Нарийвчилсан эд анги үйлдвэрлэхэд XY нарийн ажлын ширээ нь "супер дархан" шиг бөгөөд эд ангиудыг яг адилхан нунтаглах үүрэгтэй. Гэвч заримдаа үйл ажиллагаа нь гайгүй ч үйлдвэрлэсэн эд анги нь стандартын шаардлага хангахгүй байдаг. Энэ нь ажлын ширээний боржин чулуун суурь нь "уур шидэлж" байгаатай холбоотой байж болох юм! Өнөөдөр боржин чулуун суурь материалын тууштай байдал нь нарийн боловсруулалт хийхэд хэр чухал болохыг ярилцъя.
Материал нь "тэгш бус" бөгөөд асуудал үүссэн
Боржингийн суурийг төсөөлөөд үз дээ, зарим хэсэг нь хатуу, зарим хэсэг нь зөөлөн; Зарим газар халаахад их, зарим газар бага тэлвэл юу болох вэ?
Чичиргээний тэнцвэргүй байдал: Боржингийн машины суурийн янз бүрийн байрлал дахь нягт нь ижил биш бол ажлын ширээ хурдан хөдөлж байх үед энэ нь хүн алхаж байгаа мэт нэг өндөр, нөгөө нь доошоо чичирч чичирнэ. Энэ төрлийн сэгсрэх нь нарийн боловсруулалтанд нэлээд ноцтой юм. Жишээлбэл, оптик линзийг өнгөлөх үед линзний гадаргуу нь барзгар болдог. Анх толин тусгал мэт нөлөө үзүүлж чадах линзний хаягдал нь шууд 30%-иар өсөх болно!
Температур нь "асуудал үүсгэдэг": Хагас дамжуулагч фотолитографийн процесст байрлалыг нарийн хянах шаардлагатай. Гэсэн хэдий ч, хэрэв боржингийн суурийн янз бүрийн талбайн дулааны тэлэлтийн коэффициентүүд маш их ялгаатай бол температур өөрчлөгдөхөд суурь нь "гажиж, гажилт" болж, улмаар байршлын алдаа ихсэх, магадгүй бүхэл хавтанг бүхэлд нь хусах болно.
Тэгш бус элэгдэл: Тогтворгүй хатуулагтай суурь нь янз бүрийн элэгдлийн зэрэгтэй хос гуталтай адил юм. Удаан хэрэглэсний дараа ажлын ширээн дээрх хатуулаг багатай хэсгүүд хурдан элэгддэг. Анхны шулуун хөдөлж байсан зам муруй болж, шулуун байдал мэдэгдэхүйц буурах болно. Мөн засвар үйлчилгээний зардал эрс нэмэгдэнэ.
Материалууд нь нийцэж байж л боловсруулалт нь Тай уул шиг тогтвортой байх болно.
Боржингийн суурийн материаллаг шинж чанар нь жигд, тогтвортой байвал үр ашиг нь шууд гарч ирнэ.
Тогтвортой, үнэн зөв, хүчирхэг динамик гүйцэтгэл: Тогтвортой материалаар хийсэн суурь нь ажлын ширээ эхлэх, зогсох эсвэл хурдан эргэх үед чичиргээг жигд шингээж чаддаг. Ийм байдлаар давтан байрлал тогтоох нарийвчлал нь гайхалтай ±0.3μm хүрэх боломжтой бөгөөд энэ нь хүний үсийг 300 өөр хэсэгт хуваах нарийвчлалтай тэнцэнэ!
Температурын нарийн хариу үйлдэл: Дулааны тэлэлтийн нэгдсэн коэффициент нь суурин дээр "ухаалаг температурын хяналтын систем" суурилуулахтай адил юм. Температур өөрчлөгдөх үед инженерүүд суурийн хэв гажилтыг нарийн таамаглаж чадна. Алгоритмын нөхөн олговороор дамжуулан дулааны хэв гажилтын алдааг ±0.5μm дотор хянадаг.
Илүү урт "үйлчилгээний хугацаа": Нэг төрлийн хатуулаг, нягтрал нь суурийн бүх хэсгүүдийг "тэгш ачаалалтай" болгож, орон нутгийн хэт элэгдэлд орохоос сэргийлдэг. Энгийн машин баазыг таван жил тутамд солих шаардлагатай байдаг бол сайн чанарын тууштай материалаар хийсэн суурь нь 8-10 жил үргэлжилж, тоног төхөөрөмжийг солих зардлыг ихээхэн хэмнэдэг.
"найдвартай" боржин чулуун онгоцны суурийг хэрхэн сонгох вэ?
"Гарал үүслийг" тодорхойлох : Нэг модноос жимс түүж байгаатай адил ашигт малтмалын давхарга, ижил газраас олборлосон боржин чулууг сонгох нь ашигт малтмалын найрлага нь ижил байх болно.
Хатуу "биеийн үзлэг": Найдвартай боржин чулуун машины суурь нь спектрийн шинжилгээ, нягтын туршилт гэх мэт 12 "шалгах цэг" -ийг дамжих ёстой бөгөөд бүх стандартын бус материалыг устгана.
"Иргэний үнэмлэх"-ийг шалгах : Нийлүүлэгчээс чанарын гэрчилгээ, туршилтын тайлан гаргаж өгөхийг хүс. Зөвхөн эрх бүхий гэрчилгээтэй баазыг илүү тайван ашиглах боломжтой.
Нарийвчлалтай боловсруулалтын ертөнцөд нарийн ширийн зүйлс амжилт эсвэл бүтэлгүйтлийг тодорхойлдог. Боржингийн суурийн материалын тууштай байдал нь үнэн зөв байдлыг хангах, зардлыг бууруулах гол холбоос юм. Дараагийн удаа тоног төхөөрөмж сонгохдоо энэ "жижиг нарийн ширийн зүйлийг" дахин мартаж болохгүй!
Шуудангийн цаг: 2025 оны 6-р сарын 17-ны хооронд