Нарийвчлалтай үйлдвэрлэл болон шинжлэх ухааны судалгааны салбарт боржин чулуун нарийвчлалтай тавцангийн тэгш байдал нь тоног төхөөрөмжийн нарийвчлалыг хангах гол үзүүлэлт юм. Дараах нь танд зориулсан хэд хэдэн үндсэн илрүүлэх аргууд болон тэдгээрийн ажиллагааны журмын талаар дэлгэрэнгүй танилцуулга юм.
I. Лазер интерферометр илрүүлэх арга
Лазер интерферометр нь өндөр нарийвчлалтай хавтгай байдлыг илрүүлэхэд хамгийн тохиромжтой хэрэгсэл юм. Жишээ нь ZYGO GPI XP лазер интерферометрийг авч үзье, түүний нягтрал 0.1 нм хүрч болно. Илрүүлэлтийг хийхдээ эхлээд интерферометрийн гэрлийн эх үүсвэрийг тавцантай уялдуулж, тавцангийн гадаргууг 50мм×50мм хэмжээтэй торон хэсэгт хуваана. Дараа нь интерференцийн хүрээний өгөгдлийг цэг бүрээр нь цуглуулж, өгөгдлийг Zernike олон гишүүнт ашиглан тохируулж, шинжилж, хавтгай байдлын алдааг гаргана. Энэ аргыг өндөр нарийвчлалтай тавцануудад хэрэглэх боломжтой бөгөөд ≤0.5μm/m² хавтгай байдлын алдааг илрүүлж чадна. Үүнийг фотолитографийн машин болон өндөр зэрэглэлийн гурван координатын хэмжих машины тавцанг илрүүлэхэд түгээмэл ашигладаг.
II. Электрон түвшний массивын арга
Цахим түвшний массив илрүүлэгч нь ажиллахад хялбар бөгөөд өндөр үр ашигтай. TESA A2 цахим түвшинг (0.01μm/m нягтралтай) сонгож, тавцангийн X/Y тэнхлэгийн чиглэлийн дагуу 9×9 массивт байрлуулсан. Түвшин бүрийн налуу өгөгдлийг синхроноор цуглуулж, дараа нь тооцоололд хамгийн бага квадратын аргыг ашигласнаар тэгш байдлын утгыг нарийвчлалтай гаргаж авах боломжтой. Энэ арга нь тавцангийн орон нутгийн хотгор болон гүдгэр нөхцлийг үр дүнтэй тодорхойлж чадна. Жишээлбэл, 50мм-ийн хүрээнд 0.2μm хэлбэлзлийг илрүүлж болох бөгөөд энэ нь массын үйлдвэрлэлд хурдан илрүүлэхэд тохиромжтой.
III. Оптик хавтгай талст арга
Оптик хавтгай талстын арга нь жижиг талбайн тавцанг илрүүлэхэд тохиромжтой. Оптик хавтгай талсгийг тавцан дээр турших гадаргуутай нягт холбож, монохромат гэрлийн эх үүсвэрийн (жишээлбэл, натрийн чийдэн) гэрэлтүүлгийн дор тэдгээрийн хооронд үүссэн интерференцийн хүрээг ажиглана уу. Хэрэв судал нь зэрэгцээ шулуун судалтай бол энэ нь сайн тэгш байдлыг илтгэнэ. Хэрэв муруй судал гарч ирвэл туузны муруйлтын зэрэг дээр үндэслэн тэгш байдлын алдааг тооцоолно уу. Муруй судал бүр нь 0.316μm өндрийн зөрүүг илэрхийлдэг бөгөөд тэгш байдлын өгөгдлийг энгийн хөрвүүлэлтээр олж авч болно.
Дөрөвдүгээрт. Гурван координатын хэмжих машины үзлэгийн арга
Гурван координатын хэмжих машин нь гурван хэмжээст орон зайд өндөр нарийвчлалтай хэмжилт хийх боломжтой. Боржин чулуун тавцанг хэмжих машины ажлын ширээн дээр байрлуулж, датчик ашиглан тавцангийн гадаргуу дээрх олон хэмжилтийн цэгээс өгөгдлийг жигд цуглуулна. Хэмжих машины систем нь эдгээр өгөгдлийг боловсруулж, шинжилж, тавцангийн тэгш байдлын тайланг гаргадаг. Энэ арга нь зөвхөн тэгш байдлыг илрүүлэхээс гадна тавцангийн бусад геометрийн параметрүүдийг нэгэн зэрэг авах боломжтой бөгөөд том боржин чулуун тавцангуудыг цогцоор нь илрүүлэхэд тохиромжтой.
Эдгээр илрүүлэх аргуудыг эзэмшсэнээр боржин чулуун нарийвчлалтай тавцангийн тэгш байдлыг зөв үнэлэхэд тусалж, нарийвчлалтай тоног төхөөрөмжийн тогтвортой ажиллагааг найдвартай хангах болно.
Нийтэлсэн цаг: 2025 оны 5-р сарын 29