Нарийн үйлдвэрлэл, шинжлэх ухааны судалгааны салбарт боржин чулуун нарийн тавцангийн тэгш байдал нь тоног төхөөрөмжийн нарийвчлалыг баталгаажуулах гол үзүүлэлт юм. Дараах нь танд зориулсан хэд хэдэн үндсэн илрүүлэх аргууд болон тэдгээрийн ажиллах горимын дэлгэрэнгүй танилцуулга юм. .
I. Лазер интерферометр илрүүлэх арга
Лазер интерферометр нь өндөр нарийвчлалтай тэгш байдлыг илрүүлэх хамгийн тохиромжтой хэрэгсэл юм. ZYGO GPI XP лазер интерферометрийг жишээ болгон авч үзье, түүний нягтрал нь 0.1 нм хүрч чадна. Илрүүлэх ажлыг хийхдээ эхлээд интерферометрийн гэрлийн эх үүсвэрийг платформтой тааруулж, платформын гадаргууг 50мм × 50мм тортой хэсгүүдэд хуваана. Дараа нь интерференцийн хүрээний өгөгдлийг цэг тус бүрээр нь цуглуулж, өгөгдлийг Zernike олон гишүүнт ашиглан суулгаж, дүн шинжилгээ хийж, тэгш байдлын алдааг олж авсан. Энэ арга нь өндөр нарийвчлалтай платформд хамаарах бөгөөд ≤0.5μm/m²-ийн тэгш байдлын алдааг илрүүлэх боломжтой. Энэ нь ихэвчлэн фотолитографийн машин болон дээд зэргийн гурван координат хэмжих машины тавцанг илрүүлэхэд ашиглагддаг. .
II. Цахим түвшний массивын арга
Электрон түвшний массив илрүүлэх нь ажиллахад хялбар бөгөөд өндөр үр ашигтай. TESA A2 цахим түвшинг (0.01μm/m-ийн нарийвчлалтай) сонгож, платформын X/Y тэнхлэгийн дагуу 9×9 массиваар байрлуулав. Түвшин бүрийн хазайлтын өгөгдлийг синхроноор цуглуулж, дараа нь тооцоолохдоо хамгийн бага квадрат аргыг ашигласнаар тэгш байдлын утгыг үнэн зөв гаргаж болно. Энэ арга нь платформын орон нутгийн хотгор ба гүдгэр байдлыг үр дүнтэй тодорхойлох боломжтой. Жишээлбэл, 50 мм-ийн хүрээнд 0.2μm-ийн хэлбэлзлийг мөн илрүүлж болох бөгөөд энэ нь масс үйлдвэрлэлд хурдан илрүүлэхэд тохиромжтой. .
Iii. Оптик хавтгай болор арга
Оптик хавтгай болор арга нь жижиг талбайн тавцанг илрүүлэхэд тохиромжтой. Оптик хавтгай болорыг платформ дээр турших гадаргууд сайтар холбож, нэг өнгийн гэрлийн эх үүсвэрийн (натрийн чийдэн гэх мэт) гэрэлтүүлгийн дор тэдгээрийн хооронд үүссэн интерференцийн ирмэгийг ажигла. Хэрэв судлууд нь зэрэгцээ шулуун судлууд байвал энэ нь сайн тэгш байдлыг илтгэнэ. Хэрэв муруй судлууд гарч ирвэл туузны муруйлтын зэрэг дээр үндэслэн тэгш байдлын алдааг тооцоолно. Муруй судал бүр нь 0.316μm-ийн өндрийн зөрүүг илэрхийлдэг бөгөөд тэгш байдлын өгөгдлийг энгийн хувиргалтаар олж авах боломжтой. .
Дөрөв. Гурван координат хэмжих машин Хяналтын арга
Гурван координат хэмжих машин нь гурван хэмжээст орон зайд өндөр нарийвчлалтай хэмжилт хийх боломжтой. Боржин чулуун тавцанг хэмжих машины ажлын ширээн дээр байрлуулж, датчик ашиглан тавцангийн гадаргуу дээрх олон хэмжилтийн цэгээс өгөгдлийг жигд цуглуулна. Хэмжих машины систем нь платформын тэгш байдлын тайланг гаргахын тулд эдгээр өгөгдлийг боловсруулж, дүн шинжилгээ хийдэг. Энэ арга нь тэгш байдлыг илрүүлэхээс гадна тавцангийн бусад геометрийн параметрүүдийг нэгэн зэрэг авах боломжтой бөгөөд том боржингийн тавцанг цогцоор нь илрүүлэхэд тохиромжтой. .
Илрүүлэх эдгээр аргуудыг эзэмшсэнээр боржингийн нарийн платформын тэгш байдлыг үнэн зөв үнэлэхэд тусалж, нарийн тоног төхөөрөмжийн тогтвортой ажиллагааны найдвартай баталгааг өгөх болно.
Шуудангийн цаг: 2025-05-29