Хагас дамжуулагч литографийн нанометрийн ертөнцөд бүтцийн өчүүхэн чичиргээ эсвэл бичил дулааны тэлэлт нь олон сая долларын үнэтэй цахиурын хавтанг ашиггүй болгож болзошгүй юм. Аж үйлдвэр 2 нм зангилаа болон түүнээс цааш шилжих тусам машины сууринд ашигласан материалууд нь зүгээр л "тулгуур" байхаа больсон - тэд нарийвчлалыг эрэлхийлэхэд идэвхтэй оролцогчид болсон.
ZHHIMG дээр дэлхийн OEM үйлдвэрлэгчид биднээс улам бүр асууж байна: Бид нарийн боржин чулуун батлагдсан тогтвортой байдлыг баримтлах ёстой юу, эсвэл дэвшилтэт техникийн керамик руу шилжих цаг болсон уу? Хариулт нь таны хэрэглээний тодорхой физикт оршино.
Тогтвортой байдлын физик: Боржин чулуу ба керамик
Харьцуулах үеднарийн боржин чулуун эд ангиудболон керамик элементүүдийн хувьд бид нарийн инженерчлэлийн "ариун гурвал"-ыг авч үзэх ёстой: Норгосгох, Дулааны тогтвортой байдал, Хатуулаг.
1. Чичиргээг намсгах: Байгалийн бичил бүтцийн давуу тал
Чичиргээ нь дамжуулах чадварын дайсан юм. Байгалийн магмын чулуулаг болох боржин чулуу нь байгалийн цочрол шингээгчийн үүрэг гүйцэтгэдэг нарийн төвөгтэй поликристал бүтэцтэй. Энэхүү дотоод үрэлт нь боржин чулуунд ихэнх синтетик материалаас хамаагүй илүү механик энергийг сарниулах боломжийг олгодог.
Үүний эсрэгээр, Цахиурын карбид (SiC) эсвэл хөнгөнцагаан исэл зэрэг дэвшилтэт керамикууд нь гайхалтай хатуулагтай байдаг. Энэхүү хатуулаг нь өндөр давтамжийн хариу урвалд ашигтай боловч керамикууд нь дотоод чийгшлийг мэдэгдэхүйц багасгадаг. Шатууд нь хэт хурдатгалтай хөдөлдөг литографийн орчинд ZHHIMG-ийн боржин чулуун суурь нь оптикийг төгс тэгш байлгахад шаардлагатай "чимээгүй" орчныг бүрдүүлдэг.
2. Дулааны динамик: Микроны менежмент
Дулааны тэлэлт нь урт хугацааны нарийвчлалын хувьд ихэвчлэн саад болдог. Байгалийн боржин чулуу нь дулааны тэлэлтийн гайхалтай бага коэффициенттэй (CTE) бөгөөд ихэвчлэн 5 × 10^{-6}/K-ээс 6 × 10^{-6}/K хооронд хэлбэлздэг.
Дэвшилтэт керамик нь CTE-ийн нэрлэсэн утгыг бүр ч багасгаж чаддаг ч ихэвчлэн дулааны инерци бага байдаг. Энэ нь нийтдээ бага тэлэх боловч орчны температурын хэлбэлзэлд илүү хурдан хариу үйлдэл үзүүлдэг гэсэн үг юм. Боржин чулуун асар их дулааны масс нь "буфер" үүрэг гүйцэтгэдэг тул том хэмжээний хувьд илүү тохиромжтой сонголт болдог.литографийн машины суурьтасралтгүй ажилласан цагаар орчин тогтвортой байх ёстой.
Литографийн хил хязгаарын материалууд
Орчин үеийн литографийн машин нь магадгүй хамгийн нарийн төвөгтэй тоног төхөөрөмж юм. Үндсэн бүтцийн хүрээний хувьд салбар түүхэндээ тулгуурлаж ирсэнНарийвчлалтай боржин чулуун эд ангиудсоронзон бус шинж чанар болон зэврэлтэнд тэсвэртэй байдлаас шалтгаалан.
Гэсэн хэдий ч литографийн стек доторх өндөр хурдтай хөдөлдөг эд ангиудын хувьд, тухайлбал вафер патроны патрон эсвэл богино цохилттой шат зэрэг нь керамик нь хатуулаг-жингийн харьцаагаараа давуу талтай тул түгээмэл болж байна. ZHHIMG дээр бид ирээдүйг эдгээр материалын хоорондох өрсөлдөөн биш, харин стратегийн эрлийз интеграци гэж харж байна. Инженерүүд суурийн хувьд боржин чулуун суурийг, өндөр динамик эд ангиудын хувьд керамикийг ашигласнаар норгогч болон хурдны эцсийн тэнцвэрт байдалд хүрч чадна.
Яагаад ZHHIMG нь дэлхийн шилдэг нийлүүлэгч вэ
Тэргүүлэгчийн хувьднарийн боржин чулуун эд анги нийлүүлэгч, ZHHIMG нь нарийвчлал нь зөвхөн түүхий эд биш, харин түүний ард байгаа хэмжилзүйн тухай гэдгийг ойлгодог. Манай байгууламж нь DIN 876 00-р зэргийн стандартаас давсан бүх захиалгат угсралт болон өндөр нарийвчлалтай давхцах техникт вакуум хийгүйжүүлэлтийг ашигладаг.
Бид дараах чиглэлээр мэргэшсэн:
-
OEM-д зориулсан захиалгат боржин чулуун суурь: Шугаман чиглүүлэгчийн нэгдсэн урсгалтай оруулгатай захиалгат геометрүүд.
-
Цогцолбор литографийн бүрэлдэхүүн хэсгүүд: Хэдэн метрийн турш 1 микрон дотор тэгш байдлыг хадгалдаг том хэмжээний суурийг инженерчлэх.
-
Дэвшилтэт хэмжилзүй: Дэлхийн хамгийн мэдрэмтгий хяналтын тоног төхөөрөмжийн лавлагаа стандартыг хангах.
Дүгнэлт: Цаашдын стратегийн зам
Боржин чулуу болон керамикийн хооронд сонголт хийхдээ машиныхаа динамик профайлыг гүнзгий ойлгох шаардлагатай. Керамик нь өндөр давтамжийн хатуулагтай байдаг ч боржин чулуун байгалийн чийгшүүлэгч болон дулааны масс нь том хэмжээний тогтвортой байдлын хувьд харьцуулшгүй хэвээр байна.
2026 оныг харж байгаа энэ үед ZHHIMG нь байгалийн чулуу болон дэвшилтэт нийлмэл материалын огтлолцол дээр инноваци хийсээр байна. Бид зөвхөн суурь хангаад зогсохгүй таны тоног төхөөрөмж онолын хязгаартаа хүртэл ажиллах баталгааг өгдөг.
Техникийн харьцуулалтын өгөгдлийн хуудсыг авах эсвэл өөрийн төслийн шаардлагын талаар ярилцахын тулд өнөөдөр ZHHIMG инженерийн багтай холбогдоно уу.
Нийтэлсэн цаг: 2026 оны 1-р сарын 26