Боржин чулуун эд ангиудыг нарийн үйлдвэрлэлийн салбарт өргөнөөр ашигладаг бөгөөд тэгш байдал нь үндсэн үзүүлэлт болж, түүний гүйцэтгэл, бүтээгдэхүүний чанарт шууд нөлөөлдөг. Боржингийн эд ангиудын тэгш байдлыг илрүүлэх арга, тоног төхөөрөмж, үйл явцын дэлгэрэнгүй танилцуулгыг доор харуулав.
I. Илрүүлэх аргууд
1. Хавтгай болор хөндлөнгийн арга: Оптик багажны суурь, хэт нарийвчлалтай хэмжих платформ гэх мэт боржин чулуун эд ангиудын тэгш байдлыг өндөр нарийвчлалтай илрүүлэхэд тохиромжтой. Хавтгай болор (маш өндөр тэгш байдал бүхий оптик шилэн элемент) нь гэрлийн долгионы хөндлөнгийн зарчмыг ашиглан хавтгай гадаргуу дээр гэрлийн долгионы хөндлөнгийн оролцоог ашиглан хавтгай дээр нягт наалддаг. хөндлөнгийн зурвасууд. Хэрэв гишүүний хавтгай нь төгс тэгш байвал хөндлөнгийн ирмэгүүд нь тэнцүү зайтай зэрэгцээ шулуун шугамууд; Хэрэв онгоц нь хотгор, гүдгэр байвал зах нь нугалж, деформацид орно. Гулзайлтын зэрэг ба захын хоорондох зайнаас хамааран тэгш байдлын алдааг томъёогоор тооцоолно. Нарийвчлал нь нанометр хүртэл байж болох ба жижиг хавтгай хазайлтыг нарийн тодорхойлох боломжтой.
2. Цахим түвшний хэмжих арга: машины багажны ор, том гантри боловсруулах платформ гэх мэт том боржин чулуун эд ангиудад ихэвчлэн ашиглагддаг. Электрон түвшинг хэмжих цэгийг сонгохдоо хэмжилтийн тодорхой замын дагуу хөдөлж, боржингийн бүрэлдэхүүн хэсгийн гадаргуу дээр байрлуулна. Цахим түвшин нь дотоод мэдрэгчээр дамжуулан өөрийн болон таталцлын чиглэлийн хоорондох өнцгийн өөрчлөлтийг бодит цаг хугацаанд хэмжиж, тэгш байдлын хазайлтын өгөгдөл болгон хувиргадаг. Хэмжилт хийхдээ хэмжих сүлжээг барьж, X, Y чиглэлд тодорхой зайд хэмжих цэгүүдийг сонгож, цэг бүрийн өгөгдлийг бүртгэх шаардлагатай. Мэдээлэл боловсруулах программ хангамжид дүн шинжилгээ хийснээр боржин чулуун эд ангиудын гадаргуугийн тэгш байдлыг суурилуулж, хэмжилтийн нарийвчлал нь микроны түвшинд хүрч, ихэнх үйлдвэрлэлийн үзэгдэлд том хэмжээний эд ангиудын тэгш байдлыг илрүүлэх хэрэгцээг хангаж чадна.
3. НУМ илрүүлэх арга: иж бүрэн тэгш байдлыг илрүүлэх тусгай хэлбэрийн хэвэнд зориулсан боржин субстрат гэх мэт нарийн төвөгтэй хэлбэрийн боржин чулуун эд ангиудад хийж болно. НУМ нь датчикаар дамжуулан гурван хэмжээст орон зайд хөдөлж, хэмжилтийн цэгүүдийн координатыг олж авахын тулд боржингийн бүрэлдэхүүн хэсгийн гадаргууд хүрдэг. Хэмжих цэгүүд нь эд ангиудын хавтгайд жигд тархаж, хэмжих торыг бүтээдэг. Төхөөрөмж нь цэг бүрийн координатын өгөгдлийг автоматаар цуглуулдаг. Мэргэжлийн хэмжилтийн программ хангамжийг ашиглан тэгш байдлын алдааг тооцоолохдоо координатын өгөгдлийн дагуу тэгш байдлыг илрүүлэхээс гадна эд ангиудын хэмжээ, хэлбэр, байрлалын хүлцэл болон бусад олон хэмжээст мэдээллийг олж авах боломжтой бөгөөд тоног төхөөрөмжийн нарийвчлалын дагуу хэмжилтийн нарийвчлал нь өөр өөр байдаг, ерөнхийдөө хэдэн микроноос хэдэн арван микроны хооронд, өндөр уян хатан чанар, янз бүрийн төрлийн боржингийн бүрэлдэхүүн хэсгүүдийг илрүүлэхэд тохиромжтой.
II. Туршилтын тоног төхөөрөмжийг бэлтгэх
1. Өндөр нарийвчлалтай хавтгай болор: Боржингийн бүрэлдэхүүн хэсгүүдийг илрүүлэх нарийвчлалын шаардлагын дагуу харгалзах нарийвчлалтай хавтгай болорыг сонгох, тухайлбал нано хэмжээний тэгш байдлыг илрүүлэхэд хэдхэн нанометрийн дотор тэгш байдлын алдаатай хэт нарийвчлалтай хавтгай болор сонгох шаардлагатай бөгөөд хавтгай болорын диаметр нь бүрдэл хэсгийн хамгийн бага хэмжээнээс арай том байх ёстой. илрүүлэх талбай.
2. Цахим түвшин: Өндөр нарийвчлалтай илрүүлэхэд тохиромжтой 0.001мм/м хэмжилтийн нарийвчлалтай цахим түвшин зэрэг хэмжилтийн нарийвчлал нь илрүүлэх хэрэгцээг хангасан цахим түвшинг сонгоно. Үүний зэрэгцээ, хэмжилтийн өгөгдлийг бодит цаг хугацаанд бүртгэх, боловсруулахад хүрэхийн тулд боржин чулууны бүрэлдэхүүн хэсгийн гадаргуу дээр электрон түвшин, өгөгдөл цуглуулах кабель, компьютерийн мэдээлэл цуглуулах програм хангамжийг сайтар шингээж өгөхийн тулд тохирох соронзон ширээний суурийг бэлтгэсэн.
3. Координат хэмжих хэрэгсэл: Боржингийн бүрэлдэхүүн хэсгүүдийн хэмжээ, хэлбэрийн нарийн төвөгтэй байдлын дагуу координат хэмжих хэрэгслийн тохирох хэмжээг сонгох. Том бүрэлдэхүүн хэсгүүд нь том хэмжээний харвалт хэмжигчийг шаарддаг бол нарийн төвөгтэй хэлбэрүүд нь өндөр нарийвчлалтай датчик, хүчирхэг хэмжилтийн программ хангамжийг шаарддаг. Илрүүлэхийн өмнө датчикийн нарийвчлал, координатын байршлын нарийвчлалыг баталгаажуулахын тулд CMM-ийг тохируулна.
III. Туршилтын үйл явц
1. Хавтгай болор интерферометрийн процесс:
◦ Шалгаж буй боржин чулуун эд ангиудын гадаргуу болон тэгш талст гадаргууг цэвэрлэж, усгүй этанолоор арчиж тоос, тос болон бусад хольцыг зайлуулж, тэдгээр нь хоорондоо нягт уялдаатай байх ёстой.
Хавтгай болорыг боржин чулуун элементийн гадаргуу дээр аажмаар байрлуулж, бөмбөлөг үүсэх эсвэл хазайхгүйн тулд хоёрыг бүрэн шүргэхийн тулд бага зэрэг дарна.
◦ Харанхуй өрөөнд нэг өнгийн гэрлийн эх үүсвэрийг (натри чийдэн гэх мэт) ашиглан хавтгай болорыг босоогоор нь гэрэлтүүлж, хөндлөнгийн ирмэгийг дээрээс нь ажиглаж, захын хэлбэр, чиглэл, муруйлт зэргийг тэмдэглэнэ.
◦ Хөндлөнгийн хүрээний өгөгдөл дээр үндэслэн тэгш байдлын алдааг холбогдох томъёогоор тооцоолж, бүрэлдэхүүн хэсгийн тэгш байдлын хүлцлийн шаардлагатай харьцуулж, шаардлага хангасан эсэхийг тодорхойлно.
2. Цахим түвшний хэмжилтийн үйл явц:
◦ Хэмжих цэгийн байршлыг тодорхойлохын тулд боржингийн бүрэлдэхүүн хэсгийн гадаргуу дээр хэмжих торыг зурж, зэргэлдээх хэмжилтийн цэгүүдийн хоорондын зайг бүрэлдэхүүн хэсгийн хэмжээ, нарийвчлалын шаардлагын дагуу үндэслэлтэй, ерөнхийдөө 50-200 мм-ээр тогтооно.
◦ Соронзон ширээний суурин дээр электрон түвшнийг суурилуулж, хэмжих торны эхлэлийн цэгт холбоно. Цахим түвшинг эхлүүлж, өгөгдөл тогтвортой болсны дараа анхны түвшинг тэмдэглэнэ.
◦ Цахим түвшний цэгийг хэмжилтийн замын дагуу цэгээр шилжүүлж, бүх хэмжилтийн цэгүүдийг хэмжиж дуустал хэмжилтийн цэг бүрийн тэгш байдлын өгөгдлийг тэмдэглэнэ.
◦ Хэмжсэн өгөгдлийг өгөгдөл боловсруулах программ хангамжид оруулж, тэгш байдлыг тохируулахын тулд хамгийн бага квадрат арга болон бусад алгоритмуудыг ашиглан, тэгш байдлын алдааны тайланг гаргаж, бүрэлдэхүүн хэсгийн тэгш байдал нь стандартад нийцэж байгаа эсэхийг үнэлнэ.
3. НУМ-г илрүүлэх үйл явц:
◦ Боржин чулуун эд ангиудыг НУМ-ын ажлын ширээн дээр байрлуулж, хэмжилтийн явцад эд анги нь хөдлөхгүй байхын тулд бэхэлгээг ашиглан бат бэхлэнэ.
◦ Бүрэлдэхүүн хэсгүүдийн хэлбэр, хэмжээнээс хамааран хэмжилтийн цэгийн тархалтыг тодорхойлох, шалгах хавтгайг бүрэн хамрах, хэмжилтийн цэгүүдийг жигд хуваарилах зорилгоор хэмжилтийн замыг хэмжилтийн программд төлөвлөж байна.
◦ НУМ-ыг эхлүүлж, датчикийг төлөвлөсөн замын дагуу хөдөлгөж, боржин чулуун бүрэлдэхүүн хэсгийн гадаргууг хэмжих цэгүүдтэй холбоо барьж, цэг бүрийн координатын өгөгдлийг автоматаар цуглуулна.
◦ Хэмжилт дууссаны дараа хэмжилтийн программ нь цуглуулсан координатын өгөгдөлд дүн шинжилгээ хийж, боловсруулж, тэгш байдлын алдааг тооцоолж, туршилтын тайланг гаргаж, бүрэлдэхүүн хэсгийн тэгш байдал нь стандартад нийцэж байгаа эсэхийг тодорхойлно.
If you have better advice or have any questions or need any further assistance, contact us freely: info@zhhimg.com
Шуудангийн цаг: 2025 оны 3-р сарын 28