Боржингийн платформ нь нарийн хэмжилт, боловсруулалтын лавлах хэрэгсэл болохын хувьд түүний нарийвчлалын засвар үйлчилгээ нь үйлдвэрлэлийн чанарт шууд нөлөөлдөг. Платформ нь нанометрийн түвшний нарийвчлалыг удаан хугацаанд хадгалахын тулд хүрээлэн буй орчны хяналт, өдөр тутмын засвар үйлчилгээ, мэргэжлийн шалгалт тохируулга зэргийг багтаасан системчилсэн засвар үйлчилгээний төлөвлөгөөг доор харуулав.
1. Байгаль орчны хяналт: Нарийвчлалтай хамгаалалтын хаалт барих
Температур ба чийгшлийн зохицуулалт
Ажлын орчны температурыг 20±1℃ хэмд тогтворжуулах шаардлагатай. 1℃ хэлбэлзэл тутамд боржингийн платформыг 0.5-1μm/m-ийн дулааны хэв гажилт үүсгэдэг. Агааржуулагчийн залгуурыг платформ дээр шууд үлээхээс сэргийлэхийн тулд цехэд тогтмол температурын системийг суурилуулж болно.
Чийглэгийг 40% -аас 60% хүртэл хянах шаардлагатай. Хэт их чийгшил нь металл эд ангиудад амархан зэврэхэд хүргэдэг бол хэт бага чийгшил нь хэмжилтэд статик цахилгааны саад учруулдаг.
Чичиргээ тусгаарлах
Платформыг тамгалах машин, тээрэмдэх машин зэрэг чичиргээний эх үүсвэрээс хол байлгах хэрэгтэй. Чичиргээний төхөөрөмжөөс 3 метрээс илүү зайд байлгахыг зөвлөж байна.
Хэрэв чичиргээнээс зайлсхийх боломжгүй бол платформын тэгш байдалд хүрээлэн буй орчны чичиргээний нөлөөллийг багасгахын тулд платформын ёроолд пүршний амортизатор суурилуулж болно (энэ нь гаднах чичиргээг 80% -иас илүү бууруулах боломжтой).
2. Өдөр тутмын засвар үйлчилгээ: Цэвэрлэхээс хамгаалах хүртэл нарийн хяналт
Гадаргууг цэвэрлэх техникийн үзүүлэлт
Тоос арилгах: Тоосны тоосонцор (≥5μm) тавцанг маажихаас сэргийлэхийн тулд гадаргууг бугын арьс эсвэл хөвөнгүй даавуугаар өдөр бүр нэг чиглэлд арч. Зөрүүд толбыг усгүй этанолоор зөөлөн арчиж болно (цэвэршил ≥99.7%). Ацетон зэрэг хүчтэй уусгагчийг хэрэглэж болохгүй.
Тос арилгах: Хэрэв энэ нь тосон толботой хүрвэл шингэрүүлсэн саармаг цэвэрлэгчээр арчиж, дараа нь ионгүйжүүлсэн усаар зайлж, агаарт хатааж, эрдэс тос нь тавцангийн жижиг нүхэнд нэвтрэн орохоос сэргийлнэ.
Ачаалал болон мөргөлдөөнөөс хамгаалах
Орон нутгийн хэт ачааллаас үүдэлтэй байнгын хэв гажилтаас зайлсхийхийн тулд тавцангийн даацын даацыг нэрлэсэн ачааллын 70%-д (жишээлбэл, 1000кг-ын тавцангийн хувьд ачаалал ≤700кг байхыг зөвлөж байна) хянах шаардлагатай.
Ажлын хэсгүүдийг тавцан дээр цохихыг хатуу хориглоно. Багаж хэрэгсэлтэй ажиллахдаа гадаргууг хурц үзүүртэй зүйлээр зурахаас сэргийлж зөөлөн бээлий өмс (20мкм-ээс их гүнтэй зураас нь туссан гэрлийн замыг хэмжихэд нөлөөлнө).
3. Мэргэжлийн шалгалт тохируулга: Нарийвчлалыг шинжлэх ухааны үндэслэлтэйгээр хадгалах гол үндэс
Шалгалт тохируулгын мөчлөгийн тохиргоо
Уламжлалт хэрэглээний хувилбарууд: Улиралд нэг удаа тохируулж, тэгш байдлыг илрүүлэхийн тулд лазер интерферометр ашиглана (±0.5μm/m нарийвчлалтай).
Өндөр давтамжийн хэрэглээ эсвэл хатуу ширүүн орчин: Температурын мэдрэмтгий хэсгүүдийг (дулааны эх үүсвэрийн ойролцоох тавцангийн ирмэг гэх мэт) хянахад чиглэсэн сар бүр тохируулга хийх.
Шалгалт тохируулгын дараах боловсруулалт
Хэрэв тэгш байдлын хазайлт илэрсэн бол (> ±1μm/m гэх мэт) түүнийг нунтаглаж, W1.5 микро нунтаг ашиглан мэргэжлийн техникчээр засч залруулах шаардлагатай. Зүлгүүрээр өөрөө нунтаглахыг хатуу хориглоно.
Шалгалт тохируулсны дараа өгөгдлийг бүртгэж, архивлаж, засвар үйлчилгээний шаардлагыг урьдчилан таамаглахын тулд платформын нарийвчлалын сулралтын муруйг бий болгоно.
4. Хадгалалт ба тээвэрлэлт: Нягт нямбай алдагдахаас сэргийлнэ
Урт хугацааны хадгалалтын гол цэгүүд
Хадгалахдаа чийг, тоос нэвтэрдэггүй бүрээстэй байх ёстой. Таталцлын нөлөөгөөр гулзайлтын хэв гажилтаас сэргийлэхийн тулд ёроолыг гурван цэгээр (тулах цэг нь платформын уртын 2/9-д байрладаг) бэхэлсэн байх ёстой (1 метрийн тавцан нь урт хугацааны нэг цэгийн тулгуураас болж 0.3 μм-ээр унжиж болно).
Орон нутгийн урт хугацааны дарамтаас зайлсхийхийн тулд платформыг дэмжих цэгүүдийн байрлалыг тогтмол (сар бүр) шилжүүлээрэй.
Тээврийн хамгаалалтын төлөвлөгөө
Богино зайд тээвэрлэх: Цочрол шингээгч хөөсөөр боож, хатуу хүрээ дотор бэхэлж, хурдатгалыг 2г дотор барина.
Холын зайн тээвэрлэлт: Вакуумаар савлаж, хуурай азотоор дүүргэх шаардлагатай. Ирсэний дараа конденсацын ус нарийвчлалд нөлөөлөхгүйн тулд задлахын өмнө температур тэнцвэрт хүрэх хүртэл 24 цагийн турш байлгана.
5. Алдааг урьдчилан таамаглах: Асуудлыг эрт илрүүлэх арга
Харааны үзлэг: Гадаргууг 40 дахин томруулдаг шилээр тогтмол ажигла. Хэрэв тасралтгүй зураас эсвэл гялбаа мэдэгдэхүйц буурч байвал энэ нь нарийвчлал буурч байгааг илтгэнэ.
Дуу илрүүлэх: Платформ дээр зөөлөн товш. Хэрэв дуу нь сөөнгө болвол (ихэвчлэн энэ нь тодорхой дуу чимээтэй байх ёстой) дотор нь бичил хагарал үүсч болно. Үүнийг илрүүлэхийн тулд нэн даруй ашиглахаа зогсоо.
Энэхүү засвар үйлчилгээний системээр дамжуулан ZHHIMG® боржин чулуун тавцан нь ±1μm/m-ийн тэгш байдлыг 10 жилийн турш хадгалах боломжтой бөгөөд энэ нь зохих ёсоор арчлаагүй платформуудын нарийвчлалын ашиглалтын хугацаанаас 3 дахин урт юм. Хагас дамжуулагчийн тодорхой үйлдвэр энэ шийдлийг хэрэгжүүлсний дараа платформ шалгалт тохируулгын давтамж 50%-иар буурч, жилийн засвар үйлчилгээний зардал 150,000 гаруй юаниар хэмнэгдсэн нь практикт нотлогдсон.
Шуудангийн цаг: 2025 оны 6-р сарын 18