтаас өмнө дулааны хөгшрөлтийн гүн, чичиргээний хөгшрөлтийн боловсруулалт нь дотоод стрессийг хамгийн их хэмжээгээр гаргах. Боловсруулалт дууссаны дараа стресс илрүүлэх дэвшилтэт технологийг платформ дээр иж бүрэн стресст хяналт тавихад ашигладаг. Үүний зэрэгцээ, урт хугацааны тоног төхөөрөмжийн засвар үйлчилгээний файлуудыг байгуулж, боржингийн тавцангийн хэв гажилтыг тогтмол илрүүлэх. Стресс сулрахаас үүссэн бага зэргийн хэв гажилт олдсоны дараа үүнийг нарийн тохируулах процессоор цаг тухайд нь засч, урт хугацааны ашиглалтын явцад платформын тогтвортой байдлыг хангаж, оптик хяналтын төхөөрөмжийн найдвартай суурийг бүрдүүлдэг.
Дулааны менежмент ба материалын тохирох оновчлол
Дулааны тэлэлтийн коэффициентийн зөрүүг харгалзан нэг талаас оптик илрүүлэгч төхөөрөмжийн доторх температурыг нарийн хянах замаар харьцангуй тогтвортой хязгаарт байлгах, температурын өөрчлөлтөөс үүсэх материалын тэлэлтийг багасгах дулааны удирдлагын шинэ системийг боловсруулсан. Нөгөөтэйгүүр, материалыг сонгохдоо боржин чулуу ба оптик бүрэлдэхүүн хэсгүүдийн дулааны тэлэлтийн коэффициентийг бүрэн харгалзан үзэж, ижил төстэй дулааны тэлэлтийн коэффициент бүхий боржингийн сортуудыг сонгож, оптик бүрэлдэхүүн хэсгүүдийн тохирох оновчтой дизайныг гүйцэтгэнэ. Нэмж дурдахад завсрын буфер материал эсвэл уян холболтын бүтцийг хоёулангийнх нь дулааны тэлэлтийн зөрүүгээс үүссэн стрессийг багасгах, оптик системийг өөр өөр температурын орчинд тогтвортой ажиллуулах, илрүүлэх төхөөрөмжийн байгаль орчинд дасан зохицох чадвар, илрүүлэх нарийвчлалыг сайжруулахад ашиглаж болно.
Шуудангийн цаг: 2025-03-24