Хагас дамжуулагч үйлдвэрлэлийн цехэд чип үйлдвэрлэх процессын байгаль орчны нөхцөл, тоног төхөөрөмжийн нарийвчлалд тавигдах шаардлага туйлын өндөр байдаг бөгөөд аливаа бага зэргийн хазайлт нь чипний гарцыг мэдэгдэхүйц бууруулахад хүргэж болзошгүй юм. XYZT нарийн гантри хөдөлгөөний платформ нь нано хэмжээст нарийвчлалд хүрэх бат бөх суурийг бий болгохын тулд платформын бусад хэсгүүдтэй хамтран ажиллахын тулд боржин чулуун эд ангиудад тулгуурладаг.
Маш сайн чичиргээ хаах шинж чанартай
Хагас дамжуулагч үйлдвэрлэлийн цехэд захын тоног төхөөрөмжийн ажиллагаа, ажилчдын эргэн тойронд алхаж байгаа нь чичиргээ үүсгэж болзошгүй. Боржингийн бүрэлдэхүүн хэсгүүдийн дотоод бүтэц нь нягт, жигд, байгалийн өндөр чийгшүүлэгч шинж чанартай, үр ашигтай чичиргээний "саад" юм. Гадны чичиргээг XYZT платформд дамжуулах үед боржин чулуун бүрэлдэхүүн нь чичиргээний энергийн 80 гаруй хувийг үр дүнтэйгээр сулруулж, платформын хөдөлгөөний нарийвчлалд чичиргээний хөндлөнгийн оролцоог бууруулж чадна. Үүний зэрэгцээ платформ нь өндөр нарийвчлалтай агаарын хөвөх чиглүүлэгч системээр тоноглогдсон бөгөөд энэ нь боржин чулуун эд ангиудын хамт ажилладаг. Агаарын хөвөгч хөтөч нь платформын хөдөлгөөнт хэсгүүдийн контактгүй дүүжлүүрийн хөдөлгөөнийг мэдэрч, механик үрэлтийн улмаас үүссэн жижиг чичиргээг багасгахын тулд өндөр даралтын хийнээс үүссэн тогтвортой хийн хальсыг ашигладаг. Энэ хоёр нь хамтдаа чип литографи, сийлбэр зэрэг гол процессуудад платформын байршлын нарийвчлалыг үргэлж нанометрийн түвшинд байлгаж, чичиргээнээс үүдэлтэй чип хэлхээний хэв маягийн хазайлтаас зайлсхийдэг.
Маш сайн дулааны тогтвортой байдал
Цех дэх температур, чийгшлийн хэлбэлзэл нь чип үйлдвэрлэх төхөөрөмжийн нарийвчлалд ихээхэн нөлөөлдөг. Боржингийн дулааны тэлэлтийн коэффициент маш бага, ерөнхийдөө 5-7 ×10⁻⁶/℃, температур өөрчлөгдөхөд хэмжээ нь бараг өөрчлөгддөггүй. Цехийн өдөр шөнийн температурын зөрүү эсвэл тоног төхөөрөмжийн дулааны үйлдвэрлэл нь орчны температурын хэлбэлзлийг үүсгэдэг байсан ч дулааны тэлэлт, агшилтын улмаас платформын хэв гажилтаас урьдчилан сэргийлэхийн тулд боржин чулуун эд ангиудыг тогтвортой байлгах боломжтой. Үүний зэрэгцээ, платформоор тоноглогдсон ухаалаг температурын хяналтын систем нь орчны температурыг цаг тухайд нь хянаж, агааржуулагч, дулаан ялгаруулах төхөөрөмжийг автоматаар тохируулж, цехийн температурыг 20 ° C ± 1 ° C хэмд байлгадаг. Боржин чулуун дулааны тогтвортой байдлын давуу талуудтай хослуулан платформыг урт хугацаанд ажиллуулах, хөдөлгөөний нарийвчлал, чипметр бүрийн стандартад нийцэхийг баталгаажуулна. чип литографийн хэв маягийн хэмжээ үнэн зөв байхын тулд сийлбэрийн гүн жигд байна.
Цэвэр орчны хэрэгцээг хангах
Хагас дамжуулагч үйлдвэрлэх цех нь тоосны тоосонцорыг чипийг бохирдуулахгүйн тулд өндөр цэвэр байдлыг хангах шаардлагатай. Боржин чулуун материал нь өөрөө тоосжилт үүсгэдэггүй, гадаргуу нь гөлгөр, тоос шингээхэд хялбар биш юм. Платформ нь бүхэлдээ гаднах тоосжилтыг багасгахын тулд бүрэн хаалттай эсвэл хагас хаалттай бүтцийн загварыг ашигладаг. Дотор агаарын эргэлтийн системийг цехийн цэвэр агааржуулагчтай холбож, дотоод агаарын цэвэр байдлыг чип үйлдвэрлэхэд шаардагдах түвшинд хүргэнэ. Энэхүү цэвэр орчинд боржин чулуун эд ангиуд нь тоосны элэгдлээс шалтгаалж гүйцэтгэлд нөлөөлөхгүй бөгөөд платформын өндөр нарийвчлалтай мэдрэгч, мотор зэрэг үндсэн бүрэлдэхүүн хэсгүүд нь тогтвортой ажиллаж, чип үйлдвэрлэхэд тасралтгүй, найдвартай нано хэмжээний нарийвчлалын баталгааг өгч, хагас дамжуулагчийн үйлдвэрлэлийг илүү өндөр процесст шилжихэд тусалдаг.
Шуудангийн цаг: 2025 оны 4-р сарын 14