Нарийвчлалтай аж үйлдвэрийн үйлдвэрлэл, хамгийн сүүлийн үеийн шинжлэх ухааны судалгааны хайгуулын салбарт газар хөдлөлтийн маш сайн үзүүлэлт бүхий боржин чулуун тавцан нь янз бүрийн өндөр нарийвчлалтай үйл ажиллагааны жигд хөгжлийг хангах гол төхөөрөмж болжээ. Цочролд тэсвэртэй үнэлгээний стандарт нь чичиргээнд маш мэдрэмтгий байдаг олон ажлын хувилбаруудад найдвартай баталгаа өгдөг.
Нэгдүгээрт, боржингийн тавцангийн газар хөдлөлтөд тэсвэртэй байдлыг тодорхойлох үндэслэл
Материалын шинж чанар: Боржингийн тавцан нь байгалийн боржин чулуугаар хийгдсэн бөгөөд олон сая жилийн геологийн процессын дараа дотоод болор бүтэц нь нягт зохион байгуулалттай, маш жигд байдаг. Энэхүү өвөрмөц бүтэц нь боржингийн уян хатан модулийн өөрчлөлтийн маш бага хурдыг өгдөг бөгөөд металл гэх мэт бусад нийтлэг материалуудтай харьцуулахад цочролд өртөх үед түүний уян хатан хэв гажилтыг маш бага хүрээнд хянаж чаддаг. Эрх бүхий туршилтын байгууллагуудын дүгнэлтээр чичиргээний стандарт орчинд боржингийн уян хатан хэв гажилт нь энгийн металл материалынхаас ердөө 1/10-1/20 хэмжээтэй байгаа нь платформын газар хөдлөлтийн өндөр түвшний гүйцэтгэлийн хатуу материаллаг суурийг тавьдаг.
Бүтцийн дизайн: Макро бүтцийн үүднээс авч үзвэл боржин чулуун платформ нь оновчтой геометрийн хэлбэр, тулгуур зохион байгуулалтаар хийгдсэн. Таталцлын төвийг тогтвортой байлгахын тулд тавцангийн нийт урт, өргөн, өндрийн харьцааг нарийн тооцоолж, чичиргээнээс үүдэлтэй сэгсрэх эрсдлийг бууруулдаг. Үүний зэрэгцээ тулгуур цэгүүдийн хуваарилалтыг механикийн зарчмын дагуу шинжлэх ухаанчаар төлөвлөж, платформ дээр байрлуулсан объектын жин, гадны чичиргээнээс үүсэх цохилтын хүчийг жигд хуваарилах боломжтой. Жишээлбэл, том боржингийн тавцанд олон цэгт тулгуурын бүтцийг ашигладаг бөгөөд зэргэлдээх тулгуур цэгүүдийн хоорондох зайны алдааг ± 0.05 мм-ийн дотор хянадаг бөгөөд энэ нь орон нутгийн стрессийн концентрацаас үр дүнтэй зайлсхийж, тавцангийн газар хөдлөлтийн чадварыг улам сайжруулдаг.
2. Цочролд тэсвэртэй түвшин бүрийн нарийвчилсан үзүүлэлтүүд болон хэрэглээний хувилбарууд
I түвшний цочролд тэсвэртэй стандарт (хэт өндөр нарийвчлалын шаардлагын хувилбарууд)
Чичиргээний шилжилтийн индекс: Газар хөдлөлтийн долгионы чичиргээний давтамжийн (0.1Гц-100Гц) дуураймал хүрээнд платформын гадаргуу дээрх аль ч байрлал дахь чичиргээний шилжилтийн оргил утга нь 0.001мм-ээс ихгүй байна. Эргэн тойрон дахь том машин механизмын үйл ажиллагааны үр дүнд үүссэн нам давтамжийн чичиргээ (1Гц-10Гц орчим давтамжтай хүнд машин механизмын чичиргээ гэх мэт) саад болох үед тавцан дээр байрлуулсан өндөр нарийвчлалтай оптик хэмжих хэрэгсэл, тухайлбал, атомын хүчний микроскоп, хэмжих болон хэмжих дээжийн хоорондох харьцангуй шилжилтийн өөрчлөлт, хэмжилт хийх боломжтой. нано хэмжээст нарийвчлалд нөлөөлөхгүй.
Хэрэглээний хувилбар: Энэ нь голчлон хагас дамжуулагч чип үйлдвэрлэх литографийн процесст ашиглагддаг. Чип үйлдвэрлэхэд маш өндөр литографийн нарийвчлал шаардагддаг бөгөөд шугамын өргөн нь нанометрийн түвшинд хүрсэн. Литографийн үйл явцад боржин чулуун тавцан нь литографийн машинд тогтвортой дэмжлэг үзүүлэх, цехийн бусад тоног төхөөрөмжийн үйл ажиллагааны улмаас үүссэн чичиргээг тусгаарлах, литографийн хэв маягийг үнэн зөв шилжүүлэх, ингэснээр чипний үйлдвэрлэлийн гарцыг ихээхэн сайжруулах шаардлагатай. Салбарын статистик мэдээллээс харахад цочролд тэсвэртэй 1-р түвшний стандарт боржин чулуун платформыг хангасан чип үйлдвэрлэх шугамыг ашиглах нь энгийн платформтой харьцуулахад ургацыг 15% -20% -иар нэмэгдүүлсэн байна.
Цочролын эсрэг 2-р түвшний стандарт (өндөр нарийвчлалтай хувилбар)
Чичиргээний шилжилтийн индекс: 0.1Гц-100Гц чичиргээний давтамжийн дор платформын гадаргуугийн хамгийн их чичиргээний шилжилтийг 0.005мм дотор хянадаг. Их дээд сургуулиудын шинжлэх ухааны судалгааны лабораторид хийсэн микроскопийн тоосонцор илрүүлэх туршилт, тухайлбал, сканнердах хонгилын микроскоп (STM) туршилтын хувьд энэ түвшний цохилтод тэсвэртэй байдал нь лабораторийн эргэн тойронд ажиллаж буй ажилтнууд, лабораторийн эргэн тойрон дахь тоног төхөөрөмж зэрэг ердийн чичиргээний тодорхой эх үүсвэртэй байсан ч STM-ийн үзүүр ба дээжийн хоорондох харьцангуй байрлалыг тогтвортой байлгах боломжийг олгодог. Ийнхүү бичил харуурын тоосонцоруудын квант төлөвийн мэдээллийг үнэн зөвөөр авдаг бөгөөд энэ нь судлаачдад туршилтын үнэн зөв мэдээллийг олж авах баталгаа болдог.
Хэрэглээний хувилбар: Өндөр нарийвчлалтай электрон балансын үйлдвэрлэлийн дибаг хийх процесс гэх мэт өндөр нарийвчлалтай багажийн үйлдвэрлэлд өргөн хэрэглэгддэг. Цахим тэнцвэр нь чичиргээнд маш мэдрэмтгий байдаг ба жижиг чичиргээ ч хэмжилтийн үр дүнд хазайхад хүргэдэг. Хоёр дахь түвшний цочрол эсэргүүцэх стандартыг хангасан боржин чулуун тавцан нь электрон балансыг тохируулж, ашиглалтад оруулах тогтвортой орчинг бүрдүүлж, жингийн хэмжилтийн нарийвчлалыг микрограммын түвшинд хүргэх, эмийн болон үнэт эдлэлийн таних зэрэг жин хэмжилтийн өндөр нарийвчлалын салбарын эрэлт хэрэгцээг хангах боломжтой.
Гурван түвшний цочролд тэсвэртэй стандарт (өндөр нарийвчлалтай хувилбар)
Чичиргээний шилжилтийн индекс: чичиргээний давтамжийн мужид 0.1Гц-100Гц, платформын гадаргуугийн чичиргээний дээд шилжилт нь 0.01мм-ээс ихгүй байна. Үйлдвэрийн цехэд түгээмэл хэрэглэгддэг дунд оврын тоног төхөөрөмжийн үйл ажиллагааны улмаас үүссэн чичиргээтэй тулгарах үед (чичиргээний давтамж нь ерөнхийдөө 10Hz-50Hz) боржин тавцан дээр байрлуулсан энгийн хэмжих хэрэгсэл, тухайлбал координат хэмжих хэрэгсэл нь хэмжилтийн нарийвчлалыг тогтвортой байлгаж, хэмжилтийн өгөгдлийн хазайлтыг маш бага хязгаарт хянадаг.
Хэрэглээний хувилбар: Автомашины эд анги үйлдвэрлэхэд нарийн хэмжилт хийхэд тохиромжтой. Автомашины хөдөлгүүрийн цилиндрийн блок, дамжуулах араа болон бусад эд ангиудыг боловсруулах нарийвчлал нь автомашины гүйцэтгэл, найдвартай байдалд шууд нөлөөлдөг. Эдгээр эд ангиудыг хэмжихдээ цочролд тэсвэртэй гурван гүйцэтгэлийн боржин чулуун тавцан нь цехийн тоног төхөөрөмжийн чичиргээг үр дүнтэй тусгаарлаж, координат хэмжих хэрэгсэл нь эд ангиудын хэмжээ, хэлбэр, байрлалын хүлцэл болон бусад параметрүүдийг үнэн зөв хэмжиж, автомашины эд ангиудын чанарын хяналтад хүчтэй дэмжлэг үзүүлэх, автомашины эд ангиудын үйлдвэрлэлийг сайжруулах боломжийг олгодог.
Гурав, газар хөдлөлтийн түвшин стандартад нийцэж байгаа эсэхийг шалгах чанарын хатуу шалгалт
Боржингийн платформ бүр газар хөдлөлтөд тэсвэртэй стандартыг хангаж чадахуйц байхын тулд бид хатуу, төгс чанарын хяналтын тогтолцоог бий болгосон. Үйлдвэрлэлийн явцад боржин чулуун түүхий эд тус бүр дээр биет шинж чанарын иж бүрэн туршилт хийж, дотоод бүтэц нь нэгэн хэвийн, илэрхий согоггүй эсэхийг баталгаажуулдаг. Платформыг боловсруулж дууссаны дараа чичиргээний симуляцийн туршилтын дэвшилтэт төхөөрөмжийг платформыг туршихын тулд янз бүрийн нарийн төвөгтэй чичиргээний орчинг дуурайлган дуурайхад ашигладаг. Өндөр нарийвчлалтай лазерын шилжилтийн мэдрэгчээр дамжуулан чичиргээний процессын явцад платформын гадаргуу дээрх цэг бүрийн шилжилтийн өөрчлөлтийг бодит цаг хугацаанд хянаж, өгөгдлийг мэргэжлийн өгөгдөл боловсруулах системд дамжуулж дүн шинжилгээ хийдэг. Платформын чичиргээний үзүүлэлтүүд нь цочролд тэсвэртэй стандартад бүрэн нийцсэн тохиолдолд л зах зээлд гаргахыг зөвшөөрнө.
Дүгнэж хэлэхэд, боржин чулуун тавцан нь шинжлэх ухааны цочролд тэсвэртэй стандарт, цочролд тэсвэртэй маш сайн гүйцэтгэл, чанарын хатуу хяналт, үйлдвэрлэлийн үйлдвэрлэл, шинжлэх ухааны судалгааны ажилд өндөр нарийвчлалтай үйл ажиллагаа явуулахад зайлшгүй шаардлагатай тогтвортой дэмжлэг үзүүлэхэд зориулагдсан бөгөөд сонголтын эцсийн нарийвчлал, найдвартай байдлыг эрэлхийлэх явдал юм.
Шуудангийн цаг: 2025 оны 3-р сарын 28