♦Хөнгөн цагаан (Al)2О3)
ZhongHui Intelligent Manufacturing Group (ZHHIMG)-ийн үйлдвэрлэсэн нарийн керамик эд ангиудыг өндөр цэвэршилттэй керамик түүхий эд, 92~97% хөнгөн цагаан, 99.5% хөнгөн цагаан, >99.9% хөнгөн цагаан, CIP хүйтэн изостатик шахалтаар хийж болно. Өндөр температурт хайлуулах болон нарийн боловсруулалт хийх, ± 0.001 мм-ийн хэмжээст нарийвчлал, Ra0.1 хүртэл жигд, 1600 градус хүртэл ашиглах температуртай. Хар, цагаан, шаргал, бараан улаан гэх мэт үйлчлүүлэгчдийн шаардлагын дагуу янз бүрийн өнгөт керамик хийж болно. Манай компанийн үйлдвэрлэсэн нарийн керамик эд ангиуд нь өндөр температур, зэврэлт, элэгдэл, дулаалгад тэсвэртэй бөгөөд өндөр температур, вакуум болон идэмхий хийн орчинд удаан хугацаанд ашиглах боломжтой.
Хагас дамжуулагч үйлдвэрлэлийн янз бүрийн тоног төхөөрөмжид өргөн хэрэглэгддэг: хүрээ (керамик хаалт), суурь (суурь), гар/гүүр (манипулятор), механик эд ангиуд болон керамик агаарын холхивч.
| Бүтээгдэхүүний нэр | Өндөр цэвэршилттэй 99 хөнгөн цагааны керамик дөрвөлжин хоолой / хоолой / саваа | |||||
| Индекс | Нэгж | 85% Al2O3 | 95% Al2O3 | 99% Al2O3 | 99.5% Al2O3 | |
| Нягтрал | г/см3 | 3.3 | 3.65 | 3.8 | 3.9 | |
| Ус шингээлт | % | <0.1 | <0.1 | 0 | 0 | |
| Шатсан температур | ℃ | 1620 он | 1650 он | 1800 он | 1800 он | |
| Хатуулаг | Мохс | 7 | 9 | 9 | 9 | |
| Гулзайлтын бат бэх (20℃)) | МПа | 200 | 300 | 340 | 360 | |
| Шахалтын бат бэх | Кгф/см2 | 10000 | 25000 | 30000 | 30000 | |
| Удаан хугацааны ажлын температур | ℃ | 1350 он | 1400 | 1600 он | 1650 он | |
| Хамгийн их ажлын температур | ℃ | 1450 он | 1600 он | 1800 он | 1800 он | |
| Эзлэхүүний эсэргүүцэл | 20℃ | Ω. см3 | >1013 | >1013 | >1013 | >1013 |
| 100℃ | 1012-1013 | 1012-1013 | 1012-1013 | 1012-1013 | ||
| 300℃ | >109 | >1010 | >1012 | >1012 | ||
Өндөр цэвэршилттэй хөнгөн цагаан керамикийн хэрэглээ:
1. Хагас дамжуулагч тоног төхөөрөмжид хэрэглэнэ: керамик вакуум патрон, зүсэх диск, цэвэрлэх диск, керамик патрон.
2. Вафли дамжуулах эд ангиуд: вафли зөөх патрон, вафли зүсэх диск, вафли цэвэрлэх диск, вафли оптик үзлэгийн сорох аяга.
3. LED / LCD хавтгай самбар дэлгэцийн үйлдвэрлэл: керамик цорго, керамик нунтаглах диск, өргөх зүү, зүү төмөр зам.
4. Оптик холбоо, нарны эрчим хүчний үйлдвэрлэл: керамик хоолой, керамик саваа, хэлхээний самбарын дэлгэц хэвлэх керамик хусуур.
5. Дулаанд тэсвэртэй ба цахилгаан тусгаарлагч эд анги: керамик холхивч.
Одоогийн байдлаар хөнгөн цагааны исэл керамикийг өндөр цэвэршилттэй болон нийтлэг керамик гэж хувааж болно. Өндөр цэвэршилттэй хөнгөн цагааны исэл керамик цуврал нь 99.9%-иас дээш Al₂O₃ агуулсан керамик материалыг хэлнэ. 1650-1990°C хүртэл хайлуулах температуртай, 1 ~ 6μm дамжуулах долгионы урттай тул цагаан алтны тигелийн оронд хайлуулсан шил болгон боловсруулдаг: гэрлийн дамжуулалт болон шүлтийн металлын зэврэлтэнд тэсвэртэй тул натрийн хоолой болгон ашиглаж болно. Электроникийн салбарт IC суурь материалын өндөр давтамжийн тусгаарлагч материал болгон ашиглаж болно. Хөнгөн цагааны исэлийн янз бүрийн агууламжаас хамааран нийтлэг хөнгөн цагааны исэл керамик цувралыг 99 керамик, 95 керамик, 90 керамик, 85 керамик гэж хувааж болно. Заримдаа 80% эсвэл 75% хөнгөн цагааны исэл агуулсан керамикийг ердийн хөнгөн цагааны исэл керамик цуврал гэж ангилдаг. Тэдгээрийн дотор 99 хөнгөн цагааны исэл керамик материалыг өндөр температурт тэсвэртэй тигель, галд тэсвэртэй зуухны хоолой, керамик холхивч, керамик битүүмжлэл, хавхлагын хавтан зэрэг элэгдэлд тэсвэртэй тусгай материал үйлдвэрлэхэд ашигладаг. 95 хөнгөн цагаан керамикийг голчлон зэврэлтээс хамгаалагдсан элэгдэлд тэсвэртэй эд анги болгон ашигладаг. 85 керамикийг зарим шинж чанараараа хольж, улмаар цахилгаан гүйцэтгэл, механик бат бөх чанарыг сайжруулдаг. Молибден, ниобий, тантал болон бусад металл битүүмжлэлийг ашиглаж болох бөгөөд заримыг нь цахилгаан вакуум төхөөрөмж болгон ашигладаг.
| Чанартай бараа (Төлөөлөгчийн үнэ цэнэ) | Бүтээгдэхүүний нэр | AES-12 | AES-11 | AES-11C | AES-11F | AES-22S | AES-23 | AL-31-03 | |
| Химийн найрлага Бага натрийн агууламжтай, амархан хайлшлах бүтээгдэхүүн | H₂O | % | 0.1 | 0.1 | 0.1 | 0.1 | 0.1 | 0.1 | 0.1 |
| ХӨӨРХӨН | % | 0.1 | 0.2 | 0.1 | 0.1 | 0.1 | 0.1 | 0.1 | |
| Fe₂0₃ | % | 0.01 | 0.01 | 0.01 | 0.01 | 0.01 | 0.01 | 0.01 | |
| SiO₂ | % | 0.03 | 0.03 | 0.03 | 0.03 | 0.02 | 0.04 | 0.04 | |
| Na₂O | % | 0.04 | 0.04 | 0.04 | 0.04 | 0.02 | 0.04 | 0.03 | |
| MgO* | % | - | 0.11 | 0.05 | 0.05 | - | - | - | |
| Al₂0₃ | % | 99.9 | 99.9 | 99.9 | 99.9 | 99.9 | 99.9 | 99.9 | |
| Дунд зэргийн бөөмийн диаметр (MT-3300, лазер шинжилгээний арга) | мкм | 0.44 | 0.43 | 0.39 | 0.47 | 1.1 | 2.2 | 3 | |
| α Кристал Хэмжээ | мкм | 0.3 | 0.3 | 0.3 | 0.3 | 0.3 ~ 1.0 | 0.3 ~ 4 | 0.3 ~ 4 | |
| Нягтрал үүсгэх** | г/см³ | 2.22 | 2.22 | 2.2 | 2.17 | 2.35 | 2.57 | 2.56 | |
| Шахалтын нягтрал** | г/см³ | 3.88 | 3.93 | 3.94 | 3.93 | 3.88 | 3.77 | 3.22 | |
| Шахмалжуулах шугамын агшилтын хурд** | % | 17 | 17 | 18 | 18 | 15 | 12 | 7 | |
* Al₂O₃-ийн цэвэршилтийн тооцоонд MgO ороогүй болно.
* Өнхрүүлэх нунтаггүй 29.4MPa (300кг/см²), хайлуулах температур 1600°C.
AES-11 / 11C / 11F: 0.05 ~ 0.1% MgO нэмнэ, уусах чадвар нь маш сайн тул 99%-иас дээш цэвэршилттэй хөнгөн цагааны исэл керамикт хэрэглэж болно.
AES-22S: Өндөр нягтралтай, хайлуулах шугамын агшилтын хурд багатай гэдгээрээ онцлог бөгөөд шаардлагатай хэмжээст нарийвчлалтайгаар гулсах хэлбэрийн цутгамал болон бусад том хэмжээний бүтээгдэхүүнд хэрэглэнэ.
AES-23 / AES-31-03: Энэ нь AES-22S-ээс илүү өндөр нягтралтай, тиксотроптой, бага зуурамтгай чанартай. Эхнийхийг нь керамикт ашигладаг бол сүүлийнхийг нь галд тэсвэртэй материалын ус бууруулагч болгон ашигладаг тул түгээмэл болж байна.
♦Цахиурын карбидын (SiC) шинж чанарууд
| Ерөнхий шинж чанарууд | Үндсэн бүрэлдэхүүн хэсгүүдийн цэвэршилт (жингийн%) | 97 | |
| Өнгө | Хар | ||
| Нягт (г/см³) | 3.1 | ||
| Ус шингээлт (%) | 0 | ||
| Механик шинж чанарууд | Гулзайлтын бат бэх (МПа) | 400 | |
| Янг модуль (GPa) | 400 | ||
| Викерсийн хатуулаг (GPa) | 20 | ||
| Дулааны шинж чанар | Хамгийн их ажиллах температур (°C) | 1600 он | |
| Дулааны тэлэлтийн коэффициент | RT~500°C | 3.9 | |
| (1/°C x 10-6) | RT~800°C | 4.3 | |
| Дулаан дамжуулалт (Вт/м x К) | 130 110 | ||
| Дулааны цохилтын эсэргүүцэл ΔT (°C) | 300 | ||
| Цахилгаан шинж чанарууд | Эзлэхүүний эсэргүүцэл | 25°C | 3 x 106 |
| 300°C | - | ||
| 500°C | - | ||
| 800°C | - | ||
| Диэлектрик тогтмол | 10GHz | - | |
| Диэлектрик алдагдал (x 10-4) | - | ||
| Q хүчин зүйл (x 104) | - | ||
| Диэлектрик эвдрэлийн хүчдэл (кВ/мм) | - | ||
♦Цахиур нитридийн керамик
| Материал | Нэгж | Si₃N₄ |
| Синтерингийн арга | - | Хийн даралтаар шатсан |
| Нягтрал | г/см³ | 3.22 |
| Өнгө | - | Хар саарал |
| Ус шингээлтийн хурд | % | 0 |
| Залуу модуль | GPA | 290 |
| Викерсийн хатуулаг | GPA | 18 - 20 |
| Шахалтын бат бэх | МПа | 2200 |
| Гулзайлтын бат бэх | МПа | 650 |
| Дулаан дамжуулалт | Вт/мК | 25 |
| Дулааны цохилтын эсэргүүцэл | Δ (°C) | 450 - 650 |
| Хамгийн их ажиллах температур | °C | 1200 |
| Эзлэхүүний эсэргүүцэл | Ω·см | > 10 ^ 14 |
| Диэлектрик тогтмол | - | 8.2 |
| Диэлектрик хүч чадал | кВ/мм | 16 |