Тохируулгын лаборатори, хагас дамжуулагч цэвэрлэгээний өрөө, сансрын хэмжилзүйн тасгийн чимээгүй танхимд чимээгүй хувьсгал өрнөж байна. Энэ нь зөвхөн програм хангамж эсвэл мэдрэгчээр бус, харин хэмжилтийн үндэс суурийг бүрдүүлдэг материалуудаар хөдөлдөг. Энэхүү өөрчлөлтийн тэргүүн эгнээнд хэт тогтвортой керамик агаарын шулуун шугам, онцгой хатуу өндөр нарийвчлалтай цахиурын карбид (Si-SiC) параллелепипед ба дөрвөлжин зэрэг дэвшилтэт керамик хэмжих хэрэгслүүд багтаж байна. Эдгээр нь зүгээр нэг багаж хэрэгсэл биш; тэдгээр нь тогтвортой байдал, давтагдах чадвар, дулааны төвийг сахисан байдлыг хэлэлцээр хийх боломжгүй шинэ эрин үеийг бий болгоход түлхэц болдог.
Хар боржин чулуу хагас зуун гаруй жилийн турш нарийвчлалын хэмжилзүйн чиглэлээр ноёрхож ирсэн. Байгалийн чийгшил, бага дулааны тэлэлт, маш сайн тэгш байдал нь гадаргуугийн хавтан, дөрвөлжин, шулуун ирмэгийн гол материал болсон. Гэсэн хэдий ч аж үйлдвэрүүд, ялангуяа хагас дамжуулагч литографи, сансрын оптик, квант тооцоололд микроноос бага, тэр ч байтугай нанометрийн хэмжээний хүлцэл рүү шилжих тусам боржин чулууны хязгаарлалт улам бүр тодорхой болж байна. Энэ нь хүнд, давтан хүрэлцэх үед бичил чипс үүсэхэд өртөмтгий бөгөөд нэр хүндтэй хэдий ч ачаалал эсвэл хүрээлэн буй орчны хэлбэлзлийн дор бага зэрэг удаан хугацаанд мөлхөж байдаг.
Инженерийн керамик эдлэлийг оруулна уу: өдөр тутмын төсөөллийн хэврэг ваар биш, харин хэт халуун, даралтын дор цутгасан нягт, нэгэн төрлийн, өндөр гүйцэтгэлтэй материалууд. Эдгээрээс хэмжилзүйн хэрэглээнд хоёр ангилал ялгардаг: өндөр цэвэршилттэй хөнгөнцагаан исэл (Al₂O₃) ба урвалд холбогдсон цахиурын карбид (Si-SiC). Хоёулаа уламжлалт материалаас эрс сайжруулалт санал болгодог ч тус тусдаа үүрэг гүйцэтгэдэг бөгөөд хамтдаа хэмжээст хэмжилзүйн боломжит тэргүүлэх чиглэлийг төлөөлдөг.
Жишээлбэл, керамик агаарын шулуун шугамыг авч үзье. Агаар агуулсан шат эсвэл оптик интерферометртэй ашиглахад зориулагдсан энэхүү багаж нь бараг төгс шулуун байдал, хамгийн бага масс, тэг дулааны зөрүү шаарддаг. Хөнгөн цагаан дээр суурилсан.керамик шугамууд—500 мм-ээс дээш ±0.5 µм дотор тэгш ба шулуун болгож боловсруулж, Ra 0.02 µм-ээс доош гадаргуугийн барзгаржилт хүртэл өнгөлсөн—яг үүнийг хангадаг. Тэдгээрийн бага нягтрал (~3.6 г/см³) нь динамик хэмжилтийн систем дэх инерцийг бууруулдаг бол соронзон бус, дамжуулагч бус шинж чанар нь мэдрэмтгий электрон эсвэл соронзон орчинд хөндлөнгийн оролцоог арилгадаг. Ваферын үзлэгийн хэрэгсэл эсвэл лазер трекерийн тохируулгын тохиргоонд, нэг микрон нум ч гэсэн үр дүнг гажуудуулж чаддаг бол керамик агаарын шулуун шугам нь температурын хэлбэлзэл болон үйл ажиллагааны мөчлөгийн туршид үнэн хэвээр үлддэг тогтвортой, идэвхгүй лавлагаа өгдөг.
Гэхдээ сансрын дурангийн толин тусгалын тохируулга эсвэл өндөр хүчин чадалтай лазер хөндийн хэмжилзүйн хувьд эцсийн хатуулаг болон дулаан дамжуулалт шаардлагатай үед инженерүүд өндөр нарийвчлалтай цахиур-карбид (Si-SiC) параллелепипед болон дөрвөлжин эд ангиудыг ашигладаг. Si-SiC нь мэдэгдэж буй хамгийн хатуу материалуудын нэг бөгөөд Янгийн модуль нь 400 ГПа-аас давсан буюу гангийнхаас гурав дахин их бөгөөд дулаан дамжуулалт нь хөнгөн цагаантай өрсөлдөх чадвартай. Хамгийн чухал нь түүний дулааны тэлэлтийн коэффициент (CTE)-ийг оптик шил эсвэл цахиурын вафлитай харьцуулж, эрлийз угсралтад бараг тэг дифференциал тэлэлтийг бий болгох боломжтой болгож болно. EUV литографийн хэрэгсэлд мастер лавлагаа болгон ашигладаг Si-SiC дөрвөлжин нь зүгээр л хэлбэрээ хадгалахаас гадна орон нутгийн халаалт эсвэл чичиргээнээс үүдэлтэй гажуудлыг идэвхтэй эсэргүүцэх болно.
Эдгээр ололт амжилтыг зөвхөн материал төдийгүй керамик хэмжих хэрэгслийг үйлдвэрлэх ур чадвар бий болгосон. Жишээлбэл, Si-SiC-ийг нарийн боловсруулахад алмазан нунтаглах дугуй, микроноос бага CNC платформ, температурын хяналттай орчинд явуулсан олон үе шаттай давхцах процесс шаардлагатай. Буруу хайлуулахаас үүссэн бага зэргийн үлдэгдэл стресс нь боловсруулалтын дараах гажуудалд хүргэж болзошгүй юм. Тийм ч учраас дэлхийн цөөн хэдэн үйлдвэрлэгчид л материалын синтез, нарийвчлалтай хэлбэржүүлэх, эцсийн хэмжилзүйг нэг дээвэр дор нэгтгэдэг нь жинхэнэ хэмжилзүйчийн зэрэглэлийн үйлдвэрлэгчдийг ерөнхий керамик нийлүүлэгчдээс ялгаж салгадаг чадвар юм.
ZHONGHUI INTELLIGENT MANUFACTURING (JINAN) GROUP CO., LTD (ZHHIMG) компанийн энэхүү босоо интеграци нь бидний эрхэм зорилгын гол цөм юм. DIN 874 AA зэрэглэлийн гэрчилгээтэй керамик агаарын шулуун шугамын загварууд болон PTB болон NIST стандартаар мөрдөх боломжтой өндөр нарийвчлалтай цахиурын карбид (Si-Si-C) параллелепипед болон дөрвөлжин эд өлгийнүүдийг багтаасан манай керамик хэмжих хэрэгслүүдийг ISO 7-р ангиллын цэвэр өрөөнд өөрийн хайлуулах болон өнгөлөх протоколуудыг ашиглан үйлдвэрлэдэг. Бүрэлдэхүүн хэсэг бүрийг бүрэн интерферометрийн баталгаажуулалт, геометрийн хүлцэл (хавтгай, параллелизм, перпендикуляр байдал)-ын CMM баталгаажуулалт, тээвэрлэлтийн өмнө гадаргуугийн бүрэн бүтэн байдлын туршилтад хамруулдаг. Үр дүн нь зөвхөн техникийн үзүүлэлтүүдийг хангаад зогсохгүй, багцын дагуу тэдгээрийг тогтмол давсан лавлах зэрэглэлийн эд өлгийн зүйл юм.
Ийм гүйцэтгэлийн эрэлт хэрэгцээ өсөн нэмэгдэж байна. Хагас дамжуулагч үйлдвэрлэлд EUV болон өндөр NA литографийн системүүд нь метрийн масштабын зайд хэдэн арван нанометрийн дотор тогтвортой тэгшлэх бүтцийг шаарддаг бөгөөд энэ нь Si-SiC-ийн дулааны механик синергизмгүйгээр боломжгүй юм. Агаарын тээврийн салбарт керамик лавлагаагаар хийсэн хиймэл дагуулын оптик стендүүд нь хэт дулааны мөчлөгийн үед ч тойрог зам дээрх тогтвортой байдлыг хангадаг. Пикометрийн түвшний тогтвортой байдал чухал байдаг таталцлын долгион илрүүлэх эсвэл атомын цагийн хөгжил зэрэг шинээр гарч ирж буй салбарт ч керамик болон Si-SiC хэмжилзүйн олдворууд зайлшгүй шаардлагатай болж байна.
Эдгээр хэрэгслүүд нь тогтвортой байдал болон эзэмшлийн нийт өртгийг чухалчилдаг. Өндөр нарийвчлалтай цахиур-карбидын параллелепипедийн анхны хөрөнгө оруулалт нь боржин чулуутай дүйцэхүйц хэмжээнээс давж болох ч өндөр хэрэглээтэй орчинд ашиглалтын хугацаа нь 5-10 дахин урт байж болно. Энэ нь тослох шаардлагагүй, бүх нийтлэг уусгагч болон плазмд тэсвэртэй бөгөөд чийг шингээх чадвараас шалтгаалан дахин тохируулга хийх шаардлагагүй - цутгамал төмөр эсвэл зарим боржин чулуунаас ялгаатай нь. AS9100, ISO 13485, эсвэл SEMI стандартын дагуу үйл ажиллагаа явуулдаг чанарын менежерүүдийн хувьд энэхүү найдвартай байдал нь ажиллахгүй байх хугацааг багасгах, аудитын үр дүнг багасгах, үйлчлүүлэгчдийн итгэлийг нэмэгдүүлэхэд шууд нөлөөлдөг.
Түүнчлэн эдгээр хэрэгслийн гоо зүй, үйл ажиллагааны дэгжин байдлыг үл тоомсорлож болохгүй. Өнгөлсөн Si-SiC дөрвөлжин нь металл гялбаатайгаар гялалздаг боловч гангаас бага жинтэй. Керамик агаарын шулуун шугам нь бат бөх мэт санагддаг ч хялбархан өргөдөг - энэ нь нягт орон зайд гараар баталгаажуулахад тохиромжтой. Эдгээр хүн төвтэй чанарууд нь бодит ертөнцийн лабораторид чухал ач холбогдолтой бөгөөд эргономик болон ашиглахад хялбар байдал нь өдөр тутмын ажлын урсгалд нөлөөлдөг.
Тэгэхээр керамик хэмжих хэрэгслүүд хэт өндөр нарийвчлалыг дахин тодорхойлж байна уу? Хариулт нь өгөгдөлд болон одоо тэдгээрийг стандарт болгон тодорхойлсон дэлхийн тэргүүлэгчдийн өсөн нэмэгдэж буй жагсаалтад оршино. Дараагийн үеийн уртын стандартыг баталгаажуулдаг үндэсний хэмжилзүйн хүрээлэнгүүдээс эхлээд цахилгаан тээврийн хэрэгслийн хөтчийн бүрэлдэхүүн хэсгүүдийг баталгаажуулдаг 1-р түвшний нийлүүлэгчид хүртэл өөрчлөлт тодорхой байна: тодорхойгүй байдлыг багасгах шаардлагатай үед инженерүүд инженерчлэлийн керамикт итгэдэг.
Аж үйлдвэрүүд атомын хэмжээний хяналт руу тасралтгүй алхсаар байгаа тул нэг үнэн үгүйсгэхийн аргагүй болж байна: хэмжилтийн ирээдүй чулуугаар сийлбэрлэгдэхгүй эсвэл металлаар цутгагдаагүй болно. Үүнийг керамик болон цахиурын карбидаар шатааж, нунтаглаж, өнгөлөх болно.
ZHONGHUI INTELLIGENT MANUFACTURING (JINAN) GROUP CO., LTD (ZHHIMG) нь хэт нарийвчлалтай керамик болон цахиурын карбидын хэмжилзүйн шийдлүүдийн чиглэлээр дэлхийд хүлээн зөвшөөрөгдсөн шинийг санаачлагч юм. Керамик хэмжих хэрэгсэл, керамик агаарын шулуун шугам, өндөр нарийвчлалтай цахиурын карбид (Si-SiC) параллелепипед болон дөрвөлжин эд ангиудад мэргэшсэн ZHHIMG нь хагас дамжуулагч, сансар судлал, батлан хамгаалах, шинжлэх ухааны судалгааны хэрэглээнд зориулсан бүрэн баталгаажсан, лабораторийн зэрэглэлийн эд өлгийн зүйлсийг нийлүүлдэг. ISO 9001, ISO 14001 болон CE гэрчилгээгээр баталгаажсан манай бүтээгдэхүүнүүд дэлхий даяарх тэргүүлэгч технологийн аж ахуйн нэгжүүдийн итгэлийг хүлээдэг. Манай дэвшилтэт хэмжилзүйн портфолиог эндээс үзнэ үү.www.zhhimg.com.
Нийтэлсэн цаг: 2025 оны 12-р сарын 5