Өндөр зэрэглэлийн үйлдвэрлэл, дэвшилтэт шинжлэх ухааны судалгааны салбарт агаарын хөвөгч онгоцны хэт нарийвчлалтай хөдөлгөөний модуль нь маш сайн нарийвчлалтай гүйцэтгэлээрээ нарийн ажиллагаа, хэмжилтийн гол тоног төхөөрөмж болсон. Боржин чулуун нарийвчлалтай суурь нь тулгуур цөм болохын хувьд ажлын орчинд хатуу шаардлага тавьдаг бөгөөд тохиромжтой орчны нөхцөл нь түүний тогтвортой ажиллагаа, хамгийн сайн үр нөлөөг хангах үндэс суурь болдог.
Нэгдүгээрт, температурын хяналт: нарийвчлалтай "тогтворжуулагч"
Боржин чулуу нь тогтвортой байдгаараа алдартай боловч температурын өөрчлөлтөд бүрэн дархлаатай биш юм. Дулааны тэлэлтийн коэффициент нь бага, ерөнхийдөө 5-7 × 10⁻⁶/℃ боловч хэт нарийвчлалтай хөдөлгөөний хяналтын нөхцөлд температурын нарийн хэлбэлзэл нь хэмжээст өөрчлөлтийг үүсгэж, модулийн нарийвчлалд нөлөөлж болзошгүй юм. Хагас дамжуулагч чип үйлдвэрлэх цехэд литографийн процесс нь данами түвшний байрлалын нарийвчлал шаарддаг бөгөөд орчны температур 1°C-ээр хэлбэлздэг бөгөөд 1 метрийн хажуугийн урттай боржин суурь нь 5-7 микрон шугаман тэлэлт эсвэл агшилт үүсгэж болзошгүй юм. Энэхүү жижиг өөрчлөлтийг агаарын хөвөгчний хэт нарийвчлалтай хөдөлгөөний модулиар дамжуулдаг бөгөөд энэ нь чипийн литографийн хэв маягийн хазайлтыг бий болгож, гарцыг эрс бууруулахад хангалттай юм. Тиймээс, агаарын хөвөгч хэт нарийвчлалтай хөдөлгөөнт модулийн боржин чулуун нарийвчлалтай суурийг суурилуулсан бөгөөд хамгийн тохиромжтой ажлын орчны температурыг 20°C ±1°C хэмд хянаж, тогтмол температур, чийгшил бүхий агааржуулагчийн систем гэх мэт өндөр нарийвчлалтай тогтмол температурын тоног төхөөрөмжийн тусламжтайгаар орчны температурыг тасралтгүй хянаж, тохируулж, температурын хэлбэлзэл маш бага хүрээнд байх, суурь хэмжээний тогтвортой байдлыг хадгалах, модулийн өндөр нарийвчлалтай ажиллагааг хангах хэрэгтэй.
Хоёрдугаарт, чийгшлийн менежмент: чийгнээс хамгаалах "чулуу"-ны түлхүүр
Чийгшил нь нарийн боржин чулуун суурийн гүйцэтгэлд нөлөөлдөг бас нэг чухал хүчин зүйл юм. Өндөр чийгшилтэй орчинд боржин чулуу нь усны уурыг амархан шингээдэг бөгөөд энэ нь гадаргуу дээр конденсац үүсэхэд хүргэдэг бөгөөд энэ нь зөвхөн боржин чулуу болон агаарын хөвөгч төхөөрөмжийн хэт нарийвчлалтай хөдөлгөөний модулийн холболтын тогтвортой байдалд нөлөөлөхөөс гадна гадаргуугийн элэгдэл үүсгэж, урт хугацаанд гялбаа, нарийвчлалыг бууруулж болзошгүй юм. Оптик линз нунтаглах цехэд чийгшил удаан хугацаанд 60%-иас дээш байвал боржин чулуун суурийн гадаргуу дээр шингэсэн усны уур нь хийн хөвөгч гулсагчийн хөдөлгөөнд саад учруулж, улмаар линз нунтаглах нарийвчлал буурч, гадаргуу нь гажигтай болдог. Тиймээс ажлын орчны харьцангуй чийгшлийг 40%-60%-ийн хооронд хатуу хянаж байх ёстой бөгөөд өндөр чийгшилээс болж боржин чулуун суурийг гэмтээхээс зайлсхийхийн тулд чийг шингээгч, чийгшлийн мэдрэгч болон бусад тоног төхөөрөмж суурилуулснаар бодит цаг хугацаанд хянаж, тохируулж болно. Агаарын хөвөгч төхөөрөмжийн хэт нарийвчлалтай хөдөлгөөний модулийн жигд ажиллагааг хангах.
Гуравдугаарт, цэвэр байдлын баталгаа: нарийвчлалын "хамгаалагч"
Агаарын хөвөгч хүчний хэт нарийвчлалтай хөдөлгөөний модулийн нарийн боржин чулуун сууринд тоосны хэсгүүдийн хор хөнөөлийг дутуу үнэлж болохгүй. Жижиг хэсгүүд нь хийн хөвөгч гулсагч болон боржин чулуун суурийн хоорондох хийн хальсны зайд орсны дараа хийн хальсны жигд байдлыг алдагдуулж, үрэлтийг нэмэгдүүлж, тэр ч байтугай суурийн гадаргууг зурж, хөдөлгөөний нарийвчлалыг бууруулж болзошгүй юм. Агаарын тээврийн хэрэгслийн хэт нарийвчлалтай боловсруулах цехэд агаарт байгаа тоосны хэсгүүд боржин чулуун суурь дээр унавал боловсруулах хэрэгслийн хөдөлгөөний чиглэл хазайж, эд ангийн боловсруулалтын нарийвчлалд нөлөөлж болзошгүй юм. Тиймээс ажлын талбайг өндөр үр ашигтай агаар цэвэршүүлэх төхөөрөмж (HEPA) суурилуулах замаар 10,000 буюу түүнээс дээш түвшний цэвэр байдлын стандартад хүрч, агаарт байгаа тоосны хэсгүүдийг шүүж, ажилтнууд тоосгүй хувцас, гутлын нөмрөг гэх мэтийг өмсөж, хүний авч ирж буй тоосыг багасгах хэрэгтэй. Боржин чулуун суурь болон агаарын хөвөгч хэт нарийвчлалтай хөдөлгөөний модулийн өндөр нарийвчлалтай ажиллах орчныг хадгалах.
Дөрөвдүгээрт, чичиргээ тусгаарлах: "цочролын дэвсгэр"-ийн жигд ажиллагаа
Гадны чичиргээ нь агаарын хөвөгч төхөөрөмжийн хэт нарийвчлалтай хөдөлгөөний модулийн нарийвчлалын дайсан юм. Нарийвчлалтай боржин чулуун суурь нь тодорхой чичиргээг сулруулах чадвартай боловч өндөр бат бэхтэй чичиргээ нь буферийн хязгаарыг эвдэж болзошгүй юм. Үйлдвэрийн эргэн тойрон дахь хөдөлгөөн болон том механик тоног төхөөрөмжийн ажиллагааны улмаас үүссэн чичиргээ нь газардуулснаар боржин чулуун суурь руу дамждаг бөгөөд энэ нь агаарын хөвөгч төхөөрөмжийн хэт нарийвчлалтай хөдөлгөөний модулийн хөдөлгөөний нарийвчлалд саад учруулдаг. Өндөр зэрэглэлийн CMM-д чичиргээ нь хэмжих датчик болон хэмжих ажлын хэсгийн хоорондох холбоог тогтворгүй болгож, хэмжилтийн өгөгдлийн хазайлтыг үүсгэж болзошгүй. Энэ асуудлыг шийдэхийн тулд тоног төхөөрөмжийн суурилуулалтын хэсэгт чичиргээ тусгаарлах дэвсгэр тавих, чичиргээ тусгаарлах суурийг барих эсвэл гадаад чичиргээг идэвхтэй нөхөхийн тулд идэвхтэй чичиргээ тусгаарлах системийг ашиглах, боржин чулуун нарийвчлалтай суурь болон агаарын хөвөгч төхөөрөмжийн хэт нарийвчлалтай хөдөлгөөний модулийн чимээгүй, тогтвортой ажиллах орчныг бүрдүүлэх зэрэг үр дүнтэй чичиргээ тусгаарлах арга хэмжээг авах шаардлагатай.
Агаарын хөвөгч онгоцны хэт нарийвчлалтай хөдөлгөөний модулийн боржин чулуун нарийвчлалтай суурь нь температур, чийгшил, цэвэр байдал, чичиргээ хянах зэрэг байгаль орчны шаардлагыг бүрэн хангаснаар л түүний гүйцэтгэлийн давуу талыг бүрэн ашиглаж, янз бүрийн салбарт хэт нарийвчлалтай үйл ажиллагааны найдвартай баталгааг өгч, салбарыг илүү өндөр нарийвчлалтай үйлдвэрлэл, шинжлэх ухааны судалгааны түвшинд шилжихэд тусална.
Нийтэлсэн цаг: 2025 оны 4-р сарын 8