Нарийн эд анги үйлдвэрлэх үед XY нарийвчлалтай ажлын ширээ нь эд ангиудыг яг адилхан болгохын тулд нунтаглах үүрэгтэй "супер гар урчууд" шиг байдаг. Гэхдээ заримдаа ажиллагаа нь хэвийн байсан ч үйлдвэрлэсэн эд ангиуд нь стандартын шаардлага хангаагүй байдаг. Энэ нь ажлын ширээний боржин чулуун суурь нь "уур хилэн төрүүлж" байгаатай холбоотой байж болох юм! Өнөөдөр боржин чулуун суурь материалын нягтрал нь нарийн боловсруулалтад хэр чухал болохыг ярилцъя.
Материал нь "тэгш бус" бөгөөд асуудал үүссэн
Боржин чулуун суурийг төсөөлөөд үз дээ, зарим хэсэг нь хатуу, зарим хэсэг нь зөөлөн байдаг; Хэрэв зарим газар халахад илүү их тэлж, зарим нь бага тэлбэл юу болох вэ?
Чичиргээний тэнцвэргүй байдал: Хэрэв боржин чулуун машины суурийн өөр өөр байрлал дахь нягтрал ижил биш байвал ажлын ширээ хурдан хөдлөхөд хүн нэг дээш, нэг доош алхаж байгаа мэт чичиргээ үүсгэнэ. Энэ төрлийн чичиргээ нь нарийн боловсруулалтад нэлээд ноцтой юм. Жишээлбэл, оптик линзийг өнгөлөх үед линзний гадаргууг барзгар болгож болзошгүй. Анх толь шиг эффект өгч чаддаг байсан линзний хаягдлын хэмжээ шууд 30%-иар өсөх болно!
Температур нь "асуудал үүсгэдэг": Хагас дамжуулагч фотолитографийн процесст байрлалыг нарийн хянах шаардлагатай. Гэсэн хэдий ч хэрэв боржин чулуун суурийн өөр өөр хэсгүүдийн дулааны тэлэлтийн коэффициентууд маш их ялгаатай бол температур өөрчлөгдөхөд суурь нь "деформацид орж, гажуудах" бөгөөд энэ нь байрлалын алдаа улам бүр нэмэгдэж, бүхэл бүтэн хавтанг хаях магадлалтай.
Тэгш бус элэгдэл: Тогтворгүй хатуулагтай суурь нь элэгдлийн зэрэг нь өөр өөр гуталтай адил юм. Удаан хугацаагаар ашигласны дараа ажлын ширээн дээрх хатуулаг багатай эд ангиуд илүү хурдан элэгдэнэ. Анх шулуун хөдөлж байсан зам муруйж, шулуун байдал мэдэгдэхүйц буурна. Засвар үйлчилгээний зардал мөн огцом нэмэгдэнэ.
Материалууд нь тогтвортой байх үед л боловсруулалт нь Тай уул шиг тогтвортой байж чадна.
Боржин чулуун суурийн материалын шинж чанар жигд бөгөөд тууштай байх үед ашиг тус нь шууд мэдрэгддэг:
Тогтвортой, нарийвчлалтай, хүчирхэг динамик гүйцэтгэл: Тогтвортой материалаар хийгдсэн суурь нь ажлын ширээ хурдан асах, зогсох эсвэл эргэх үед чичиргээг жигд шингээж чаддаг. Ингэснээр давталтын байрлалын нарийвчлал нь гайхалтай ±0.3μm хүрч болох бөгөөд энэ нь хүний үсийг 300 хэсэгт хуваах нарийвчлалтай тэнцүү юм!
Нарийн температурын хариу урвал: Дулааны тэлэлтийн нэгдсэн коэффициент нь суурь дээр "ухаалаг температурын хяналтын систем" суурилуулахтай адил юм. Инженерүүд температур өөрчлөгдөхөд суурийн хэв гажилтыг нарийн таамаглаж чадна. Алгоритмын нөхөн олговрын тусламжтайгаар дулааны хэв гажилтын алдааг ±0.5μm дотор хянадаг.
Нэмэлт урт хугацааны "үйлчилгээний хугацаа": Нэг жигд хатуулаг болон нягтрал нь суурийн бүх хэсгийг "жигд ачаалалтай" байлгаж, хэт их орон нутгийн элэгдэлээс сэргийлдэг. Ердийн машины суурийг таван жил тутамд солих шаардлагатай байж болох бол тогтвортой материалаар хийгдсэн өндөр чанартай суурийг наймаас арван жил хүртэл ашиглаж, тоног төхөөрөмжийг солих зардлыг ихээхэн хэмнэдэг.
"Найдвартай" боржин чулуун онгоцны суурийг хэрхэн сонгох вэ?
"Гарал үүслийг" тодорхойлох: Ижил модноос жимс түүж авдагтай адил ижил эрдэс давхарга, ижил талбайгаас олборлосон боржин чулууг сонгох нь эрдэс бодисын найрлага ижил төстэй байхыг баталгаажуулж чадна.
Хатуу "физик үзлэг": Найдвартай боржин чулуун машины суурь нь спектрийн шинжилгээ, нягтралын туршилт гэх мэт 12 "шалгах цэг"-ийг давах ёстой бөгөөд бүх чанар муутай материалыг хасдаг.
"Үнэмлэх"-ийг шалгана уу: Нийлүүлэгчээс чанарын гэрчилгээ болон туршилтын тайланг гаргаж өгөхийг хүснэ үү. Зөвхөн эрх бүхий гэрчилгээний баталгаатай баазыг л илүү тайван ашиглаж болно.
Нарийн боловсруулалтын ертөнцөд нарийн ширийн зүйлс нь амжилт эсвэл бүтэлгүйтлийг тодорхойлдог. Боржин чулуун суурийн материалын тогтвортой байдал нь нарийвчлалыг хангах, зардлыг бууруулах гол холбоос юм. Дараагийн удаа тоног төхөөрөмж сонгохдоо энэ "жижиг нарийн ширийн зүйлийг" дахин бүү мартаарай!
Нийтэлсэн цаг: 2025 оны 6-р сарын 17