Хагас дамжуулагч чип үйлдвэрлэх, нарийн оптик хяналт зэрэг хамгийн сүүлийн үеийн салбарт өндөр нарийвчлалтай мэдрэгч нь гол өгөгдлийг олж авах үндсэн төхөөрөмж юм. Гэсэн хэдий ч нарийн төвөгтэй цахилгаан соронзон орчин, тогтворгүй физик нөхцөл нь хэмжилтийн өгөгдлийг буруу гаргахад хүргэдэг. Соронзон бус, хамгаалагдсан шинж чанар, маш сайн физик тогтвортой байдал бүхий боржин чулуун суурь нь мэдрэгчийг хэмжих найдвартай орчинг бүрдүүлдэг.
Соронзон бус шинж чанар нь хөндлөнгийн эх үүсвэрийг тасалдаг
Индуктив шилжилтийн мэдрэгч, соронзон хэмжүүр зэрэг өндөр нарийвчлалтай мэдрэгчүүд нь соронзон орны өөрчлөлтөд маш мэдрэмтгий байдаг. Уламжлалт металл суурийн (ган, хөнгөн цагаан хайлш гэх мэт) өвөрмөц соронзлол нь мэдрэгчийн эргэн тойронд хөндлөнгийн соронзон орон үүсгэдэг. Мэдрэгч ажиллаж байх үед гадны хөндлөнгийн соронзон орон нь дотоод соронзон оронтой харилцан үйлчилдэг бөгөөд энэ нь хэмжилтийн өгөгдлийн хазайлтыг амархан үүсгэдэг.
Боржин чулуу нь байгалийн магмын чулуулгийн хувьд кварц, хээрийн жонш, гялтгануур зэрэг эрдсүүдээс тогтдог. Түүний дотоод бүтэц нь ямар ч соронзонгүй гэдгийг тодорхойлдог. Суурийн соронзон интерференцийг үндсээр нь арилгахын тулд боржин чулуун суурин дээр мэдрэгчийг суурилуулна. Электрон микроскоп, цөмийн соронзон резонанс зэрэг нарийн багажийн хувьд боржин чулуун суурь нь мэдрэгч нь зорилтот объектын нарийн өөрчлөлтийг үнэн зөв авч, соронзон хөндлөнгийн нөлөөллөөс үүдэлтэй хэмжилтийн алдаанаас зайлсхийх боломжийг олгодог.
Бүтцийн шинж чанаруудыг цахилгаан соронзон хамгаалалттай зохицуулдаг
Хэдийгээр боржин чулуу нь метал шиг дамжуулагч хамгаалах чадваргүй боловч түүний өвөрмөц физик бүтэц нь цахилгаан соронзон интерференцийг сулруулдаг. Боржин чулуу нь хатуу бүтэцтэй, нягт бүтэцтэй. Ашигт малтмалын талстуудын харилцан уялдаатай зохион байгуулалт нь физик саадыг үүсгэдэг. Гадны цахилгаан соронзон долгион суурь руу тархах үед энергийн нэг хэсэг нь болорт шингэж дулааны энерги болон хувирч, нэг хэсэг нь болор гадаргуу дээр тусч, тархаж, улмаар мэдрэгч рүү хүрэх цахилгаан соронзон долгионы эрчмийг бууруулдаг.
Практик хэрэглээнд боржин чулуун суурийг ихэвчлэн металл хамгаалалтын тортой хослуулан нийлмэл бүтэц үүсгэдэг. Металл тор нь өндөр давтамжийн цахилгаан соронзон долгионыг хааж, боржин чулуу нь тогтвортой дэмжлэг үзүүлэхийн зэрэгцээ үлдэгдэл хөндлөнгийн оролцоог улам сулруулдаг. Давтамж хувиргагч болон мотороор дүүрсэн үйлдвэрийн цехүүдэд энэхүү хослол нь мэдрэгчийг хүчтэй цахилгаан соронзон орчинд ч тогтвортой ажиллуулах боломжийг олгодог.
Физик шинж чанарыг тогтворжуулах, хэмжилтийн найдвартай байдлыг нэмэгдүүлэх
Боржингийн дулааны тэлэлтийн коэффициент нь маш бага (зөвхөн (4-8) ×10⁻⁶/℃) бөгөөд температурын хэлбэлзэлд түүний хэмжээ маш бага өөрчлөгддөг бөгөөд энэ нь мэдрэгч суурилуулах байрлалын тогтвортой байдлыг хангадаг. Маш сайн чийгшүүлэх чадвар нь хүрээлэн буй орчны чичиргээг хурдан шингээж, хэмжилтэд механик эвдрэлийн нөлөөллийг бууруулдаг. Нарийвчлалтай оптик хэмжилтийн хувьд боржин чулуун суурь нь дулааны хэв гажилт, чичиргээнээс үүдэлтэй оптик замаас урьдчилан сэргийлж, хэмжилтийн өгөгдлийн нарийвчлал, давтагдах чадварыг баталгаажуулдаг.
Хагас дамжуулагч хавтангийн зузааныг илрүүлэх хувилбарт тодорхой аж ахуйн нэгж боржин чулуун суурийг хүлээн авсны дараа хэмжилтийн алдаа ± 5 μм-ээс ± 1μm хүртэл буурчээ. Сансар огторгуйн бүрэлдэхүүн хэсгүүдийн хэлбэр, байрлалын хүлцлийн шалгалтын хувьд боржин чулуун суурь ашиглан хэмжилтийн систем нь өгөгдлийн давтагдах чадварыг 30% -иар дээшлүүлсэн. Эдгээр тохиолдлууд нь боржин чулуун суурь нь цахилгаан соронзон хөндлөнгийн оролцоог арилгах, физик орчныг тогтворжуулах замаар өндөр нарийвчлалтай мэдрэгчийн хэмжилтийн найдвартай байдлыг ихээхэн нэмэгдүүлж, орчин үеийн нарийвчлалын хэмжилтийн салбарт зайлшгүй чухал бүрэлдэхүүн хэсэг болдгийг бүрэн харуулж байна.
Шуудангийн цаг: 2025 оны 5-р сарын 20-ны хооронд