Дэвшилтэт дэлгэцийн үйлдвэрлэлийн өрсөлдөөн ихтэй ертөнцөд зах зээлийн тэргүүлэх байдал болон хуучирсан байдлын хоорондох ялгаа нь ихэвчлэн нэг хүчин зүйлээс хамаардаг: нарийвчлал. Өндөр нягтралтай, өндөр хүчин чадалтай OLED болон LCD дэлгэцийн үндэс суурь болох Бага температурт поликристал цахиур (LTPS) массивыг үйлдвэрлэх, шалгах нь инженерчлэлийн хил хязгаарыг тэлэх хүлцэл шаарддаг. Энэхүү хэт өндөр нарийвчлалын түвшинд хүрэх нь машин механизмын өөрийнх нь физик сууриас эхэлдэг. Тийм ч учраас LTPS массивын тоног төхөөрөмжийн боржин чулуун машины суурийг сонгох нь зөвхөн дизайны сонголт биш, харин үндсэн шаардлага юм.
LTPS массив үйлдвэрлэхэд оролцдог процессууд, ялангуяа лазер талсжилт болон дараагийн фотолитографи, тунадасжуулалтын үе шатууд нь нарийн чичиргээ болон дулааны шилжилт зэрэг хүрээлэн буй орчны чимээ шуугианд маш мэдрэмтгий байдаг. Хамгийн нарийн хяналттай цэвэр өрөөний орчинд ч гэсэн жижиг өөрчлөлтүүд нь массивын гарц болон жигд байдалд ноцтой нөлөөлж болно. Транзистор бүр төгс хэлбэртэй байгаа эсэхийг баталгаажуулахын тулд өндөр боловсронгуй тоног төхөөрөмжөөр хийгддэг шалгалтын үе шат нь бүтцийн бүрэн бүтэн байдлыг бүр ч өндөр түвшинд шаарддаг. Энэ бол хавтгай самбар дэлгэцийн бага температурт полисиликон массивын шалгалтын тоног төхөөрөмжийн Гранит машины суурь үнэхээр гайхалтай ажилладаг салбар юм.
LTPS шалгалтын дулааны болон динамикийн зайлшгүй шаардлага
LTPS технологи нь электроныг илүү хурдан хөдөлгөөнтэй болгох боломжийг олгодог бөгөөд жижиг, илүү үр ашигтай транзисторуудыг бий болгож, гайхалтай сэргээх хурдтай, бага эрчим хүч зарцуулдаг дэлгэцүүдийг бий болгодог. Гэсэн хэдий ч үүнд хамаарах бүтэц нь микроноор хэмжигддэг бичил харуурын бүтэцтэй. Нарийн төвөгтэй үзлэгийн тоног төхөөрөмж нь согогийг зөв олох, хэмжих, шинжлэхийн тулд түүний үйл ажиллагааны платформ бараг хөдөлгөөнгүй, хэмжээст хувьд өөрчлөгдөөгүй байх ёстой.
Цутгамал төмөр эсвэл ган зэрэг уламжлалт материалууд нь бат бөх боловч дулааны тэлэлтэд өртөмтгий байдаг. Ердийн гангийн дулааны тэлэлтийн коэффициент (CTE) нь хар боржин чулуунаас хамаагүй өндөр байдаг. Энэ нь орчны температур бага зэрэг, магадгүй нэг эсвэл хоёр градусаар нэмэгдэх нь ган машины бүтцийг илүү огцом тэлж, агшуулахад хүргэдэг гэсэн үг юм. Массивын үзлэгийн хүрээнд энэхүү дулааны шилжилт нь байрлалын алдаа, оптик замд буруу байрлал, сайн хавтангуудыг татгалзах эсвэл согогтой хавтангуудыг хүлээн авахад хүргэж болзошгүй буруу уншилтыг үүсгэдэг.
Үүний эсрэгээр, LTPS Array тоног төхөөрөмжид зориулсан тусгай боржин чулуун машины тавцан ашиглах нь маш бага CTE бүхий платформыг бий болгодог. Энэхүү дулааны тогтвортой байдал нь машины чухал геометр буюу хэмжилтийн мэдрэгч ба LTPS суурь хоорондын зай тогтмол хэвээр байх бөгөөд чанарын хяналтад зайлшгүй шаардлагатай тогтмол, давтагдах боломжтой дэд микрон хэмжилтийг хийх боломжийг олгодог.
Харьцуулшгүй чичиргээ намсгах болон хөшүүн чанар
Дулааны тогтвортой байдлаас гадна боржин чулууны дотоод материалын шинж чанар нь динамик хүч болон чичиргээг удирдахад мэдэгдэхүйц давуу талтай. Дэвшилтэт хяналтын системүүд нь бага зэргийн механик хөдөлгөөн болон чичиргээ үүсгэдэг өндөр хурдны шатлалт болон нарийн сканнердах механизмыг ашигладаг. Эдгээр дотоод хүчийг агааржуулагч эсвэл зэргэлдээх машин механизмаас гарах гадаад дуу чимээтэй хослуулан хөдөлгөөний бүдгэрэл эсвэл унших тогтворгүй байдлаас урьдчилан сэргийлэхийн тулд хурдан саармагжуулах ёстой.
Боржин чулууны өндөр дотоод чийгшүүлэх чадвар нь металлаас хамаагүй хурдан чичиргээний энергийг сарниулах боломжийг олгодог шинж чанар нь энд чухал ач холбогдолтой юм. Энэ нь идэвхгүй цочрол шингээгчийн үүрэг гүйцэтгэдэг бөгөөд хөдөлгөөн бүрийн дараа машиныг төгс хөдөлгөөнгүй байдалд хурдан буцааж оруулахыг баталгаажуулдаг. Чулууны уян хатан чанар ба нягтралын өндөр модуль нь хүнд ганти систем, оптик угсралт, вакуум камерны жин дор статик хазайлтыг багасгаж, маш хатуу бүтэцтэй болоход хувь нэмэр оруулдаг.
Үндсэндээ, LTPS массивын хэрэглээнд зориулж нарийн боловсруулсан боржин чулуун машины суурийг сонгосноор инженерүүд дулааны хувьд тогтвортой, акустикийн хувьд чимээгүй, бүтцийн хувьд хатуу суурийг бий болгож байна. Энэхүү гурвалсан шинж чанар нь орчин үеийн LTPS дэлгэцийн үйлдвэрлэлд шаардлагатай бүтээмж болон гарцын зорилгод хүрэхэд тохиромжгүй юм.
Байгалийн инженерийн төгс төгөлдөр байдал
Эцсийн бүтээгдэхүүн болох боржин чулуун машины суурь нь барзгар чулуунаас хол зөрүүтэй. Энэ нь хэмжилзүйн шилдэг бүтээл бөгөөд ихэвчлэн бага микрон эсвэл бүр субмикроноор хэмжсэн хүлцэлд хүрдэг. Боржин чулууг стрессээс ангижруулж, төгс тэгш байлгахын тулд тусгай техник ашигладаг. Энэхүү өндөр цэвэршүүлсэн байгалийн материал нь дараагийн бүх механик болон оптик тэгшлэлтийг тохируулдаг эцсийн лавлах хавтгайг бий болгодог.
LTPS массивын тоног төхөөрөмж үйлдвэрлэгчдийн хувьд өндөр нарийвчлалтай боржин чулууг нэгтгэснээр тэдний машинууд оргил гүйцэтгэлээр тасралтгүй ажиллах боломжтой бөгөөд энэ нь хэрэглэгчийн зах зээлд илүү өндөр бүтээмж, илүү сайн чанартай дэлгэц гаргахад шууд нөлөөлдөг. Энэ нь инженерчлэл туйлын төгс төгөлдөр байдлыг шаарддаг үед дэлхийн хамгийн тогтвортой байгалийн материалыг хайх нь хамгийн найдвартай шийдлийг өгдөг гэдгийг гэрчилдэг.
Нийтэлсэн цаг: 2025 оны 12-р сарын 3