Хагас дамжуулагч үйлдвэрлэлийн нарийвчлалын хувьсгал: Боржин чулуун эдлэл микрон технологитой хослох үед
1.1 Материалын шинжлэх ухааны салбарт гэнэтийн нээлтүүд
2023 оны SEMI Олон Улсын Хагас Дамжуулагчдын Холбооны тайланд дурдсанаар, дэлхийн дэвшилтэт үйлдвэрүүдийн 63% нь уламжлалт металл тавцангийн оронд боржин чулуун суурийг ашиглаж эхэлсэн байна. Дэлхийн гүнд орших магмын конденсацаас үүссэн энэхүү байгалийн чулуу нь өвөрмөц физик шинж чанараараа хагас дамжуулагч үйлдвэрлэлийн түүхийг дахин бичиж байна:
Дулааны инерцийн давуу тал: 4.5×10⁻⁶/℃ боржин чулууны дулааны тэлэлтийн коэффициент нь зэвэрдэггүй гангийнхаас ердөө 1/5 бөгөөд литографийн машины тасралтгүй ажиллагаанд ±0.001мм хэмжээст тогтвортой байдлыг хадгалдаг.
Чичиргээг намсгах шинж чанар: дотоод үрэлтийн коэффициент нь цутгамал төмрөөс 15 дахин өндөр бөгөөд тоног төхөөрөмжийн бичил чичиргээг үр дүнтэй шингээдэг
Тэг соронзонжуулалтын шинж чанар: лазерын хэмжилтийн соронзон алдааг бүрэн арилгана
1.2 Уурхайгаас үйлдвэр хүртэлх хувирал
Жишээ нь, Шаньдун мужийн ZHHIMG-ийн ухаалаг үйлдвэрлэлийн баазыг авч үзвэл түүхий боржин чулууны нэг хэсгийг дараахь байдлаар хийх шаардлагатай.
Хэт нарийвчлалтай боловсруулалт: 200 цагийн тасралтгүй тээрэмдэх таван тэнхлэгтэй холбогч машины төв, гадаргуугийн барзгаржилт нь Ra0.008μm хүртэл
Хиймэл хөгшрөлтийн эмчилгээ: Тогтмол температур, чийгшлийн цехэд 48 цагийн турш байгалийн стрессийг тайлдаг бөгөөд энэ нь бүтээгдэхүүний тогтвортой байдлыг 40%-иар сайжруулдаг.
Хоёрдугаарт, хагас дамжуулагч үйлдвэрлэлийн "чулуулгийн шийдэл"-ийн зургаан нарийвчлалын асуудлыг задлах.
2.1 Ваферын хуваагдлын хурдыг бууруулах схем
Тохиолдлын жишээ: Германы чипс хайлуулах үйлдвэр манай хийн хөвөгч боржин чулуун тавцанг ашигласны дараа:
| Ваферын диаметр | чипийн хурдыг бууруулах | тэгш байдлыг сайжруулах |
| 12 инч | 67% | ≤0.001мм |
| 18 инч | 82% | ≤0.0005мм |
2.2 Литографийн тэгшитгэлийн нарийвчлалын нээлтийн схем
Температурын нөхөн олговрын систем: суулгагдсан керамик мэдрэгч нь хэлбэрийн хувьсагчийг бодит цаг хугацаанд хянаж, тавцангийн хазайлтыг автоматаар тохируулдаг
Хэмжсэн өгөгдөл: 28℃±5℃ хэлбэлзлийн дор суулгалтын нарийвчлал 0.12μm-ээс бага хэлбэлзэлтэй байна
Нийтэлсэн цаг: 2025 оны 3-р сарын 24