Ухаалаг гар утасны үйлдвэрлэлийн салбарт шил огтлох нарийвчлал нь маш чухал бөгөөд боржин чулуун суурь нь энэхүү нарийвчлалыг хангах гол тоглогч болж байна. Өвөрмөц материалын шинж чанар, дэвшилтэт технологийн хэрэглээгээрээ энэ нь ±0.5μm-ийн байршлын нарийвчлалыг давтаж, ухаалаг гар утасны шил огтлоход гайхалтай нарийвчлалыг авчирдаг.
Материаллаг давуу тал нь нарийвчлалын үндэс суурийг тавьдаг
Боржин нь дулааны тэлэлтийн маш бага коэффициенттэй байдаг. Энэ шинж чанар нь температур өөрчлөгдөхөд түүний хэмжээ маш бага өөрчлөгддөг. Ухаалаг гар утсанд зориулж шил зүсэх явцад төхөөрөмжийн ажиллагаа нь дулааныг үүсгэдэг бөгөөд орчны температур ч өөрчлөгдөж болно. Ердийн материаллаг суурь нь дулааны тэлэлт, агшилтаас болж хэв гажиж, зүсэх нарийвчлалд нөлөөлдөг. Боржингийн суурь нь энэхүү хэв гажилтыг үр дүнтэй дарж, зүсэх төхөөрөмжийн бүрэлдэхүүн хэсэг бүрийн харьцангуй байрлалын тогтвортой байдлыг хангаж чадна. Жишээлбэл, өндөр эрчимтэй зүсэх ажлын дараалсан хэд хэдэн цаг үед тоног төхөөрөмжийн дотоод температур 10 ° C-аар өссөн ч зүсэлтийн нарийвчлалд саад учруулахгүйгээр боржингийн суурийн хэмжээсийн өөрчлөлтийг нанометрийн түвшинд хянах боломжтой.
Үүнээс гадна боржингийн дотоод бүтэц нь нягт, жигд, өндөр хатуулагтай, чичиргээ болон элэгдэлд тэсвэртэй байдаг. Зүсэх явцад үүссэн чичиргээ болон урт хугацааны ашиглалтын явцад чиглүүлэгч төмөр зам гэх мэт эд ангиудын үрэлт нь боржингийн сууринд ихээхэн хохирол учруулахад хэцүү байдаг. Энэ нь гаднах чичиргээг шингээж, буфер, чичиргээг зүсэх хэрэгсэлд дамжуулахаас сэргийлж, зүсэх үйл явцыг жигд явуулж, өндөр нарийвчлалтай давталтын байрлалд хүрэх тогтвортой ажлын орчныг бүрдүүлдэг.
Үйлдвэрлэлийн нарийн процессоор дэмжигддэг
Боловсруулах дэвшилтэт техникээр боржин чулуун суурийн тэгш байдал, шулуун байдал зэрэг үндсэн үзүүлэлтүүдийг маш бага хүрээнд хянадаг. Боловсруулалтын явцад өндөр нарийвчлалтай нунтаглах, өнгөлөх техникийг ашигладаг бөгөөд энэ нь ± 0.5μm доторх тэгш байдлын хүлцлийг хянах боломжтой бөгөөд үндсэн гадаргуу дээр туйлын өндөр тэгш байдлыг бий болгодог. Ийм байдлаар суурь дээр суурилуулсан зүсэх төхөөрөмжийн чиглүүлэгч төмөр зам нь нарийн шугаман хөдөлгөөнийг хадгалж, зүсэгчийн толгойг нарийн байрлуулах найдвартай суурийг бүрдүүлдэг.
Үүний зэрэгцээ зүсэх төхөөрөмжийн суурь болон бусад эд ангиудыг угсрах явцад өндөр нарийвчлалтай байрлал, бэхэлгээний техникийг ашигласан. Холболтын цэг бүрийг бүрэлдэхүүн хэсгүүдийн хоорондох харьцангуй зөв байрлалыг баталгаажуулахын тулд нарийн тохируулсан. Боолтыг нарийн бэхлэх, байрлуулах зүү суурилуулах замаар зүсэх толгой, дамжуулагч механизм гэх мэтийг боржин чулуун суурьтай нягт холбож, боломжит цоорхой, сул талыг арилгаж, дахин байрлуулах үед нарийвчлалыг баталгаажуулдаг.
Дэвшилтэт мэдрэгч, хяналтын системүүд хоорондоо уялдаа холбоотой ажилладаг
Байршлын давталтын нарийвчлалыг ± 0.5μm болгохын тулд боржин чулуун суурийг мөн дэвшилтэт мэдрэгч, хяналтын системтэй гүнзгий нэгтгэсэн. Зүсэх төхөөрөмж дээр сараалжтай захирагч эсвэл соронзон сараалжтай захирагч зэрэг өндөр нарийвчлалтай байрлал мэдрэгч суурилуулсан. Тэд огтлох толгойн байрлалыг бодит цаг хугацаанд хянаж, өгөгдлийг хяналтын системд буцааж өгдөг. Таслах толгой нь нэг зүсэх үйлдлийг хийж, дараагийн давталтын байрлалд бэлэн болмогц хяналтын систем нь мэдрэгчээс өгсөн өгөгдлийг урьдчилан тогтоосон зорилтот байрлалтай харьцуулах болно.
Байршлын хазайлтыг илрүүлсний дараа хяналтын систем нь таслагчийн толгойн байрлалыг нарийн тааруулахын тулд өндөр нарийвчлалтай серво моторыг жолоодох зааварчилгааг шуурхай өгнө. Бүх процесс нь маш богино хугацаанд дуусч, зүсэх толгойг зорилтот байрлалд хурдан бөгөөд үнэн зөв тохируулах боломжийг олгож, ±0.5μm-ийн давтан байрлал тогтоох нарийвчлалд хүрнэ. Түүнээс гадна энэхүү хаалттай хүрд хяналтын систем нь тасралтгүй суралцаж, оновчтой болгох боломжтой. Ашиглалтын хугацаа нэмэгдэхийн хэрээр давтан байршлын нарийвчлал, тогтвортой байдал улам сайжирна.
Ухаалаг гар утасны шил зүсэх салбарт боржин чулуун суурь нь материаллаг давуу тал, үйлдвэрлэлийн нарийн процесс, дэвшилтэт мэдрэгч, хяналтын системийн синергетик нөлөөгөөр ±0.5μm-ийн давтагдах байршлын нарийвчлалыг амжилттай биелүүлсэн. Энэ нь ухаалаг гар утасны шил огтлох чанар, үр ашгийг дээшлүүлж зогсохгүй ухаалаг гар утасны үйлдвэрлэлийн бүхэл бүтэн салбарыг нарийн хөгжүүлэхэд хүчтэй дэмжлэг үзүүлдэг.
Шуудангийн цаг: 2025-05-21