00 зэрэглэлийн боржингийн туршилтын платформ нь өндөр нарийвчлалтай хэмжих хэрэгсэл бөгөөд түүний зэрэглэлийн стандартууд нь үндсэндээ дараах асуудлуудыг хамардаг.
Геометрийн нарийвчлал:
Хавтгай байдал: Платформын бүх гадаргуу дээрх тэгш байдлын алдаа нь маш бага байх ёстой бөгөөд ихэвчлэн микроны түвшинд хянагддаг. Жишээлбэл, стандарт нөхцөлд тэгш байдлын хазайлт нь 0.5 микроноос хэтрэхгүй байх ёстой бөгөөд энэ нь платформын гадаргуу нь бараг бүрэн тэгш, хэмжилт хийхэд тогтвортой лавлагаа өгдөг.
Зэрэгцээ байдал: Хэмжилтийн нарийвчлалыг хангахын тулд янз бүрийн ажлын гадаргуугийн хооронд маш өндөр параллелизм шаардлагатай. Жишээлбэл, өнцөг эсвэл харьцангуй байрлалыг хэмжихдээ мэдээллийн найдвартай байдлыг хангахын тулд зэргэлдээх хоёр ажлын гадаргуугийн хоорондох параллелизмын алдаа нь 0.3 микроноос бага байх ёстой.
Перпендикуляр: Ажлын гадаргуу болон жишиг гадаргуу бүрийн хоорондох перпендикуляр байдлыг хатуу хянах ёстой. Ерөнхийдөө перпендикулярын хазайлт нь 0.2 микрон дотор байх ёстой бөгөөд энэ нь гурван хэмжээст координатын хэмжилт гэх мэт босоо хэмжилт шаарддаг хэрэглээнд чухал ач холбогдолтой юм.
Материалын шинж чанар:
Боржин: Нэг төрлийн бүтэцтэй, нягт бүтэцтэй боржин чулууг үндсэн материал болгон ашигладаг. Өндөр хатуулаг, элэгдэлд тэсвэртэй, дулааны тэлэлтийн бага коэффициент нь платформын хэмжээсийн тогтвортой байдал, урт хугацааны ашиглалтын явцад деформацид тэсвэртэй байдлыг хангадаг. Жишээлбэл, сонгосон боржин чулуу нь платформын элэгдэл, зураасыг маш сайн эсэргүүцэхийн тулд Rockwell-ийн хатуулаг нь 70 ба түүнээс дээш байх ёстой.
Тогтвортой байдал: 00 зэрэглэлийн боржингийн туршилтын платформууд нь дотоод стрессийг арилгахын тулд үйлдвэрлэлийн явцад хатуу хөгшрөлтийн эмчилгээ хийлгэж, хүрээлэн буй орчны янз бүрийн нөхцөлд тогтвортой ажиллагааг хангадаг. Эмчилгээний дараа платформын хэмжээсийн өөрчлөлтийн хурд нь жилд 0.001 мм / м-ээс хэтрэхгүй бөгөөд өндөр нарийвчлалтай хэмжилтийн шаардлагыг хангадаг.
Гадаргуугийн чанар:
Барзгар байдал: Платформын гадаргуугийн тэгш бус байдал нь маш бага, ихэвчлэн Ra0.05-аас бага байдаг тул толин тусгал мэт гөлгөр болдог. Энэ нь хэмжих хэрэгсэл болон хэмжиж буй объектын хоорондох үрэлт, алдааг багасгаж, хэмжилтийн нарийвчлалыг сайжруулдаг.
Гялбаа: Платформын өндөр гялбаа нь ихэвчлэн 80-аас дээш байдаг нь түүний гоо зүйн үзэмжийг сайжруулаад зогсохгүй хэмжилтийн үр дүн болон шалгалт тохируулгын операторын ажиглалтыг хөнгөвчилдөг.
Хэмжилтийн нарийвчлалын тогтвортой байдал:
Температурын тогтвортой байдал: Хэмжилт хийхэд ихэвчлэн янз бүрийн температурын орчинд ажиллах шаардлагатай байдаг тул 00 зэрэглэлийн боржингийн туршилтын платформ нь маш сайн температурын тогтвортой байдлыг харуулах ёстой. Ерөнхийдөө платформын хэмжилтийн нарийвчлал нь -10 ° C-аас + 30 ° C хүртэлх температурт 0.1 микроноос хэтрэхгүй байх ёстой бөгөөд энэ нь бүх температурын нөхцөлд хэмжилтийн үр дүнг үнэн зөв гаргах боломжийг олгоно.
Урт хугацааны тогтвортой байдал: Платформын хэмжилтийн нарийвчлал нь удаан хугацааны туршид тогтвортой байх ёстой бөгөөд тодорхой хугацааны дараа ашиглалтын нарийвчлал нь тогтоосон хязгаараас хэтрэхгүй байх ёстой. Жишээлбэл, үйл ажиллагааны хэвийн нөхцөлд платформын хэмжилтийн нарийвчлал нь нэг жилийн хугацаанд 0.2 микроноос илүү хазайхгүй байх ёстой.
Дүгнэж хэлэхэд, 00 зэрэглэлийн боржингийн туршилтын тавцангийн зэрэглэлийн стандартууд нь геометрийн нарийвчлал, материалын шинж чанар, гадаргуугийн чанар, хэмжилтийн нарийвчлалын тогтвортой байдал зэрэг олон талыг хамарсан маш хатуу байдаг. Зөвхөн эдгээр өндөр стандартыг хангаснаар уг платформ нь өндөр нарийвчлалтай хэмжилт хийхэд чухал үүрэг гүйцэтгэж, шинжлэх ухааны судалгаа, инженерийн туршилт, чанарын хяналт зэрэгт үнэн зөв, найдвартай хэмжилтийн жишиг болж чадна.
Шуудангийн цаг: 2025 оны 9-р сарын 05-ны хооронд