Хагас дамжуулагчийн үйлдвэрлэлийн нарийвчлалын хувьсгал: Боржин чулуу нь микрон технологитой таарах үед
1.1 Материал судлалын гэнэтийн нээлтүүд
SEMI Олон улсын хагас дамжуулагчийн холбооны 2023 оны тайланд дурдсанаар дэлхийн дэвшилтэт үйлдвэрүүдийн 63% нь уламжлалт металл тавцангийн оронд боржин чулуун суурийг ашиглаж эхэлсэн байна. Дэлхийн гүн дэх магмын конденсацаас гаралтай энэхүү байгалийн чулуу нь өвөрмөц физик шинж чанартай учраас хагас дамжуулагчийн үйлдвэрлэлийн түүхийг дахин бичиж байна.
Дулааны инерцийн давуу тал: боржингийн дулааны тэлэлтийн коэффициент 4.5×10⁻⁶/℃ нь зэвэрдэггүй гангийн дулааны тэлэлтийн коэффициентийн ердөө 1/5 нь бөгөөд литографийн машины тасралтгүй ажилд ±0.001мм-ийн хэмжээсийн тогтвортой байдал хадгалагдана.
Чичиргээ сааруулагч шинж чанар: дотоод үрэлтийн коэффициент нь цутгамал төмрөөс 15 дахин их бөгөөд төхөөрөмжийн микро чичиргээг үр дүнтэй шингээдэг.
Тэг соронзлолын шинж чанар: лазер хэмжилтийн соронзон алдааг бүрэн арилгана
1.2 Уурхайгаас фаб хүртэлх метаморфозын аялал
ZHHIMG-ийн Шаньдун дахь ухаалаг үйлдвэрлэлийн баазыг жишээ болгон авч үзвэл, түүхий боржингийн нэг хэсэг нь дараахь зүйлийг хийх шаардлагатай.
Хэт нарийвчлалтай боловсруулалт: 200 цаг тасралтгүй тээрэмдэх таван тэнхлэгт холбоос боловсруулах төв, гадаргуугийн тэгш бус байдал Ra0.008μm хүртэл
Хиймэл хөгшрөлтийн эмчилгээ: Тогтмол температур, чийгшлийн цехэд 48 цагийн турш байгалийн стрессийг тайлж, бүтээгдэхүүний тогтвортой байдлыг 40% сайжруулдаг.
Хоёрдугаарт, хагас дамжуулагчийн үйлдвэрлэлийн "чулууны шийдэл"-ийн зургаан нарийн асуудлыг шийдвэрлэх.
2.1 Өргөст ялтсын хуваагдлын хурдыг бууруулах схем
Тохиолдлын жишээ: Герман дахь чип цутгах үйлдвэр манай хийд хөвдөг боржин чулуун платформыг нэвтрүүлсний дараа:
| Өрөөний диаметр | чипийн хурдыг бууруулах | тэгш байдлыг сайжруулах |
| 12 инч | 67% | ≤0.001мм |
| 18 инч | 82% | ≤0.0005мм |
2.2 Литографийн тэгшитгэлийн нарийвчлалын нээлтийн схем
Температурын нөхөн олговрын систем: суулгагдсан керамик мэдрэгч нь хэлбэрийн хувьсагчийг бодит цаг хугацаанд хянаж, платформын налууг автоматаар тохируулдаг.
Хэмжсэн өгөгдөл: 28℃±5℃ хэлбэлзэлд оруулах нарийвчлал нь 0.12μm-ээс бага хэлбэлздэг.
Шуудангийн цаг: 2025-03-24