Хагас дамжуулагчийн үйлдвэрлэлийн хувьд фотолитографийн машин нь чипсийн нарийвчлалыг тодорхойлдог гол төхөөрөмж бөгөөд олон шинж чанартай боржин чулуун суурь нь фотолитографийн машины зайлшгүй бүрэлдэхүүн хэсэг болжээ.
Дулааны тогтвортой байдал: Температурын өөрчлөлтөөс хамгаалах "бамбай"
Фотолитографийн машин ажиллаж байх үед их хэмжээний дулаан ялгаруулдаг. Зөвхөн 0.1 хэмийн температурын хэлбэлзэл нь төхөөрөмжийн эд ангиудын хэв гажилтыг үүсгэж, фотолитографийн нарийвчлалд нөлөөлж болзошгүй. Боржингийн дулааны тэлэлтийн коэффициент нь маш бага бөгөөд ердөө 4-8 × 10⁻⁶/℃ бөгөөд энэ нь гангийн 1/3, хөнгөн цагааны хайлшийн 1/5 орчим юм. Энэ нь фотолитографийн машин удаан хугацаагаар ажиллах эсвэл орчны температур өөрчлөгдөх үед боржин чулуун суурь нь хэмжээсийн тогтвортой байдлыг хадгалах боломжийг олгодог бөгөөд оптик эд анги, механик байгууламжийн байршлыг нарийн тогтоох боломжийг олгодог.
Чичиргээний эсрэг супер гүйцэтгэл: Чичиргээг шингээдэг "хөвөн"
Хагас дамжуулагчийн үйлдвэрт хүрээлэн буй тоног төхөөрөмжийн ажиллагаа, хүмүүсийн хөдөлгөөн зэрэг нь чичиргээ үүсгэдэг. Боржин чулуу нь өндөр нягтралтай, хатуу бүтэцтэй бөгөөд чийгшүүлэх шинж чанар сайтай бөгөөд чийгшүүлэх харьцаа нь металаас 2-5 дахин их байдаг. Гадны чичиргээг боржин чулуун сууринд дамжуулах үед дотоод эрдсийн талстуудын хоорондох үрэлт нь чичиргээний энергийг сарниулах дулааны энерги болгон хувиргадаг бөгөөд энэ нь чичиргээг богино хугацаанд мэдэгдэхүйц бууруулж, фотолитографийн машин тогтвортой байдлыг хурдан сэргээж, чичиргээний улмаас фотолитографийн хэв маягийг бүдгэрүүлэх, буруу байрлуулахаас зайлсхийх боломжийг олгодог.
Химийн тогтвортой байдал: Цэвэр орчны "хамгаалагч"
Фотолитографийн машины дотоод хэсэг нь янз бүрийн химийн бодисуудтай харьцдаг бөгөөд энгийн металл материалууд зэврэлтэнд өртөмтгий эсвэл тоосонцор ялгардаг. Боржин чулуу нь кварц, хээрийн жонш зэрэг эрдсүүдээс тогтдог. Энэ нь тогтвортой химийн шинж чанартай, хүчтэй зэврэлтэнд тэсвэртэй. Хүчил ба шүлтийн уусмалд дэвтээсэний дараа гадаргуугийн зэврэлт нь маш бага байдаг. Үүний зэрэгцээ түүний өтгөн бүтэц нь хог хаягдал, тоос шороо үүсгэдэггүй бөгөөд цэвэр өрөөний хамгийн өндөр стандартын шаардлагыг хангаж, вафель бохирдох эрсдлийг бууруулдаг.
Боловсруулалтын дасан зохицох чадвар: Нарийвчилсан шалгуур үзүүлэлтүүдийг бий болгох "хамгийн тохиромжтой материал"
Фотолитографийн машины үндсэн бүрэлдэхүүн хэсгүүдийг өндөр нарийвчлалтай лавлагаа гадаргуу дээр суурилуулах шаардлагатай. Боржингийн дотоод бүтэц нь нэг төрлийн бөгөөд нунтаглах, өнгөлөх болон бусад техникээр маш өндөр нарийвчлалтайгаар боловсруулахад хялбар байдаг. Түүний тэгш байдал нь ≤0.5μm/m хүрч, гадаргуугийн тэгш бус байдал Ra нь ≤0.05μm бөгөөд оптик линз зэрэг эд ангиудыг суурилуулах нарийн үндэслэл болно.
Урт ашиглалтын хугацаа, засвар үйлчилгээ шаарддаггүй: Зардлаа бууруулах "хурц багаж"
Боржин чулуу нь удаан хугацаагаар хэрэглэхэд ядрах, хагарах хандлагатай металл материалтай харьцуулахад ердийн ачааллын үед хуванцар хэв гажилт, хугаралтад бараг ордоггүй бөгөөд гадаргуугийн боловсруулалт шаарддаггүй тул бүрэх хальслах, бохирдох эрсдэлээс сэргийлдэг. Практик хэрэглээнд олон жилийн турш ашигласны дараа боржин чулуун суурийн үндсэн үзүүлэлтүүд тогтвортой хэвээр байж, тоног төхөөрөмжийн ашиглалт, засвар үйлчилгээний зардлыг бууруулдаг.
Дулааны тогтвортой байдал, чичиргээний эсэргүүцэл, химийн идэвхгүй байдал, боржин чулуун суурийн олон шинж чанар нь фотолитографийн машины шаардлагыг бүрэн хангадаг. Чип үйлдвэрлэх үйл явц нь илүү нарийвчлалтай хөгжиж байгаа тул боржин чулуун суурь нь хагас дамжуулагч үйлдвэрлэлийн салбарт орлуулшгүй үүрэг гүйцэтгэсээр байх болно.
Шуудангийн цаг: 2025 оны 5-р сарын 20-ны хооронд