Хагас дамжуулагчийн салбарт ганц микрон нь өндөр гарцтай багц болон үнэтэй эвдрэлийн хоорондох ялгаа байж болох тул хэмжилзүйн материалын сонголт маш чухал юм. Литографи болон ялтсан хавтангийн үзлэг нь физикийн хил хязгаарыг туулж байгаа тул уламжлалт металл, тэр ч байтугай өндөр зэрэглэлийн боржин чулуу хязгаартаа хүрч байна.
Хөнгөн цагааны исэл (Al2O3) нь хагас дамжуулагч тоног төхөөрөмж үйлдвэрлэгчдийн хувьд эцсийн шийдэл болж гарч ирсэн. Уламжлалт материалаас 10 гаруй жилээр илүү нарийвчлалтай хадгалах хугацаатай тул керамик нь тансаг хэрэглээ байхаа больж, бүтцийн зайлшгүй шаардлага болсон.
Хагас дамжуулагчийн хувьд яагаад хөнгөн цагаан керамик хэрэгтэй вэ?
Хэрэглээ рүү шумбахаасаа өмнө уг материалын өвөрмөц "гурвалсан аюул"-ын профайлыг ойлгох нь чухал юм.
-
Дулааны тогтвортой байдал: Дулааны тэлэлтийн бага коэффициент (≈7 × 10^{-6}/K) нь өндөр хурдны тоног төхөөрөмжөөс үүссэн дулаанаас үл хамааран хэмжилтийг тогтвортой байлгахыг баталгаажуулдаг.
-
Соронзон бус ба дамжуулагчгүй: Вакуум орчин болон соронзон хөндлөнгийн оролцоо нь цацрагийг хазайлгаж чаддаг мэдрэмтгий электрон цацрагийн литографид зайлшгүй шаардлагатай.
-
Зэврэлтгүй: Гангаас ялгаатай нь керамик нь химийн хувьд идэвхгүй тул цэвэр өрөөний цэвэрлэгээний протокол болон идэмхий хийн орчинд нийцдэг.
Хагас дамжуулагч төхөөрөмжийн 5 гол хэрэглээ
1. Литографийн машины үе шатууд
Орчин үеийн фотолитографи нь нанометрийн түвшний байрлалыг шаарддаг. Керамик квадратууд болон бүтцийн бүрэлдэхүүн хэсгүүд нь ваферын үе шатны "гол лавлах" болж үйлчилдэг. Тэдгээрийн өндөр хатуулаг-жингийн харьцаа нь хүнд материалтай холбоотой чичиргээ эсвэл "дуугарах"гүйгээр хурдан хурдатгал хийх боломжийг олгодог.
2. Ваферын үзлэг ба хэмжил зүй
Вафер геометрийн системд Керамик мастер квадратуудыг сканнердах тэнхлэгийн перпендикуляр байдал болон шулуун байдлыг тохируулахад ашигладаг. Керамик нь хэлбэрээ арван жилийн турш хадгалдаг тул эдгээр машинууд нь дахин тохируулах циклийг хамаагүй бага шаарддаг бөгөөд энэ нь үйлдвэрийн ажиллах хугацааг хамгийн их байлгахад тусалдаг.
3. Вакуум камерыг нарийн угсрах
Хагас дамжуулагч угсралтыг ихэвчлэн тосолгоо хязгаарлагдмал вакуум орчинд хийдэг. Керамик хэмжигч нь вакуумыг бохирдуулахгүй, хий ялгаруулдаггүй "хуурай" нарийвчлалын лавлагаа өгдөг бөгөөд дотоод эд ангиудыг микроноос бага хүлцэлтэй уялдуулахыг баталгаажуулдаг.
4. Өндөр давтамжийн электрон туршилт
Өндөр хурдтай чипийн туршилтын хувьд хэмжих багажнаас гарч буй аливаа соронзон эсвэл дамжуулагч хөндлөнгийн оролцоо нь үр дүнг гажуудуулж болзошгүй. Хөнгөн цагаан керамикийн соронзон бус шинж чанар нь датчик картын бэхэлгээ болон тохируулгын хэмжүүрт хамгийн тохиромжтой материал болгодог.
5. Цэвэр өрөөний тохируулгын мастерууд
ISO 1 ангиллын цэвэр өрөөнд зэв нь хориотой бохирдуулагч юм. Ган хэмжигч нь исэлдэлтээс урьдчилан сэргийлэхийн тулд тосны хальс шаарддаг бөгөөд энэ нь бохирдлын гол эрсдэл юм. Керамик хэмжигч нь тос шаарддаггүй бөгөөд изопропилийн спиртээр цэвэрлэж, 10+ жилийн турш "тэг бөөмс"-ийн профайлыг хадгалж чаддаг.
"10 жилийн давуу тал"
Металл хэмжигч хэдэн жилийн турш эрчимтэй ашигласны дараа гажуудал эсвэл элэгдэлд орж болзошгүй ч өндөр цэвэршилттэй хөнгөнцагааны ислийн молекулын бүтэц нь гайхалтай тогтвортой байдаг. Керамик дөрвөлжин эсвэл шулуун ирмэг болгон ашиглахад материалын хатуулаг (сапфирын хатуулагтай ойролцоо) нь цаг хугацааны явцад нарийвчлалыг "хэвийдэг" бичил гадаргуугийн доройтлоос сэргийлдэг.
Хагас дамжуулагч үйлдвэрлэгчийн хувьд энэ нь урт хугацааны засвар үйлчилгээний зардлыг 10 дахин бууруулж, машины ашиглалтын хугацааны нарийвчлалд итгэх итгэлийг мэдэгдэхүйц нэмэгдүүлнэ гэсэн үг юм.
Нийтэлсэн цаг: 2026 оны 3-р сарын 23