Боржин чулуу нь маш сайн механик шинж чанар, дулааны тогтвортой байдал, дулааны тэлэлтийн бага коэффициент зэргээрээ хагас дамжуулагчийн үйлдвэрлэлд түгээмэл хэрэглэгддэг материал байсаар ирсэн. Гэсэн хэдий ч өндөр нарийвчлал, бүтээмжийн эрэлт хэрэгцээ байнга нэмэгдэж байгаатай холбогдуулан хагас дамжуулагч төхөөрөмжийн эд анги үйлдвэрлэхэд өөр материалууд гарч ирсэн. Энэ нийтлэлд бид хагас дамжуулагч төхөөрөмжийн боржин эд ангиудын зарим өөр материалыг судалж, тэдгээрийн давуу болон сул талуудыг харьцуулах болно.
Боржин эд ангиудын өөр материалууд
1. Шилэн керамик материал
Zerodur, Cervit зэрэг шилэн керамик материалууд нь цахиурынхтай ойролцоо бага дулааны тэлэлтийн коэффициенттой тул хагас дамжуулагчийн үйлдвэрлэлд өргөн хэрэглэгдэж байна. Үүний үр дүнд эдгээр материалууд нь хагас дамжуулагч үйлдвэрлэх процесст илүү сайн дулааны тогтвортой байдал, сайжруулсан нарийвчлалыг хангаж чаддаг. Ялангуяа Zerodur нь өндөр зэрэглэлийн нэгэн төрлийн, тогтвортой байдалтай тул литографийн тоног төхөөрөмж үйлдвэрлэхэд тохиромжтой.
Давуу талууд:
- Дулааны тэлэлтийн бага коэффициент
- Өндөр нарийвчлал ба тогтвортой байдал
- Өндөр температурт тохиромжтой
Сул талууд:
- Боржин чулуутай харьцуулахад өндөр өртөгтэй
- Харьцангуй хэврэг тул боловсруулах болон зөөвөрлөхөд бэрхшээл учруулж болзошгүй
2. Керамик
Хөнгөн цагааны исэл (Al2O3), цахиурын карбид (SiC), цахиурын нитрид (Si3N4) зэрэг керамик материалууд нь маш сайн механик шинж чанартай, өндөр температурт тэсвэртэй, дулааны тэлэлтийн коэффициент багатай байдаг. Эдгээр шинж чанарууд нь керамикийг өндөр дулааны тогтвортой байдал, нарийвчлал шаарддаг хагас дамжуулагч тоног төхөөрөмжийн эд анги, тухайлбал ваферын шат, патрон зэрэгт тохиромжтой болгодог.
Давуу талууд:
- Өндөр дулааны тогтвортой байдал ба бат бөх чанар
- Дулааны тэлэлтийн бага коэффициент
- Өндөр элэгдэлд тэсвэртэй ба химийн идэвхгүй байдал
Сул талууд:
- Ялангуяа боловсруулах болон зөөвөрлөх явцад хэврэг, хагаралд өртөмтгий байж болно
- Керамик эдлэлийг боловсруулах, өнгөлөх нь хэцүү бөгөөд цаг хугацаа их шаарддаг.
3. Металлууд
Зэвэрдэггүй ган, титан зэрэг металл суурьтай материалыг маш сайн боловсруулалттай, өндөр бат бэх чанартай тул зарим хагас дамжуулагч тоног төхөөрөмжийн эд ангиудад ашигласан. Эдгээрийг ихэвчлэн камерын эд анги, холбогч, тэжээлийн дамжуулалт гэх мэт өндөр дулааны тогтвортой байдал шаарддаггүй хэрэглээнд ашигладаг.
Давуу талууд:
- Машин боловсруулах болон гагнах чадвар сайтай
- Өндөр бат бэх ба уян хатан чанар
- Зарим өөр материалуудтай харьцуулахад хямд өртөгтэй
Сул талууд:
- Дулааны тэлэлтийн өндөр коэффициент
- Дулааны тэлэлтийн асуудлаас шалтгаалан өндөр температурт хэрэглэхэд тохиромжгүй
- Зэврэлт болон бохирдолд өртөмтгий
Дүгнэлт:
Товчхондоо, боржин чулуу нь хагас дамжуулагч төхөөрөмжийн эд ангиудад түгээмэл сонголт байсан ч өөр өөр материалууд гарч ирсэн бөгөөд тус бүр нь өвөрмөц давуу болон сул талуудтай байдаг. Шилэн керамик материалууд нь өндөр нарийвчлалтай, тогтвортой боловч хэврэг байж болно. Керамик нь бат бөх бөгөөд маш сайн дулааны тогтвортой байдалтай боловч хэврэг байж болох тул үйлдвэрлэхэд илүү төвөгтэй болгодог. Металлууд нь хямд, боловсруулах боломжтой, уян хатан боловч дулааны тэлэлтийн өндөр коэффициенттэй бөгөөд зэврэлт, бохирдолд өртөмтгий байдаг. Хагас дамжуулагч төхөөрөмжийн материалыг сонгохдоо хэрэглээний тодорхой шаардлагыг харгалзан үзэж, өртөг, гүйцэтгэл, найдвартай байдлыг тэнцвэржүүлсэн материалыг сонгох нь чухал юм.
Нийтэлсэн цаг: 2024 оны 3-р сарын 19