.
Хагас дамжуулагчийн үйлдвэрлэлийн салбарт чип үйлдвэрлэх үйл явцын нарийвчлалыг тодорхойлдог үндсэн тоног төхөөрөмж болох фотолитографийн машины дотоод орчны тогтвортой байдал нь амин чухал ач холбогдолтой юм. Хэт ягаан туяаны гэрлийн эх үүсвэрийн өдөөлтөөс эхлээд нано хэмжээний нарийвчлалтай хөдөлгөөнт платформыг ажиллуулах хүртэл холбоос бүрт өчүүхэн ч хазайлт байж болохгүй. Цуврал өвөрмөц шинж чанартай боржин чулуун суурь нь фотолитографийн машинуудын тогтвортой ажиллагааг хангах, фотолитографийн нарийвчлалыг нэмэгдүүлэх хосгүй давуу талыг харуулж байна. .
Цахилгаан соронзон хамгаалалтын гайхалтай гүйцэтгэл
Фотолитографийн машины дотоод хэсэг нь нарийн төвөгтэй цахилгаан соронзон орчинд дүүрдэг. Хэт ягаан туяаны эх үүсвэр, хөтчийн мотор, өндөр давтамжийн тэжээлийн эх үүсвэр зэрэг бүрэлдэхүүн хэсгүүдээс үүссэн цахилгаан соронзон хөндлөнгийн оролцоо (EMI) нь үр дүнтэй хяналтгүй бол төхөөрөмж доторх нарийн электрон эд анги, оптик системийн гүйцэтгэлд ноцтой нөлөөлнө. Жишээлбэл, хөндлөнгийн оролцоо нь фотолитографийн загварт бага зэрэг хазайлт үүсгэж болзошгүй. Дэвшилтэт үйлдвэрлэлийн процесст энэ нь чип дээрх транзисторын буруу холболтыг бий болгоход хангалттай бөгөөд чипийн гарцыг мэдэгдэхүйц бууруулдаг. .
Боржин чулуу нь металл бус материал бөгөөд өөрөө цахилгаан гүйдэл дамжуулдаггүй. Металл материал шиг чөлөөт электронуудын хөдөлгөөнөөс үүдэлтэй цахилгаан соронзон индукцийн үзэгдэл байдаггүй. Энэ шинж чанар нь түүнийг байгалийн цахилгаан соронзон хамгаалалттай болгодог бөгөөд энэ нь дотоод цахилгаан соронзон хөндлөнгийн дамжуулалтыг үр дүнтэй хааж чаддаг. Гадны цахилгаан соронзон интерференцийн эх үүсвэрээс үүссэн хувьсах соронзон орон нь боржин чулуун суурь руу тархах үед боржин чулуу нь соронзон бус, соронздох боломжгүй тул хувьсах соронзон орон нэвтрэн ороход хэцүү бөгөөд ингэснээр суурь дээр суурилуулсан фотолитографийн машины үндсэн бүрэлдэхүүн хэсгүүд, тухайлбал нарийвчлал мэдрэгч, цахилгаан соронзон тохируулагч, оптик линзийн нөлөөллөөс хамгаална. фотолитографийн процессын үед хэв маягийг шилжүүлэх нарийвчлал. .
Маш сайн вакуум нийцтэй
Хэт ягаан туяа (EUV) бүх бодис, түүний дотор агаарт амархан шингэдэг тул EUV литографийн машин нь вакуум орчинд ажиллах ёстой. Энэ үед тоног төхөөрөмжийн бүрэлдэхүүн хэсгүүдийн вакуум орчинтой нийцтэй байх нь онцгой чухал болж байна. Вакуум орчинд материалууд уусч, шингэж, хий ялгаруулж болно. Гарсан хий нь EUV гэрлийг шингээж, гэрлийн эрч хүч, дамжуулах үр ашгийг бууруулдаг төдийгүй оптик линзийг бохирдуулдаг. Жишээлбэл, усны уур нь линзийг исэлдүүлж, нүүрсустөрөгч нь линз дээр нүүрстөрөгчийн давхаргыг хуримтлуулж, литографийн чанарт ноцтой нөлөөлдөг. .
Боржин нь тогтвортой химийн шинж чанартай бөгөөд вакуум орчинд хий ялгаруулдаггүй. Мэргэжлийн туршилтын дагуу дуураймал фотолитографийн машины вакуум орчинд (үндсэн камерт гэрэлтүүлгийн оптик систем болон дүрслэлийн оптик систем байрладаг, H₂O < 10⁻⁵ Па, CₓHᵧ < 10⁻⁷ Pa, CₓHᵧ < 10⁻⁷ га гасни шаардлагатай, үндсэн камерт байрладаг хэт цэвэр вакуум орчин гэх мэт) суурь нь маш бага байна. металл зэрэг бусад материалаас илүү. Энэ нь фотолитографийн машины дотоод засал чимэглэлийн өндөр вакуум зэрэглэл, цэвэр байдлыг удаан хугацаанд хадгалах боломжийг олгож, дамжуулах явцад EUV гэрлийн өндөр дамжуулалтыг хангаж, оптик линзийг ашиглахад маш цэвэр орчныг бүрдүүлж, оптик системийн ашиглалтын хугацааг уртасгаж, фотолитографийн машины ерөнхий гүйцэтгэлийг сайжруулдаг. .
Хүчтэй чичиргээний эсэргүүцэл ба дулааны тогтвортой байдал
Фотолитографийн процессын явцад нанометрийн түвшний нарийвчлал нь фотолитографийн машинд өчүүхэн чичиргээ, дулааны хэв гажилтгүй байхыг шаарддаг. Цех доторх бусад тоног төхөөрөмжийн ажиллагаа, ажилчдын хөдөлгөөнөөс үүсэх орчны чичиргээ, түүнчлэн үйл ажиллагааны явцад фотолитографийн машин өөрөө үйлдвэрлэсэн дулаан нь фотолитографийн нарийвчлалд саад учруулж болзошгүй. Боржин чулуу нь өндөр нягтралтай, хатуу бүтэцтэй бөгөөд чичиргээнд маш сайн тэсвэртэй байдаг. Түүний дотоод эрдэс болор бүтэц нь авсаархан бөгөөд чичиргээний энергийг үр дүнтэй бууруулж, чичиргээний тархалтыг хурдан дарах чадвартай. Туршилтын өгөгдөл нь чичиргээний ижил эх үүсвэрийн дор боржин чулуун суурь нь чичиргээний далайцыг 0.5 секундын дотор 90% -иар бууруулж чаддаг болохыг харуулж байна. Металл суурьтай харьцуулахад энэ нь тоног төхөөрөмжийн тогтвортой байдлыг илүү хурдан сэргээж, фотолитографийн линз ба вафель хоёрын хоорондох харьцангуй байрлалыг баталгаажуулж, чичиргээнээс үүссэн хэв маягийг бүдгэрүүлэх, буруу байрлуулахаас зайлсхийх боломжтой. .
Үүний зэрэгцээ боржингийн дулааны тэлэлтийн коэффициент нь маш бага буюу ойролцоогоор (4-8) ×10⁻⁶/℃ бөгөөд энэ нь метал материалынхаас хамаагүй бага юм. Фотолитографийн машиныг ажиллуулах явцад гэрлийн эх үүсвэрээс дулаан үүсэх, механик эд ангиудын үрэлт зэрэг хүчин зүйлээс шалтгаалан дотоод температурын хэлбэлзэлтэй байсан ч боржин чулуун суурь нь хэмжээсийн тогтвортой байдлыг хадгалж, дулааны тэлэлт, агшилтын улмаас мэдэгдэхүйц деформацид орохгүй. Энэ нь фотолитографийн нарийвчлалын тууштай байдлыг хадгалж, оптик систем болон нарийн хөдөлгөөний платформд тогтвортой, найдвартай дэмжлэг үзүүлдэг.
Шуудангийн цаг: 2025 оны 5-р сарын 20-ны хооронд