Хагас дамжуулагч үйлдвэрлэл
Литографи: Литографи нь хагас дамжуулагч үйлдвэрлэлийн гол үйл явц бөгөөд нарийн төвөгтэй хэлхээний хэв маягийг вафли руу нарийн шилжүүлэхийг шаарддаг. Боржин чулуун суурь дээрх XYT нарийвчлалтай идэвхтэй чичиргээ тусгаарлах хөдөлгөөний платформ нь литографийн тоног төхөөрөмжийг тогтвортой тулгуур болон нарийвчлалтай байрлуулах боломжийг олгож, өртөлтийн процесст вафлины ширээний байрлалын нарийвчлал нанометрийн түвшинд хүрэхийг баталгаажуулж, чичиргээ болон дулааны деформациас үүдэлтэй хэв маягийн хазайлтыг үр дүнтэй бууруулж, чипийн үйлдвэрлэлийн нарийвчлал болон гарцыг сайжруулж чадна.
Ваферын үзлэг: Ваферын үйлдвэрлэл дууссаны дараа жижиг согог, согогийг олохын тулд өндөр нарийвчлалтай шалгах шаардлагатай. XYT нарийвчлалтай идэвхтэй чичиргээ тусгаарлах хөдөлгөөний тавцан нь электрон цацрагийн микроскоп, атомын хүчний микроскоп гэх мэт илрүүлэх төхөөрөмжийг авч явах боломжтой бөгөөд илрүүлэх явцад тогтвортой хөдөлгөөн, нарийвчлалтай байрлалыг хадгалахын тулд илрүүлэх төхөөрөмж нь ваферын гадаргууг нарийн сканнердаж, илрүүлэх нягтрал болон нарийвчлалыг сайжруулж чадна.
Оптик багаж хэрэгсэл үйлдвэрлэл
Линзийг нунтаглах, өнгөлөх: Оптик линз үйлдвэрлэх явцад сайн оптик шинж чанарыг олж авахын тулд линзийг өндөр нарийвчлалтай нунтаглах, өнгөлөх шаардлагатай. XYT нарийвчлалтай идэвхтэй чичиргээ тусгаарлах хөдөлгөөний платформ нь нунтаглах, өнгөлөх хэрэгслийн хөдөлгөөний замыг нарийн хянаж чаддаг бол боржин чулуун суурь нь гадаад чичиргээг тусгаарлаж, чичиргээний боловсруулалтын нарийвчлалд үзүүлэх нөлөөллийг бууруулж, линзний гадаргуугийн тэгш байдал, өнгөлгөө нь дизайны шаардлагыг хангаж байгаа эсэхийг баталгаажуулдаг.
Оптик системийн угсралт: Оптик системийн угсралтын явцад гэрлийн тархалт болон дүрслэлийн чанарыг зөв хангахын тулд янз бүрийн оптик эд ангиудыг тодорхой байрлалд нарийн суурилуулах шаардлагатай. Боржин чулуун суурьтай XYT нарийвчлалтай идэвхтэй чичиргээ тусгаарлах хөдөлгөөнт платформ нь оптик эд ангиудыг суурилуулах, тохируулах тогтвортой платформыг бий болгож, нарийн хөдөлгөөний хяналтаар дамжуулан оптик эд ангиудыг өндөр нарийвчлалтай уялдуулах, угсрах боломжтой.
сансар судлал
Инерцийн навигацийн системийн туршилт: Инерцийн навигацийн систем нь сансар судлалын салбарт чухал навигацийн тоног төхөөрөмж бөгөөд түүний нарийвчлал нь нисэх онгоцны навигацийн нарийвчлал болон нислэгийн аюулгүй байдалд шууд нөлөөлдөг. Инерцийн навигацийн системийг турших явцад нисэх онгоцны янз бүрийн хөдөлгөөний төлөвийг дуурайлган өндөр нарийвчлалтай эргэдэг тавцан ашиглах шаардлагатай. XYT нарийвчлалтай идэвхтэй чичиргээ тусгаарлах хөдөлгөөний платформыг эргэдэг ширээний тулгуур тавцан болгон ашиглаж болно. Нарийн хөдөлгөөний хяналт болон сайн чичиргээ тусгаарлах гүйцэтгэлийн ачаар инерцийн навигацийн системийн туршилтын тогтвортой, нарийвчлалтай хөдөлгөөнт орчныг бүрдүүлж, туршилтын нарийвчлал, найдвартай байдлыг сайжруулдаг.
Аэро хөдөлгүүрийн ирний боловсруулалт: Аэро хөдөлгүүрийн ирний боловсруулалтын нарийвчлал нь хөдөлгүүрийн гүйцэтгэл, үр ашигт чухал нөлөө үзүүлдэг. XYT нарийвчлалтай идэвхтэй чичиргээ тусгаарлах хөдөлгөөний платформыг таван тэнхлэгийн холболтын боловсруулалтын төв гэх мэт ирний боловсруулалтын процесст хэрэглэж, багажны хөдөлгөөний замыг нарийн хянаж, тогтвортой боловсруулалтын орчныг хадгалж, ирний өндөр нарийвчлалтай боловсруулалтыг хийж, ирний профайлын нарийвчлал болон гадаргуугийн чанар нь дизайны шаардлагыг хангаж байгаа эсэхийг баталгаажуулж болно.
Шинжлэх ухааны судалгааны туршилт
Нано шинжлэх ухааны судалгаа: Нано шинжлэх ухааны судалгаанд наноматериал бэлтгэх, нано төхөөрөмж угсрах зэрэг нано хэмжээний объектуудыг ажиллуулах, ажиглах шаардлагатай. XYT нарийвчлалтай идэвхтэй чичиргээ тусгаарлах хөдөлгөөний платформын боржин чулуун суурь нь микроноос доош эсвэл бүр нано түвшний байршлын нарийвчлалыг хангаж, нано шинжлэх ухааны судалгааны тогтвортой, нарийвчлалтай туршилтын платформыг бий болгож, эрдэмтдэд нано ертөнцийн нууцыг илүү сайн судлахад тусалдаг.
Биоанагаахын дүрслэл: Флуоресценцийн микроскоп, конфокал микроскоп болон бусад дүрслэлийн төхөөрөмж зэрэг биоанагаахын салбарт өндөр нягтралтай биологийн дүрсийг авахын тулд дээжийг нарийн байрлуулах, тогтвортой дүрслэл хийх шаардлагатай. XYT нарийвчлалтай идэвхтэй чичиргээ тусгаарлах хөдөлгөөний платформ нь биологийн дээжийг зөөж, хөдөлгөөний нарийн хяналт, сайн чичиргээ тусгаарлах гүйцэтгэлийн тусламжтайгаар дээжийн чичиргээ болон шилжилтийг бууруулж, дүрслэлийн чанар, нарийвчлалыг сайжруулж, биоанагаахын судлаачдад эс, эд болон бусад бичил харуурын бүтцийн талаар гүнзгий судалгаа хийхэд тусалдаг.
Нийтэлсэн цаг: 2025 оны 4-р сарын 11