Хагас дамжуулагч үйлдвэрлэлийн салбарт вафли ховилын машинууд нь вафлинууд дээр нарийн суваг үүсгэхэд чухал үүрэг гүйцэтгэдэг. Эдгээр машинуудын гүйцэтгэлд мэдэгдэхүйц нөлөөлж болно
d машины суурийн сонголтоор. ZHHIMG®-ийн санал болгож буй өндөр нарийвчлалтай боржин чулуун машины сууриуд нь энэ тал дээр тоглоомын дүрмийг өөрчилсөн.
Нарийвчлалтай ховил хийх тогтвортой байдал
Вафер ховилд тогтвортой байдал хамгийн чухал юм. 3100 кг/м³ орчим нягтралтай боржин чулуу нь маш тогтвортой суурийг бий болгодог. Ховил хийх явцад зүсэх хэрэгсэл нь ваферт хүч үйлчилдэг. Боржин чулуун суурь шиг тогтвортой машины суурь нь ваферийг барих механизмыг бат бөх байрандаа байлгахыг баталгаажуулдаг. Энэхүү тогтвортой байдал нь ваферын хүсээгүй хөдөлгөөн эсвэл чичиргээг багасгаж, зүсэх хэрэгсэлд өндөр нарийвчлалтай ховил үүсгэх боломжийг олгодог. Үүний эсрэгээр, тогтвортой бус суурь материал нь ваферыг бага зэрэг хөдөлгөж, хэт өргөн, хэт нарийн эсвэл шулуун бус ховил үүсгэдэг бөгөөд энэ нь эцсийн хагас дамжуулагч төхөөрөмжийн ажиллагаанд ноцтой нөлөөлж болзошгүй юм.
Гөлгөр үйл ажиллагаанд зориулсан чичиргээг намсгах
Чичиргээ нь аливаа боловсруулалтын процесст зайлшгүй шаардлагатай асуудал бөгөөд вафлийн ховил нь үүнээс өөр зүйл биш юм. Вафлийн ховил хийх машинд зүсэх багажны өндөр хурдтай эргэлт нь чичиргээ үүсгэдэг. Хэрэв эдгээр чичиргээг үр дүнтэй чийгшүүлэхгүй бол вафлийн ирмэг хагарах, ховилын гүн жигд бус байх, гадаргуугийн өнгөлгөө муудахад хүргэдэг. Боржин чулуу нь маш сайн чичиргээ намсгах шинж чанартай. Түүний байгалийн бүтэц нь хоорондоо холбогдсон эрдэс мөхлөгүүдээс бүрддэг бөгөөд байгалийн цочрол шингээгч болдог. Чичиргээ үүсэх үед энерги нь боржин чулуун дотор тархаж, вафли болон зүсэх хэрэгсэлд үзүүлэх нөлөөллийг бууруулдаг. Энэ нь илүү жигд зүсэх үйл ажиллагаа, багажны ашиглалтын хугацааг уртасгах, өндөр чанартай ховилтой вафли үүсгэдэг.
Тогтвортой үр дүнд хүрэх дулааны эсэргүүцэл
Хагас дамжуулагч үйлдвэрлэлийн байгууламжууд ихэвчлэн хяналттай орчинд ажилладаг боловч температурын бага зэргийн хэлбэлзэл хэвээр байж болно. Боржин чулуу нь маш бага дулааны тэлэлтийн коэффициенттэй байдаг. Энэ нь вафли ховиллох процессын үед температур бага зэрэг өөрчлөгдөхөд (зүсэх багажнаас үүссэн дулаан эсвэл орчны температурын хэлбэлзлээс шалтгаалан) боржин чулуун машины суурь мэдэгдэхүйц тэлэхгүй эсвэл агшихгүй гэсэн үг юм. Нарийвчлалын хүлцэл нь микрометр эсвэл бүр нанометрийн хүрээнд байдаг вафли ховиллох процесст дулааны нөлөөгөөр хэмжээст өөрчлөлтүүд нь сүйрэлд хүргэж болзошгүй юм. Боржин чулуун дулааны тогтвортой байдал нь машины эд ангиудын уялдаа холбоог хадгалахад тусалдаг бөгөөд ховиллох процесс цаг хугацааны явцад нарийвчлалтай, тогтвортой хэвээр байхыг баталгаажуулдаг.
Урт хугацааны хэрэглээний бат бөх чанар
Вафер ховилын машиныг өндөр эзэлхүүнтэй хагас дамжуулагч үйлдвэрлэлд тасралтгүй ашигладаг. Машины суурь нь механик стресс, үрэлт болон хааяа тохиолддог цохилтод өртдөг. Боржин чулуун өндөр хатуулаг, элэгдэлд тэсвэртэй шинж чанар нь үүнийг урт хугацаанд ашиглахад тохиромжтой материал болгодог. Энэ нь өдөр тутмын үйл ажиллагааны хүнд хэцүү байдлыг мэдэгдэхүйц элэгдэл, хэв гажилтгүйгээр тэсвэрлэх чадвартай. Энэхүү бат бөх чанар нь суурьтай холбоотой асуудлаас болж байнга солих эсвэл үнэтэй засвар үйлчилгээ хийх хэрэгцээг бууруулдаг. Үүнээс гадна, боржин чулуу нь химийн хувьд идэвхгүй бөгөөд энэ нь хагас дамжуулагч үйлдвэрлэлийн процесст ашигладаг химийн бодисуудаас зэврэлтэнд тэсвэртэй гэсэн үг бөгөөд ашиглалтын хугацааг нь уртасгадаг.
Эцэст нь хэлэхэд, өндөр нарийвчлалтай боржин чулуун машины суурь нь вафли ховиллох машины гүйцэтгэлийг үнэхээр сайжруулж чадна. Боржин чулуун машины суурь нь тогтвортой байдлыг хангаж, чичиргээг намсгаж, дулааны өөрчлөлтийг эсэргүүцэж, урт хугацааны бат бөх чанарыг санал болгосноор вафли ховиллох үйл ажиллагааг илүү нарийвчлалтай, үр ашигтай, найдвартай болгоход хувь нэмэр оруулдаг. Вафли ховиллох төхөөрөмжийг шинэчлэх эсвэл шинээр худалдан авах талаар бодож байхдаа ZHHIMG®-ийнх шиг өндөр нарийвчлалтай боржин чулуун машины суурьтай машин сонгох нь хагас дамжуулагч үйлдвэрлэлийн чанар, бүтээмжийг мэдэгдэхүйц сайжруулж чадах ухаалаг шийдвэр юм.
Нийтэлсэн цаг: 2025 оны 6-р сарын 3