"Нанометр" нь хэмжилтийн стандарт нэгж болох хагас дамжуулагчийн үйлдвэрлэлд тоног төхөөрөмжийн бүтцийн бүрэн бүтэн байдал нь маргаангүй байдаг. Чипийн зангилаанууд 5нм ба түүнээс дээш агших тусам чичиргээг намсгах болон дулааны тогтвортой байдлын эрэлт хэрэгцээ туйлын түвшинд хүрдэг. Нарийвчлалтай боржин чулуун эд ангиуд нь өндөр зэрэглэлийн сонголтоос хагас дамжуулагч үйлдвэрлэлийн тоног төхөөрөмжийн зайлшгүй "ДНХ" болж шилжсэн.
Өндөр тогтвортой тоног төхөөрөмжийн бүтцийн тэргүүлэгч нийлүүлэгчийн хувьд ZHHIMG® нь боржин чулуу нь үйлдвэрийн чимээгүй баатар болох хамгийн чухал найман хэрэглээг шинжилдэг.
1. Литографийн машины суурь
Литографийн машин нь хагас дамжуулагч гинжин хэлхээний хамгийн нарийн төвөгтэй тоног төхөөрөмж юм. Суурь нь төгс хөдөлгөөнгүй байхын зэрэгцээ асар том оптик системийг дэмжих ёстой. Гранитийн өндөр нягтрал болон дотоод чийгшүүлэгч нь хүрээлэн буй орчноос микро чичиргээг шингээх боломжийг олгодог бөгөөд гэрлийн эх үүсвэрийг атомын түвшинд нэгэн зэрэг байлгах боломжийг олгодог.
2. Агаарын холхивчийн хөдөлгөөний үе шатууд
Өндөр хурдтай вафли тээвэрлэхэд үрэлтгүй хөдөлгөөн шаардлагатай. Боржин чулууг микроноос бага хавтгай болтол түрхэж болох тул энэ нь агаарын даацын технологийн төгс түнш болж өгдөг. "Агаарын дэр" нь боржин чулуун гадаргуу дээр элэгдэлгүй гулсаж, сканнердах, байрлуулахад шаардлагатай хэт жигд хөдөлгөөнийг бий болгодог.
3. Ваферын үзлэг ба хэмжилзүйн платформууд
Сийлсний дараа вафлиг согог байгаа эсэхийг шалгах шаардлагатай. Машины хүрээний аливаа дулааны тэлэлт нь "хуурамч эерэг" эсвэл алдагдсан согог үүсэхэд хүргэнэ.Нарийвчлалтай боржин чулуун эд ангиуддулааны идэвхгүй орчинг бүрдүүлж, үзлэгийн өгөгдөл нь машины гажуудал биш харин хавтангийн гадаргуугийн жинхэнэ тусгал болохыг баталгаажуулна.
4. Гантригийн хөдөлгөөний системүүд (Гүүрний бүтэц)
Өндөр хурдтайгаар зүсэх эсвэл утсаар холбоход "гүүр" буюу гантри нь чичирхийлэлгүйгээр хурдан хөдлөх ёстой. Боржин чулуун гантри нь цутгамал төмөртэй харьцуулахад илүү сайн хатуулаг-массын харьцаатай бөгөөд "сууралтын хугацаа"-г мэдэгдэхүйц багасгадаг - машин дараагийн ажлаа гүйцэтгэхийн өмнө чичиргээ зогсохыг хүлээх хугацаа.
5. Лазер засварын тоног төхөөрөмжийн хүрээ
Маск эсвэл вафер дээр согог илэрсэн тохиолдолд нарийн засвар хийхэд лазер ашигладаг. Энэ нь бүрэн соронзон бус, дамжуулагчгүй бүтцийн суурь шаарддаг. Боржин чулуу нь байгалийн дулаалгатай тул цахилгаан соронзон хөндлөнгийн оролцоо нь нарийн лазерын замд нөлөөлөхөөс сэргийлдэг.
6. Цэвэр өрөөний CMM (Координат хэмжих машин)
Хагас дамжуулагч байгууламжийн чанарын хяналт нь хатуу цэвэр өрөөний протоколыг тэсвэрлэх чадвартай CMM шаарддаг. Тоосонцорыг гадагшлуулах эсвэл исэлдүүлэх чадвартай металлаас ялгаатай нь боржин чулуу нь хүчилд тэсвэртэй, зэврэлтэнд тэсвэртэй тул хүрээлэн буй орчныг бохирдуулахгүйгээр өндөр тогтвортой тоног төхөөрөмжийн бүтцийг хадгалдаг.
7. Химийн механик өнгөлгөөний (CMP) суурь
CMP процесст металлыг маш ихээр зэврүүлдэг зутан болон химийн бодисууд ордог. Боржин чулууны байгалийн химийн эсэргүүцэл нь өнгөлгөөний төхөөрөмжийн бүтцийн суурийн хамгийн тохиромжтой материал болгодог бөгөөд хатуу химийн орчинд ч гэсэн удаан эдэлгээтэй ашиглалтын хугацааг баталгаажуулдаг.
8. Ионы суулгацын системүүд
Ионы суулгацын өндөр хүчдэлийн орчинд ионы цацрагт саад учруулахгүй эсвэл цахилгаан нум үүсгэхгүй бүрэлдэхүүн хэсгүүд шаардлагатай. Боржин чулуун диэлектрик шинж чанар нь мэдрэмтгий цахилгаан болон вакуум эд ангиудыг суурилуулахад аюулгүй, тогтвортой сонголт болдог.
Яагаад хагас дамжуулагч дэд бүтцийн хувьд ZHHIMG® гэж?
ZHHIMG® дээр бид хагас дамжуулагч төхөөрөмжийн суурь нь зүгээр нэг чулуун хэлтэрхий биш, харин тохируулсан багаж хэрэгсэл гэдгийг ойлгодог. Манай тусгай хар боржин чулуу нь 30 гаруй жилийн гар аргаар нунтаглах туршлагатай хосолсноор микроноос доош эриний хатуу шаардлагыг хангасан хавтгай ба параллелизмын зэрэглэлд хүрэх боломжийг олгодог.
-
Материал: Өндөр нягтралтай, хэт нарийн ширхэгтэй ZHHIMG® хар боржин чулуу.
-
Нарийвчлал: DIN 876 00-р зэрэг эсвэл захиалгат JIS/ASME үзүүлэлтүүдийн дагуу нарийвчлалын зэрэг.
-
Тохируулга: 10,000м² тогтмол температурын цехүүдэд нэгдсэн оруулга, Т хэлбэрийн үүр, агааржуулагч замуудыг урьдчилан суурилуулсан.
Нийтэлсэн цаг: 2026 оны 3-р сарын 18