Хагас дамжуулагч үйлдвэрлэлд фотолитографийн машин нь чипсийн нарийвчлалыг тодорхойлдог гол төхөөрөмж бөгөөд олон шинж чанартай боржин чулуун суурь нь фотолитографийн машины зайлшгүй бүрэлдэхүүн хэсэг болсон.
Дулааны тогтвортой байдал: Температурын өөрчлөлтөөс хамгаалах "бамбай"
Фотолитографийн машин ажиллаж байх үед их хэмжээний дулаан ялгаруулдаг. Температурын хэлбэлзэл ердөө 0.1℃ байсан ч тоног төхөөрөмжийн эд ангиудын хэв гажилтыг үүсгэж, фотолитографийн нарийвчлалд нөлөөлж болзошгүй. Боржин чулуун дулааны тэлэлтийн коэффициент нь маш бага бөгөөд ердөө 4-8 × 10⁻⁶/℃ бөгөөд энэ нь гангийнхтай ойролцоогоор 1/3, хөнгөн цагаан хайлшийнхтай 1/5 тэнцүү юм. Энэ нь фотолитографийн машин удаан хугацаанд ажиллах эсвэл орчны температур өөрчлөгдөх үед боржин чулуун суурийг хэмжээст тогтвортой байлгах боломжийг олгож, оптик эд анги, механик бүтцийн нарийн байрлалыг баталгаажуулдаг.
Чичиргээний эсрэг маш сайн үзүүлэлт: Чичиргээг шингээдэг "хөвөн"
Хагас дамжуулагчийн үйлдвэрт хүрээлэн буй орчны тоног төхөөрөмжийн ажиллагаа болон хүмүүсийн хөдөлгөөн нь чичиргээ үүсгэж болно. Боржин чулуу нь өндөр нягтралтай, хатуу бүтэцтэй бөгөөд маш сайн чийгшүүлэгч шинж чанартай бөгөөд чийгшүүлэгч харьцаа нь металлынхаас 2-5 дахин их байдаг. Гадны чичиргээ нь боржин чулуун суурь руу дамжих үед дотор талстуудын хоорондох үрэлт нь чичиргээний энергийг тархалтын дулааны энерги болгон хувиргадаг бөгөөд энэ нь чичиргээг богино хугацаанд мэдэгдэхүйц бууруулж, фотолитографийн машин нь тогтвортой байдлыг хурдан сэргээж, чичиргээний улмаас фотолитографийн хэв маяг бүдгэрэх эсвэл буруу байрлалд орохоос зайлсхийх боломжийг олгодог.
Химийн тогтвортой байдал: Цэвэр орчны "хамгаалагч"
Фотолитографийн машины дотор хэсэг нь янз бүрийн химийн бодисуудтай харьцдаг бөгөөд ердийн металл материалууд зэврэлт эсвэл тоосонцор ялгарахад өртөмтгий байдаг. Боржин чулуу нь кварц, хээрийн жонш зэрэг эрдэс бодисоос бүрддэг. Энэ нь тогтвортой химийн шинж чанартай бөгөөд зэврэлтэнд тэсвэртэй. Хүчил ба шүлтийн уусмалд дэвтээсний дараа гадаргуугийн зэврэлт маш бага байдаг. Үүний зэрэгцээ түүний нягт бүтэц нь бараг хог хаягдал, тоос үүсгэдэггүй тул хамгийн өндөр цэвэр өрөөний стандартын шаардлагыг хангаж, вафлийн бохирдлын эрсдлийг бууруулдаг.
Боловсруулалтын дасан зохицох чадвар: Нарийн жишиг тогтоох "хамгийн тохиромжтой материал"
Фотолитографийн машины гол эд ангиудыг өндөр нарийвчлалтай лавлах гадаргуу дээр суурилуулах шаардлагатай. Боржин чулуун дотоод бүтэц нь жигд бөгөөд нунтаглах, өнгөлөх болон бусад аргаар маш өндөр нарийвчлалтай боловсруулахад хялбар байдаг. Түүний тэгш байдал нь ≤0.5μm/m хүрч болох бөгөөд гадаргуугийн барзгаржилт Ra нь ≤0.05μm бөгөөд энэ нь оптик линз зэрэг эд ангиудыг суурилуулах нарийн үндэс суурийг тавьдаг.
Урт хугацааны эдэлгээтэй, засвар үйлчилгээ шаарддаггүй: Зардлыг бууруулах "хурц хэрэгсэл"
Удаан хугацааны турш ашиглахад ядрах, хагарах хандлагатай металл материалтай харьцуулахад боржин чулуу нь хэвийн ачааллын дор хуванцар деформаци эсвэл хугаралд бараг ордоггүй бөгөөд гадаргуугийн боловсруулалт шаарддаггүй тул бүрхүүл хугарах, бохирдох эрсдэлээс зайлсхийдэг. Практик хэрэглээнд олон жилийн турш ашигласны дараа боржин чулуун суурийн гол гүйцэтгэлийн үзүүлэлтүүд тогтвортой хэвээр байх боломжтой бөгөөд энэ нь тоног төхөөрөмжийн ашиглалт, засвар үйлчилгээний зардлыг бууруулдаг.
Дулааны тогтвортой байдал, чичиргээний эсэргүүцэл, химийн идэвхгүй байдал зэрэг боржин чулуун суурийн олон шинж чанар нь фотолитографийн машины шаардлагыг төгс хангадаг. Чип үйлдвэрлэх үйл явц өндөр нарийвчлал руу чиглэн хөгжихийн хэрээр боржин чулуун суурь нь хагас дамжуулагч үйлдвэрлэлийн салбарт орлуулшгүй үүрэг гүйцэтгэсээр байх болно.
Нийтэлсэн цаг: 2025 оны 5-р сарын 20