Хэт нарийвчлалтай хөдөлгөөнийг хянах чиглэлээр агаарын хөвөгч хэт нарийвчлалтай хөдөлгөөнт модулийн гүйцэтгэл нь түүний суурийн шинж чанараас ихээхэн хамаардаг. Боржин чулуун нарийн суурь ба керамик суурь нь хоёр өндөр зэрэглэлийн сонголт бөгөөд тус бүр нь өвөрмөц давуу талтай бөгөөд тогтвортой байдал, нарийвчлал, засвар үйлчилгээ, бат бөх чанар болон бусад гол хэмжигдэхүүнүүд нь илт ялгаатай байдаг.
Тогтвортой байдал: байгалийн нягтрал, хиймэл нарийвчлал
Геологийн урт хугацааны дараа үүссэн боржин чулуу нь дотоод бүтэц нь нягт, жигд, кварц, хээрийн жонш зэрэг ашигт малтмал нь хоорондоо нягт холбоотой байдаг. Цех дэх том тоног төхөөрөмжийн үйл ажиллагааны улмаас үүссэн чичиргээ зэрэг гадны хөндлөнгийн нөлөөлөлд боржин чулуун суурь нь нарийн төвөгтэй болор бүтэцээрээ үр дүнтэй хааж, сулруулж чаддаг бөгөөд энэ нь агаарын хөвөгч рүү дамждаг хэт нарийвчлалтай хөдөлгөөний модулийн чичиргээний далайцыг 80% -иар бууруулж, модулиудын үйл явцын тогтвортой ажиллагааг хангах боломжийг олгодог. боловсруулах эсвэл илрүүлэх.
Керамик суурь нь дэвшилтэт синтетик процессоор хийгдсэн бөгөөд түүний дотоод бүтцийн жигд байдал нь маш сайн байдаг. Зарим өндөр хүчин чадалтай керамик материалын бичил бүтэц нь бараг төгс төгөлдөр бөгөөд энэ нь чичиргээнд үр дүнтэй дарах нөлөө үзүүлдэг. Чичиргээнд маш мэдрэмтгий байдаг зарим оптик хяналтын төхөөрөмжид керамик суурь нь чичиргээний интерференцийг маш бага хүрээнд дарж, агаарын хөвөгч төхөөрөмжийн хэт нарийвчлалтай хөдөлгөөний модулийн өндөр нарийвчлалтай хөдөлгөөнийг хангах боломжтой боловч их хэмжээний болон өндөр эрчимтэй чичиргээний хариуд түүний ерөнхий тогтвортой байдал нь суурийнхаас арай доогуур байдаг.
Нарийвчлалыг хадгалах: бага тэлэлтийн байгалийн давуу тал ба өндөр температурт тогтвортой байдлын хиймэл гайхамшиг
Боржин нь дулааны тэлэлтийн маш бага коэффициентээрээ алдартай бөгөөд ерөнхийдөө 5-7 × 10⁻⁶/℃ байдаг. Температурын хэлбэлзлийн орчинд боржингийн нарийн суурийн хэмжээ маш бага өөрчлөгддөг. Жишээлбэл, одон орон судлалын салбарт дурангийн линзийг нарийн тааруулах хэт нарийвчлалтай хөдөлгөөний модулийг боржин суурьтай хослуулсан нь өдөр, шөнийн температурын зөрүү их байгаа орчинд ч линзний байршлын нарийвчлалыг микроны түвшинд барьж, одон орон судлаачдад хамгийн далд биетүүдийн өөрчлөлтийг олж авахад тусалдаг.
Керамик материал нь өндөр температурын тогтвортой байдал, бага тэлэлтийн шинж чанараараа сайн ажилладаг бөгөөд зарим тусгай керамикийн дулааны тэлэлтийн коэффициент нь тэг хүртэл бага байж болно. Өндөр температур эсвэл температурын огцом өөрчлөлтийн нөхцөлд керамик суурь нь агаарын хөвөх хэсгийн хэт нарийвчлалтай хөдөлгөөний модулийн хөдөлгөөний нарийвчлалд нөлөөлөхгүй байхын тулд тогтвортой хэмжээг хадгалж чадна. Хагас дамжуулагч чип үйлдвэрлэх литографийн процесст литографийн төхөөрөмж нь өндөр нарийвчлалтай орчинд үргэлжлүүлэн ажиллах шаардлагатай бөгөөд керамик суурь нь төхөөрөмжөөс үүссэн өндөр дулааны орчинд модулийн байршлын нарийвчлалыг хадгалж, нано хэмжээний нарийвчлалын чип үйлдвэрлэлийн хатуу шаардлагыг хангаж чадна.
Бат бөх чанар: Байгалийн хүдэр, зэврэлтэнд тэсвэртэй синтетик материалын өндөр хатуулаг
Боржингийн хатуулаг өндөр, Mohs хатуулаг нь 6-7 хүрч, элэгдэлд тэсвэртэй. Материалын шинжлэх ухааны лабораторид байнга ашиглагддаг агаарын хөвөгч хэт нарийвчлалтай хөдөлгөөнт модуль, түүний боржин суурь нь энгийн материаллаг баазтай харьцуулахад агаарын хөвөгч гулсуурын урт хугацааны үрэлтийг үр дүнтэй эсэргүүцэж, модулийн засвар үйлчилгээний мөчлөгийг 50% -иар сунгаж, тоног төхөөрөмжийн засвар үйлчилгээний зардлыг эрс багасгаж, шинжлэх ухааны судалгааны ажлыг тасралтгүй явуулах боломжийг олгодог.
Керамик материал нь зөвхөн өндөр хатуулагтай төдийгүй зэврэлтэнд тэсвэртэй байдаг. Химийн зэврэлт үүсэх эрсдэлтэй зарим үйлдвэрлэлийн орчинд, тухайлбал, химийн бүтээгдэхүүний туршилтын төхөөрөмж дэх агаарын хөвөгчийг хэт нарийвчлалтай хөдөлгөх модуль зэрэгт керамик суурь нь идэмхий хий, шингэний элэгдэлд тэсвэртэй, гадаргуугийн бүрэн бүтэн байдал, механик шинж чанарыг удаан хугацаанд хадгалж, бат бөх чанар нь тодорхой хатуу ширүүн орчинд боржин суурьтай харьцуулахад илүү сайн байдаг.
Үйлдвэрлэлийн өртөг ба боловсруулалтын хүндрэл: байгалийн чулууг олборлох, боловсруулахад тулгарч буй бэрхшээл, хиймэл синтезийн техникийн босго
Боржингийн түүхий эдийг олборлох, тээвэрлэх үйл явц нь нарийн төвөгтэй бөгөөд боловсруулахад маш өндөр техник, технологи шаардагддаг. Хатуулаг, хэврэг чанар өндөртэй тул зүсэх, нунтаглах, өнгөлөх болон бусад процесст ирмэгийн нуралт, хагарал зэрэг хүндрэлүүд амархан гардаг бөгөөд хаягдал нь харьцангуй өндөр байдаг тул үйлдвэрлэлийн зардал өндөр байдаг.
Керамик суурийн үйлдвэрлэл нь түүхий эд бэлтгэх, хэвлэхээс эхлээд агломержуулах хүртэл дэвшилтэт синтез, нарийн боловсруулалтын технологид тулгуурладаг бөгөөд алхам бүрийг нарийн хянах шаардлагатай. Өндөр хүчин чадалтай керамик суурийн бүтээн байгуулалт, үйлдвэрлэлийн анхны хөрөнгө оруулалт нь асар их бөгөөд техникийн босго өндөр боловч томоохон хэмжээний үйлдвэрлэлд хүрсний дараа зардлыг үр дүнтэй хянах боломжтой бөгөөд өндөр чанартай хэрэглээнд хэмнэлттэй байх боломжтой.
Ерөнхийдөө боржин чулуун нарийн суурь нь ерөнхий тогтвортой байдал, уламжлалт бат бөх чанарыг сайн гүйцэтгэдэг бол керамик суурь нь хэт температурт дасан зохицох, зэврэлтэнд тэсвэртэй байх өвөрмөц давуу талтай. Суурийг сонгохдоо агаарын хөвөх хэт нарийвчлалтай хөдөлгөөнт модулийн хэрэглээний тодорхой хувилбар, хүрээлэн буй орчны нөхцөл, зардлын төсөвт үндэслэнэ.
Шуудангийн цаг: 2025 оны 4-р сарын 08