Хэт нарийвчлалтай хөдөлгөөний хяналтын салбарт агаарын хөвөгч хэт нарийвчлалтай хөдөлгөөний модулийн гүйцэтгэл нь түүний суурийн шинж чанараас ихээхэн хамаардаг. Боржин чулуун нарийвчлалтай суурь болон керамик суурь нь хоёр өндөр зэрэглэлийн сонголт бөгөөд тус бүр нь өвөрмөц давуу талтай бөгөөд тогтвортой байдал, нарийвчлал, засвар үйлчилгээ, бат бөх чанар болон бусад гол хэмжээсүүдэд илэрхий ялгаа бий.
Тогтвортой байдал: байгалийн нягтрал ба хиймэл нарийвчлал
Геологийн урт хугацааны дараа үүссэн боржин чулуу нь дотоод бүтэц нь нягт, жигд бөгөөд кварц, хээрийн жонш зэрэг эрдэс бодисууд нь хоорондоо нягт уялдаатай байдаг. Цехэд том тоног төхөөрөмжийн ажиллагаанаас үүдэлтэй чичиргээ гэх мэт гадны нөлөөллийн үед боржин чулуун суурь нь нарийн төвөгтэй болор бүтэцтэйгээр үр дүнтэй хааж, сулруулж чаддаг бөгөөд энэ нь агаарын хөвөгч рүү дамжуулсан хэт нарийвчлалтай хөдөлгөөний модулийн чичиргээний далайцыг 80%-иас дээш бууруулж, модулийг өндөр нарийвчлалтай боловсруулалт эсвэл илрүүлэлтийн явцад жигд хөдөлгөх тогтвортой үйл ажиллагааны үндэс суурийг бүрдүүлдэг.
Керамик суурийг дэвшилтэт синтетик процессоор үйлдвэрлэдэг бөгөөд түүний дотоод бүтцийн жигд байдал нь маш сайн. Зарим өндөр хүчин чадалтай керамик материалын бичил бүтэц нь бараг төгс бөгөөд энэ нь чичиргээнд үр дүнтэй намсгах нөлөө үзүүлдэг. Чичиргээнд маш мэдрэмтгий зарим оптик хяналтын тоног төхөөрөмжид керамик суурь нь агаарын хөвөгч онгоцны хэт нарийвчлалтай хөдөлгөөний модулийн өндөр нарийвчлалтай хөдөлгөөнийг хангахын тулд маш бага хүрээнд чичиргээний хөндлөнгийн оролцоог дарж чаддаг боловч том хэмжээний, өндөр эрчимтэй чичиргээнд хариу үйлдэл үзүүлэхийн тулд түүний ерөнхий тогтвортой байдал нь боржин чулуун суурийнхаас арай доогуур байдаг.
Нарийвчлалыг хадгалах: бага тэлэлтийн байгалийн давуу тал ба өндөр температурын тогтвортой байдлын хиймэл гайхамшиг
Боржин чулуу нь дулааны тэлэлтийн маш бага коэффициенттой, ерөнхийдөө 5-7 × 10⁻⁶/℃ байдаг гэдгээрээ алдартай. Температурын хэлбэлзлийн орчинд боржин чулуун нарийвчлалын суурийн хэмжээ маш бага өөрчлөгддөг. Жишээлбэл, одон орон судлалын салбарт дурангийн линзийг нарийн тохируулах хэт нарийвчлалтай хөдөлгөөний модулийг боржин чулуун суурьтай хослуулсан бөгөөд өдөр шөнийн температурын зөрүү мэдэгдэхүйц байгаа орчинд ч гэсэн линзийн байрлалын нарийвчлалыг микроноос доош түвшинд байлгах боломжийг олгодог бөгөөд энэ нь одон орон судлаачдад алслагдсан тэнгэрийн биетүүдийн нарийн өөрчлөлтийг авахад тусалдаг.
Керамик материалууд нь өндөр температурын тогтвортой байдал болон бага тэлэлтийн шинж чанарт сайн ажилладаг бөгөөд зарим тусгай керамикийн дулааны тэлэлтийн коэффициент нь тэг хүртэл бага байж болно. Өндөр температур эсвэл температурын огцом өөрчлөлтийн нөхцөлд керамик суурь нь агаарын хөвөгч онгоцны хэт нарийвчлалтай хөдөлгөөний модулийн хөдөлгөөний нарийвчлалд нөлөөлөхгүй байхын тулд тогтвортой хэмжээг хадгалж чаддаг. Хагас дамжуулагч чип үйлдвэрлэх литографийн процесст литографийн тоног төхөөрөмж өндөр нарийвчлалтай орчинд үргэлжлүүлэн ажиллах шаардлагатай бөгөөд керамик суурь нь тоног төхөөрөмжийн үүсгэсэн өндөр дулааны орчинд модулийн байршлын нарийвчлалыг хадгалж, чип үйлдвэрлэлийн нано хэмжээний нарийвчлалын хатуу шаардлагыг хангаж чаддаг.
Бат бөх чанар: Байгалийн хүдрийн өндөр хатуулаг болон зэврэлтэнд тэсвэртэй синтетик материал
Боржин чулуун хатуулаг өндөр, Мохсын хатуулаг нь 6-7 хүрч, элэгдэлд тэсвэртэй. Материалын шинжлэх ухааны лабораторид агаарын хөвөгч хэт нарийвчлалтай хөдөлгөөнт модулийг байнга ашигладаг бөгөөд түүний боржин чулуун суурь нь ердийн материалын суурьтай харьцуулахад агаарын хөвөгч гулсагчийн урт хугацааны үрэлтийг үр дүнтэй эсэргүүцэж, модулийн засвар үйлчилгээний мөчлөгийг 50%-иас дээш хувиар сунгаж, тоног төхөөрөмжийн засвар үйлчилгээний зардлыг эрс бууруулж, шинжлэх ухааны судалгааны ажлын тасралтгүй байдлыг хангах боломжтой.
Керамик материал нь зөвхөн өндөр хатуулагтай төдийгүй зэврэлтэнд маш сайн тэсвэртэй байдаг. Химийн бүтээгдэхүүний туршилтын тоног төхөөрөмжийн агаарын хөвөгч хэт нарийвчлалтай хөдөлгөөний модуль гэх мэт химийн зэврэлт үүсэх эрсдэлтэй зарим үйлдвэрлэлийн орчинд керамик суурь нь идэмхий хий эсвэл шингэний элэгдэлд тэсвэртэй, гадаргуугийн бүрэн бүтэн байдал, механик шинж чанарыг удаан хугацаанд хадгалж чаддаг бөгөөд бат бөх чанар нь тодорхой хатуу ширүүн орчинд боржин чулуун сууриас илүү сайн байдаг.
Үйлдвэрлэлийн өртөг ба боловсруулалтын хүндрэл: байгалийн чулуу олборлох, боловсруулахад тулгарч буй бэрхшээлүүд ба хиймэл синтезийн техникийн босго
Боржин чулуун түүхий эдийг олборлох, тээвэрлэх үйл явц нь нарийн төвөгтэй бөгөөд боловсруулахад маш өндөр тоног төхөөрөмж, технологи шаардлагатай. Өндөр хатуулаг, хэврэг чанараас шалтгаалан зүсэх, нунтаглах, өнгөлөх болон бусад үйл явцад ирмэг нурах, хагарах зэрэг асуудал гарахад хялбар бөгөөд хаягдлын хэмжээ харьцангуй өндөр тул үйлдвэрлэлийн өртөг өндөр байдаг.
Керамик суурийн үйлдвэрлэл нь түүхий эд бэлтгэх, хэвэнд оруулахаас эхлээд хайлуулах хүртэлх дэвшилтэт синтез болон нарийн боловсруулалтын технологид тулгуурладаг бөгөөд алхам бүр нь нарийн хяналт шаарддаг. Өндөр хүчин чадалтай керамик суурийг хөгжүүлэх, үйлдвэрлэхэд эрт үеийн хөрөнгө оруулалт асар их бөгөөд техникийн босго өндөр боловч томоохон хэмжээний үйлдвэрлэлд хүрсний дараа зардлыг үр дүнтэй хянах боломжтой бөгөөд өндөр зэрэглэлийн хэрэглээнд зардал багатай байх боломжтой.
Ерөнхийдөө боржин чулуун нарийвчлалтай суурь нь ерөнхий тогтвортой байдал болон уламжлалт бат бөх чанараараа сайн ажилладаг бол керамик суурь нь хэт температурын орчинд дасан зохицох чадвар, зэврэлтээс хамгаалах бат бөх чанараараа өвөрмөц давуу талтай байдаг. Суурийг сонгохдоо агаарын хөвөгч хэт нарийвчлалтай хөдөлгөөний модулийн тодорхой хэрэглээний хувилбар, хүрээлэн буй орчны нөхцөл байдал, өртгийн төсөвт үндэслэх ёстой.
Нийтэлсэн цаг: 2025 оны 4-р сарын 8