Хагас дамжуулагч төхөөрөмж яагаад боржин чулуун сууринд тулгуурладаг вэ: ±0.001 мм тогтвортой байдлын цаад нууц

Хагас дамжуулагчийн үйлдвэрлэлд нарийвчлал нь зөвхөн гүйцэтгэлийн хэмжүүр биш, харин үйлдвэрлэлийн бүх үйл явцын үндэс суурь юм. Ваферын үзлэг, литографиас эхлээд оптик тохируулга, хэмжилзүйн систем хүртэл тоног төхөөрөмж нь маш тогтвортой байрлалын нарийвчлалыг хадгалах ёстой. Хэдэн микроны хазайлт ч гэсэн хэмжилтийн алдаа, ургацын алдагдал эсвэл төхөөрөмжийн эвдрэлд хүргэж болзошгүй.

Ийм учраас боржин чулуун суурь нь хагас дамжуулагч тоног төхөөрөмжийн чухал бүтцийн бүрэлдэхүүн хэсэг болсон юм. Онцгой хатуулаг, чичиргээг намсгах, дулааны тогтвортой байдгаараа алдартай хэт нарийвчлалтай боржин чулуун бүтэц нь ±0.001 мм-ийн байрлалын тогтвортой байдалд хүрэхэд шаардлагатай тогтвортой лавлах суурийг бүрдүүлдэг.

ZHHIMG дээр бид үйлдвэрлэдэгөндөр нарийвчлалтай боржин чулуун суурьхагас дамжуулагч болон хэмжилзүйн хэрэглээнд зориулан тусгайлан бүтээсэн бөгөөд дараагийн үеийн хэт нарийвчлалтай тоног төхөөрөмжийг дэмждэг.

Хагас дамжуулагч үйлдвэрлэлийн нарийвчлалын сорилт

Хагас дамжуулагч үйлдвэрлэлийн процессууд маш бага хэмжээгээр явагддаг. Орчин үеийн олон процессууд нь нанометрийн түвшний байршлын нарийвчлалыг шаарддаг бөгөөд энэ нь тоног төхөөрөмжийн бүтцийн суурь нь өөрчлөгдөж буй орчны нөхцөлд төгс тогтвортой байх ёстой гэсэн үг юм.

Гол бэрхшээлүүд нь:

• Орчны температурын хэлбэлзлээс үүдэлтэй дулааны тэлэлт

• Ойролцоох машин механизм эсвэл барилгын байгууламжаас үүсэх чичиргээ

• Хүнд даацын дор механик деформаци

• Урт хугацааны хэмжээст хэлбэлзэл

Хэрэв суурь бүтэц тогтворгүй бол хамгийн дэвшилтэт мэдрэгч, шугаман мотор эсвэл оптик бүрэлдэхүүн хэсгүүд ч гэсэн тэгшитгэлийн нарийвчлалыг хадгалж чадахгүй.

Энэ бол хэт нарийвчлалтай боржин чулуун суурь нь мэдэгдэхүйц давуу тал олгодог газар юм.

Яагаад боржин чулуу нь хагас дамжуулагч төхөөрөмжийн суурийн хамгийн тохиромжтой материал вэ

1. Хэмжилзүйн систем дэх дээд зэргийн дулааны тогтвортой байдал

Хагас дамжуулагч тоног төхөөрөмжийн хамгийн чухал шаардлагуудын нэг бол хэмжилзүйн хувьд дулааны тогтвортой байдал юм. Температур өөрчлөгдөхөд материалууд тэлж, агшдаг бөгөөд энэ нь хэмжилтийн нарийвчлалд шууд нөлөөлдөг.

Өндөр нягтралтай байгалийн хар боржин чулуу нь олон металлтай харьцуулахад дулааны тэлэлтийн маш бага коэффициенттэй байдаг. Энэ нь боржин чулуун суурийг температурын бага зэргийн хэлбэлзэлтэй орчинд ч геометрийн тогтвортой байдлыг хадгалах боломжийг олгодог.

Микроноос доош нарийвчлал шаарддаг хагас дамжуулагчийн үзлэг, хэмжилзүйн системийн хувьд энэхүү тогтвортой байдал зайлшгүй шаардлагатай.

2. Онцгой чичиргээ намсгагч

Хагас дамжуулагч тоног төхөөрөмж нь ихэвчлэн дараах өндөр хурдны хөдөлгөөний системүүдийг нэгтгэдэг:

• Шугаман мотор

• Агааржуулалтын үе шатууд

• Оптик сканнердах системүүд

• Нарийвчлалтай байрлал тогтоох модулиуд

Эдгээр системүүд ашиглалтын явцад бичил чичиргээ үүсгэдэг. Боржин чулуун байгалийн талст бүтэц нь маш сайн чичиргээг дарангуйлж, металл хийцээс хамаагүй хурдан энергийг шингээж, сарниулахад тусалдаг.

Үүний үр дүнд боржин чулуун суурь нь хэмжилтийн систем дэх чимээ шуугианыг бууруулж, байршлын нарийвчлалыг сайжруулдаг.

3. Өндөр хатуулаг ба ачааллын тогтвортой байдал

Хэт нарийвчлалтай тоног төхөөрөмж нь дараахь хүнд эд ангиудыг агуулж болно.

• Оптик модулиуд

• Ваферын үе шатууд

• Вакуум системүүд

• Нарийвчлалтай хөдөлгөөнт платформууд

Боржин чулуу нь өндөр шахалтын бат бэх, бүтцийн хатуулагтай тул хэв гажилтгүйгээр хүнд ачааг даах боломжийг олгодог. Металл хийцээс ялгаатай нь боржин чулуу нь дотоод стрессийг сулруулдаггүй бөгөөд энэ нь хэлбэр дүрс, нарийвчлалаа удаан хугацаанд хадгалдаг гэсэн үг юм.

Энэ нь боржин чулууг CMM машин, хагас дамжуулагчийн үзлэгийн тоног төхөөрөмж, оптик тохируулгын системд хамгийн тохиромжтой суурь материал болгодог.

4. Зэврэлтээс хамгаалах чадвар ба урт хугацааны тогтвортой байдал

Цэвэр өрөөний орчинд материалууд тогтвортой, бохирдолгүй байх ёстой. Боржин чулуу нь хэд хэдэн байгалийн давуу талтай:

• Соронзон бус

• Зэврэлтэнд тэсвэртэй

• Зэвгүй

• Засвар үйлчилгээ багатай

Эдгээр шинж чанарууд нь хагас дамжуулагч үйлдвэрлэлийн байгууламж, дэвшилтэт лаборатори зэрэг өндөр нарийвчлалтай орчинд удаан эдэлгээтэй, найдвартай ажиллагааг хангадаг.

Хагас дамжуулагч төхөөрөмжид боржин чулуун суурийн хэрэглээ

Эдгээр давуу талуудын улмаас хагас дамжуулагч төхөөрөмжийн боржин чулуун суурийг дараахь зүйлд өргөн ашигладаг.

• Вафлийн үзлэгийн машинууд

• Хагас дамжуулагч хэмжилзүйн системүүд

• Оптик тохируулгын тавцангууд

• Литографийн дэд системийн бүтэц

• Агаар агуулсан хөдөлгөөнт тавцангууд

• Нарийвчлалтай координат хэмжих машинууд (CMM)

Олон дэвшилтэт системд боржин чулуун суурь нь үндсэн лавлах гадаргуу болж, бүх хөдөлгөөний бүрэлдэхүүн хэсгүүдийг зөв уялдуулж байгааг баталгаажуулдаг.

ZHHIMG Хэт нарийвчлалтай боржин чулуун шийдлүүд

ZHHIMG компани нь хагас дамжуулагч болон хэмжилзүйн салбарт зориулсан хэт нарийн боржин чулуун эд анги үйлдвэрлэх чиглэлээр мэргэшсэн. Манай боржин чулуун суурь нь өндөр нарийвчлалтай тоног төхөөрөмж үйлдвэрлэгчдийн хатуу шаардлагыг хангахаар зохион бүтээгдсэн.

ZHHIMG боржин чулуун суурийн гол давуу талууд нь дараахь зүйлийг агуулдаг.

• Өндөр нягтралтай ZHHIMG® хар боржин чулуу, дээд зэргийн физик шинж чанартай

• Хэт хавтгай гадаргууд зориулсан нарийн зүлгэх болон давхцуулах үйлчилгээтэй

• Урсгалтай оруулга, агаарын нүх, нарийвчлалтай суурилуулах онцлогуудыг захиалгаар нэгтгэх

• Өндөр хэмжээст нарийвчлалтай байхын тулд үйлдвэрлэлийн явцад хүрээлэн буй орчны хяналт

• Хагас дамжуулагч төхөөрөмжийн дизайны захиалгат хэмжээ ба бүтэц

Манай бүтээгдэхүүнийг хагас дамжуулагч, лазер, оптикийн салбарт дэлхийн тоног төхөөрөмж үйлдвэрлэгчид өргөнөөр ашигладаг бөгөөд хэт нарийвчлалтай системийн найдвартай бүтцийн суурийг бүрдүүлдэг.

Хэт нарийвчлалтай технологийн үндэс суурь

Бүтцийн хувьд тогтвортой суурьгүйгээр ±0.001 мм-ийн тогтвортой байдалд хүрэх боломжгүй. Боржин чулуун суурь нь орчин үеийн хагас дамжуулагч тоног төхөөрөмжид шаардлагатай механик тогтвортой байдал, чичиргээ тусгаарлалт, дулааны найдвартай байдлыг хангадаг.

Хагас дамжуулагч технологи нь жижиг зангилаа, өндөр нарийвчлал руу чиглэн хөгжихийн хэрээр хэт нарийвчлалтай боржин чулуун бүтэц нь өндөр хүчин чадалтай хэмжил зүй, үйлдвэрлэлийн системд чухал бүрэлдэхүүн хэсэг хэвээр байх болно.

Тогтвортой, найдвартай бүтцийн эд анги хайж буй тоног төхөөрөмж үйлдвэрлэгчдийн хувьд боржин чулуун суурь нь зүгээр нэг сонголт биш, харин зайлшгүй шаардлагатай зүйл юм.