Хагас дамжуулагчийн үйлдвэрлэлийн "нано нарийвчлал"-ын эцсийн тулалдаанд өрмөнцөр хайчлах төхөөрөмжид өчүүхэн ч гэсэн алдаа гарсан ч чип нь хог хаягдал болж хувирдаг. Боржин чулуун суурь нь байгалийн гурван гайхамшгийг ашиглан нарийн үйлдвэрлэлийн дүрмийг дахин бичиж, ±5um-ийн давтамжтайгаар байрлал тогтоох нарийвчлалыг хянадаг үл мэдэгдэх баатар юм.
Дулааны хэв гажилтын эсрэг "тогтворжуулах зангуу": Боржингийн дулааны тэлэлтийн коэффициент нь 5-7 ×10⁻⁶/℃ буюу металл материалын гуравны нэгтэй тэнцэнэ. Өргөст хайчлах төхөөрөмжийн өндөр хурдтай үйл ажиллагааны улмаас үүссэн дулааны нөлөөллийн дор энгийн материалууд нь дулааны тэлэлт, агшилтын улмаас хэв гажиж, зүсэх толгойн байрлалыг өөрчлөхөд хүргэдэг. Гэсэн хэдий ч боржингийн суурь нь "хөдөлгөөнгүй" хэвээр байж, дулааны хэв гажилтаас үүссэн байрлалын хазайлтыг үндсээр нь арилгаж, нарийвчлалын бат бөх суурийг тавьдаг.
Чичиргээ шингээх "чимээгүй бамбай": Машины багажны байнгын архирах, цехийн тоног төхөөрөмжийн тасралтгүй чичиргээг нарийн нарийвчлалтайгаар "үхлийн алуурчид" гэж үзэж болно. Боржингийн өвөрмөц болор бүтэц нь байгалийн цочрол шингээгчтэй адил бөгөөд тоног төхөөрөмжийн үйл ажиллагаанаас үүссэн гаднах чичиргээ, механик чичиргээг хурдан дулааны энерги болгон сарниулах чадвартай. Бусад суурь нь чичиргээнээс болж "ганзайлгасан" хэвээр байхад боржин чулуун суурь нь огтлох толгойг хөдөлгөөнгүй байлгах тогтвортой платформыг бий болгож, ±5um нарийвчлалтай болгох боломжтой болгосон.
Зэврэлтэнд тэсвэртэй "Мөнхийн цайз": Хагас дамжуулагчийн цехүүд нь сийлбэрийн уусмал, хүчил шүлт цэвэрлэгч зэрэг идэмхий бодисоор дүүрдэг. Ийм орчинд металл суурь нь аажмаар зэвэрч, гажигтай болно. Боржин чулуу нь химийн тогтворжилттой тул эдгээр химийн бодисуудтай огт урвалд ордоггүй. Хичнээн жил ашигласан ч бүтцийн бүрэн бүтэн байдлыг хадгалж, өндөр нарийвчлалтай зүсэлтийг тасралтгүй хангаж чадна.
Материаллаг авъяас чадвараас эхлээд маш нарийн боловсруулалт хүртэл боржин чулуун суурь нь бүх материал хагас дамжуулагч үйлдвэрлэлийн хатуу ширүүн сорилтуудыг даван туулж чадахгүй гэдгийг бат бөх чанараараа харуулсан. Чухамдаа эдгээр орлуулшгүй байгалийн давуу талуудын ачаар боржин чулуун суурь нь ±5um-ийн давтамжтай байрлал тогтоох нарийвчлалд хүрэхийн тулд өрөм хайчлах төхөөрөмжийн түлхүүр болж, хагас дамжуулагчийн үйлдвэрлэлийг илүү өндөр нарийвчлал руу тасралтгүй урагшлахад түлхэц өгсөн юм!
Шуудангийн цаг: 2025-05-14