Хагас дамжуулагч хавтангийн ховилын салбарт нарийвчлал бол авралын шугам юм. Онцгой бус боржин чулуун суурь нь ховилын төхөөрөмжийн гүйцэтгэлд чанарын үсрэлтийг авчирч чадна! Энэ нь үнэндээ ямар "супер хүч"-ийг нуудаг вэ? Яагаад зөв боржин чулуун суурийг сонгосноор та хагас замаар амжилтанд хүрсэн гэж хэлдэг вэ? Өнөөдөр бид та бүхэнд үүнийг гүнзгийрүүлэн дэлгэх болно!
I. Төрөлхийн бат бэх чанар: Боржин чулууны гурван "төрөлхийн давуу тал"
Газар хөдлөлтийн эсэргүүцэл нь Тай уул шиг тогтвортой байна
Боржин чулуу нь 2800-3100 кг/м³ нягтралтай бөгөөд бүтэц нь "чулуун цайз" шиг нягт юм. Вафер ховилын өндөр давтамжийн чичиргээний орчинд (тоног төхөөрөмж минутанд 100 гаруй удаа ховилддог) чичиргээний энергийн 90 гаруй хувийг шингээж чаддаг бөгөөд энэ нь тоног төхөөрөмжийг "цочрол шингээгч хар технологи"-оор тоноглосонтой адил юм! Тодорхой чипийн үйлдвэрийн хэмжсэн өгөгдлөөс харахад боржин чулуун суурийг ашигласны дараа ховилын зүсэгч толгойн чичиргээний далайц 15μм-ээс 3μм болж буурсан бөгөөд сийлсэн бичил ховилын ирмэгүүд нь толин тусгал шиг жигд болсон байна.
2. "Халуунд тэсвэртэй бие" Температурын зөрүүнээс айдаггүй
Энгийн материалууд халах үед "тэсэрч, хэв гаждаг", хөргөх үед "агшиж, хэв гаждаг" боловч боржин чулуун дулааны тэлэлтийн коэффициент нь 4-8×10⁻⁶/℃ хүртэл бага бөгөөд энэ нь металлынхаас ердөө 1/5 юм! Хэдийгээр цехийн температур 24 цагийн дотор 10℃-аар огцом хэлбэлзсэн ч түүний хэв гажилт нь 0.01 мм-ээс бага бөгөөд бараг үл тоомсорлож болно. Энэ нь өдөр шөнө ээлжлэн солигдох эсвэл тоног төхөөрөмжийн удаан хугацаагаар ажиллах, дулаан үүсгэхээс үл хамааран боржин чулуун суурь нь үүрний байрлалыг үргэлж "хөдөлгөөнгүй" байлгаж чадна гэсэн үг юм.
3. Эвдрэлгүй элэгдэлд тэсвэртэй
Боржин чулууны Мохсын хатуулаг нь кварц чулуутай харьцуулахуйц 6-7 хүрдэг бөгөөд элэгдэлд тэсвэртэй байдал нь ердийн гангийнхаас гурав дахин их юм! Вафер ховилын урт хугацааны өндөр давтамжийн үрэлтийн дор суурийн гадаргуу бараг элэгддэггүй. Тодорхой цутгах үйлдвэр боржин чулуун суурийг таван жилийн турш ашигласны дараа шалгалтын явцад тэгш байдал ±0.5μm/m дотор хэвээр байсан бөгөөд ховилын нарийвчлал тогтвортой хэвээр байсан нь тоног төхөөрөмжийн тохируулга болон солих зардлыг ихээхэн хэмнэсэн.
II. Нарийвчилсан тохируулга: Боржин чулуу нь ховилын янз бүрийн шаардлагыг хэрхэн хангадаг вэ?
1-р үзэгдэл: Хэт нарийн ховил (10μм-ээс доош бичил ховил)
Шаардлага: Төгс тэгш байдал
Боржин чулууны давуу талууд: Таван тэнхлэгийн холбоосын өндөр нарийвчлалтай боловсруулалтын тусламжтайгаар тэгш байдлыг ±0.5μm/m дотор хянах боломжтой бөгөөд энэ нь 1 метрийн урттай үед өндрийн алдаа нь хүний үснээс 200 дахин нимгэн гэсэн үг юм! Ховил зүсэгчийн толгой ба вафлины хоорондох зай үргэлж нарийвчлалтай байх, сийлсэн бичил ховилын өргөний алдаа ±0.1μm-ээс хэтрэхгүй байх ёстой.
2-р үзэгдэл: Өндөр хурдтай массын үйлдвэрлэлийн ховил
Шаардлага: Супер цочрол шингээлтийн гүйцэтгэл
Боржин чулууны давуу талууд: Түүний доторх байгалийн чийгшүүлэгч шинж чанар нь тоног төхөөрөмжийн чичиргээг хурдан сулруулж чаддаг. Тодорхой хавтан үйлдвэр боржин чулуун суурийг нэвтрүүлсний дараа ховилын хурд 40%-иар нэмэгдэж, ургацын хэмжээ 85%-иас 96% болж өссөн нь үйлдвэрлэлийн үр ашиг, чанарыг хоёр дахин нэмэгдүүлсэн!
3-р үзэгдэл: Нарийн төвөгтэй орчны ховил (Өндөр температур/зэврэлт)
Шаардлага: Өндөр температурт тэсвэртэй, зэврэлтэнд тэсвэртэй
Боржин чулууны давуу талууд: Маш хүчтэй химийн тогтвортой байдал, хүчил ба шүлтийн зэврэлтэнд тэсвэртэй; Дулааны тэлэлтийн бага коэффициенттэй бөгөөд лазер ховил хийх үед орон нутгийн өндөр температурт (150℃) ч деформацид ордоггүй. Тодорхой лабораторид зэврэлтээс хамгаалах ховилын уусмалаар ашигласан боржин чулуун суурь нь гурван жилийн турш тасралтгүй ашиглагдаж байгаа бөгөөд суурийн гадаргуу нь бүрэн бүтэн хэвээр байна.
III. "Жинхэнэ өндөр чанартай" боржин чулуун суурийг хэрхэн сонгох вэ?
Нягтыг хараарай: ≥2800кг/м³ нягтралтай боржин чулуу нь илүү авсаархан бүтэцтэй байдаг.
Сертификатуудыг шалгах: Чанарыг баталгаажуулахын тулд ISO 9001 болон CNAS зэрэг эрх бүхий гэрчилгээнүүдийг хүлээн зөвшөөрч байгаа эсэхээ шалгаарай.
Баталгаажуулалтын өгөгдөл: Үйлдвэрлэгч нь дулааны тэлэлтийн коэффициент (< 8×10⁻⁶/℃) болон тэгш байдлын (±0.5μm/m) туршилтын тайланг өгөх шаардлагатай.
Газар дээр нь турших: Суурийг товшино уу. Тодорхой дуу чимээ нь дотор нь ямар ч хагарал байхгүйг илтгэнэ. Хэрэв мэдрэгчтэй гадаргуу нь толин тусгал шиг гөлгөр байвал энэ нь боловсруулалтын өндөр нарийвчлалыг илтгэнэ.
Дүгнэлт: Зөв боржин чулууг сонгоод ховил хийх тулааны тал хувийг ялаарай!
Цочролд тэсвэртэй, халуунд тэсвэртэйгээс эхлээд элэгдэлд тэсвэртэй хүртэл "байгалийн гоо үзэсгэлэн", "хатуу бат бөх чанар"-тай боржин чулуун суурь нь вафли ховиллох тоног төхөөрөмжийн алтан түнш болсон. Нано хэмжээний нарийвчлалыг эрэлхийлдэг өнөөгийн хагас дамжуулагч үйлдвэрлэлийн эрин үед өндөр чанартай боржин чулуун суурь нь зөвхөн тоног төхөөрөмжид оруулсан хөрөнгө оруулалт төдийгүй үйлдвэрлэлийн үр ашиг, бүтээгдэхүүний чанарын урт хугацааны баталгаа юм!
Нийтэлсэн цаг: 2025 оны 6-р сарын 17