Өндөр зэрэглэлийн үйлдвэрлэл, шинжлэх ухааны хамгийн сүүлийн үеийн судалгааны чиглэлээр агаарын хөвөгч онгоцны хэт нарийвчлалтай хөдөлгөөнт модуль нь маш сайн гүйцэтгэлтэй, нарийн ажиллагаа, хэмжилт хийх гол төхөөрөмж болжээ. Боржингийн нарийн суурь нь тулгуур цөм болохын хувьд ажлын орчинд хатуу шаардлага тавьдаг бөгөөд хүрээлэн буй орчны тохиромжтой нөхцөл нь түүний тогтвортой ажиллагаа, хамгийн сайн үр нөлөөг хангах үндэс суурь болдог.
Нэгдүгээрт, температурын хяналт: нарийн "тогтворжуулагч"
Хэдийгээр боржин чулуу нь тогтвортой байдгаараа алдартай боловч температурын өөрчлөлтөд бүрэн тэсвэртэй байдаггүй. Хэдийгээр түүний дулааны тэлэлтийн коэффициент бага буюу ерөнхийдөө 5-7 ×10⁻⁶/℃, хэт нарийвчлалтай хөдөлгөөнийг хянах хувилбарт температурын нарийн хэлбэлзэл нь хэмжээсийн өөрчлөлтийг үүсгэж, модулийн нарийвчлалд нөлөөлж болзошгүй. Хагас дамжуулагч чип үйлдвэрлэх цехэд литографийн процесс нь данами түвшний байршлын нарийвчлалыг шаарддаг бөгөөд орчны температур 1 ° C-аар хэлбэлздэг ба 1 метрийн хажуугийн урттай боржин чулуун суурь нь 5-7 микрон шугаман тэлэлт эсвэл агшилтыг үүсгэж болно. Энэхүү жижиг өөрчлөлтийг агаарын хөвөгч төхөөрөмжийн хэт нарийвчлалтай хөдөлгөөний модулиар дамжуулдаг бөгөөд энэ нь чип литографийн хэв маягийн хазайлтыг хийж, гарцыг ихээхэн хэмжээгээр бууруулахад хангалттай юм. Иймээс агаарын хөвөгч хэт нарийвчлалтай хөдөлгөөний модулийн боржин чулуун нарийн суурьтай тул ажлын орчны хамгийн тохиромжтой температурыг 20 ° C ± 1 ° C-т тогтмол температур, чийгшлийн агааржуулалтын систем, хүрээлэн буй орчны температурыг тасралтгүй хянах, тохируулах зэрэг өндөр нарийвчлалтай тогтмол температурт тоног төхөөрөмжийн тусламжтайгаар хянаж, температурын хэлбэлзлийг маш бага байлгах, модуль дахь температурын хэлбэлзлийг тогтвортой байлгах, модуль дахь температурыг тогтвортой байлгах. өндөр нарийвчлалтай ажиллагаа.
Хоёрдугаарт, чийгшлийн менежмент: "чулуу" чийгээс хамгаалах гол түлхүүр
Нарийн боржингийн суурийн гүйцэтгэлд нөлөөлдөг өөр нэг чухал хүчин зүйл бол чийгшил юм. Өндөр чийгшилтэй орчинд боржин чулуу нь усны уурыг шингээхэд хялбар байдаг бөгөөд энэ нь гадаргуу дээр конденсац үүсэхэд хүргэдэг бөгөөд энэ нь боржингийн холболтын тогтвортой байдал болон агаарын хөвөх хэсгийн хэт нарийвчлалтай хөдөлгөөний модульд нөлөөлдөг төдийгүй гадаргуугийн элэгдэлд хүргэж, урт хугацаанд гялбаа, нарийвчлалыг бууруулдаг. Оптик линз нунтаглах цехэд чийгшил нь 60% RH-ээс их байвал боржингийн суурийн гадаргуу дээр шингэсэн усны уур нь хийн хөвөгч гулсуурын хөдөлгөөнд саад болж, линз нунтаглах нарийвчлал буурч, гадаргуу нь гажигтай болно. Иймд ажлын орчны харьцангуй чийгшлийг 40%-60% RH-ийн хооронд хатуу хянаж, чийгшүүлэгч, чийгшүүлэгч болон бусад тоног төхөөрөмжийг суурилуулж, өндөр чийгшлийн улмаас боржин чулуун суурийг гэмтээхээс сэргийлж, агаарын хөвөгчний хэт нарийвчлалтай хөдөлгөөний модулийн жигд ажиллагааг хангана.
Гуравдугаарт, цэвэр байдлын баталгаа: нарийвчлалын "манаач"
Агаарын флотацийн хэт нарийвчлалтай хөдөлгөөний модулийн нарийн ширхэгтэй боржин суурьт тоосны тоосонцрын хор хөнөөлийг дутуу үнэлж болохгүй. Жижиг хэсгүүд нь хийн хөвөгч гулсуур ба боржин чулуун суурийн хоорондох хийн хальсны цоорхойд орсны дараа хийн хальсны жигд байдлыг эвдэж, үрэлтийг нэмэгдүүлж, суурийн гадаргууг зурж, улмаар хөдөлгөөний нарийвчлалыг бууруулдаг. Сансар огторгуйн эд ангиудыг маш нарийн боловсруулах цехэд агаарт байгаа тоосны тоосонцор боржин чулуун суурь дээр унавал машин механизмын хөдөлгөөний зам хазайж, эд ангиудын боловсруулалтын нарийвчлалд нөлөөлж болно. Иймд ажлын байраа өндөр үр ашигтай агаар шүүгч (HEPA) зэрэг агаар цэвэршүүлэх төхөөрөмж суурилуулж, агаар дахь тоосжилтыг шүүж, үүнтэй зэрэгцэн хүний авчирсан тоосжилтыг багасгахын тулд ажилчид тоосгүй хувцас, гутлын бүрээс зэргийг өмсөж, өндөр цэвэр байлгах хэрэгтэй. Боржин чулуун суурь ба агаарын хөвөгч хэт нарийвчлалтай хөдөлгөөний модулийн өндөр нарийвчлалтай ажиллах орчинг хадгалах.
Дөрөв, чичиргээ тусгаарлах: "шок дэвсгэр" -ийн жигд ажиллагаа
Гадны чичиргээ нь агаарын хөвөгч онгоцны хэт нарийвчлалтай хөдөлгөөний модулийн нарийвчлалын дайсан юм. Нарийвчилсан боржин чулуун суурь нь тодорхой чичиргээ сааруулах чадвартай боловч өндөр бат бэхийн чичиргээ нь буферийн хязгаарыг эвдэж болно. Үйлдвэрийн эргэн тойрон дахь хөдөлгөөн, том механик тоног төхөөрөмжийн ажиллагааны улмаас үүссэн чичиргээ нь хөрсөөр дамжин боржин чулуун сууринд дамждаг бөгөөд энэ нь агаарын хөвөгч төхөөрөмжийн хэт нарийвчлалтай хөдөлгөөний модулийн хөдөлгөөний нарийвчлалд саад болно. Дээд зэрэглэлийн CMM-д чичиргээ нь хэмжилтийн датчик ба хэмжих ажлын хэсгийн хоорондох контактыг тогтворгүй болгож, хэмжилтийн өгөгдлөөс хазайхад хүргэдэг. Энэ асуудлыг шийдвэрлэхийн тулд чичиргээ тусгаарлах үр дүнтэй арга хэмжээ авах, тухайлбал, тоног төхөөрөмж суурилуулах хэсэгт чичиргээ тусгаарлах дэвсгэр тавих, чичиргээ тусгаарлах суурийг барих, эсвэл идэвхтэй чичиргээ тусгаарлах системийг ашиглан гаднах чичиргээг идэвхтэй саармагжуулах, боржин чулууны нарийн суурь болон хэт мэдрэгчтэй агаарын хөвөх модулийн чимээгүй, тогтвортой ажиллах орчинг бүрдүүлэх шаардлагатай.
Температур, чийгшил, цэвэр байдал, чичиргээний хяналт зэрэг байгаль орчны шаардлагыг бүрэн хангаснаар агаарын хөвөгч төхөөрөмжийн хэт нарийвчлалтай хөдөлгөөнт модулийн боржин чулуун нарийн суурь нь түүний гүйцэтгэлийн давуу талыг бүрэн хангаж, янз бүрийн салбарт хэт нарийвчлалтай үйл ажиллагааны найдвартай баталгааг өгч, үйлдвэрлэлийг илүү нарийвчлалтай үйлдвэрлэх, шинжлэх ухааны судалгааны түвшинд шилжихэд тусална.
Шуудангийн цаг: 2025 оны 4-р сарын 08