Өндөр нарийвчлалтай үйлдвэрлэл, хэмжилзүйн хатуу ертөнцөд төгс хэвтээ байрлалд хүрэх нь хэлэлцээр хийх боломжгүй юм. Уламжлалт бөмбөлөг түвшин нь секундын доогуур нарийвчлал шаардлагатай үед ихэвчлэн хангалтгүй байдаг. Энэ бол дэвшилтэт хэмжих хэрэгсэл болох Цахим түвшин чухал хэрэгсэл болж байгаа газар юм. Энэ нь хамгийн нарийн машин механизм, багаж хэрэгслийн геометрийн нарийвчлалыг баталгаажуулахад чухал үүрэг гүйцэтгэдэг бөгөөд минутын өнцөг болон хазайлтыг онцгой нарийвчлалтай хэмжих хосгүй чадварыг санал болгодог.
Цахим түвшний цаана байгаа ухаалаг физик
Электрон түвшин нь голчлон хоёр өндөр мэдрэмжтэй физик зарчмаар ажилладаг: индуктив чанар ба багтаамжийн зарчим. Эдгээр багажууд нь загвараасаа хамааран нэг хэмжээст (1D) эсвэл хоёр хэмжээст (2D) хазайлтыг хэмжиж чаддаг.
Индуктив электрон түвшин нь соронзон урсгалын өөрчлөлтөөс хамаардаг. Хэмжиж буй ажлын хэсгийн хазайлтаас болж багажны суурь хазайхад дотоод савлуур буюу мэдрэмтгий масс байрлалаа өөрчилдөг. Энэ хөдөлгөөн нь ойролцоох индукцийн ороомогт харгалзах хүчдэлийн өөрчлөлтийг үүсгэдэг. Энэхүү хүчдэлийн өөрчлөлтийн хэмжээ нь хазайлтын өнцөгт шууд хувирдаг.
Үүний эсрэгээр, багтаамжийн электрон түвшин нь цахилгаан багтаамжийн өөрчлөлтийг ашигладаг. Үүний гол цөмд нарийн утсаар чөлөөтэй өлгөөтэй дугуй дүүжин байрладаг бөгөөд таталцлын нөлөөн дор үрэлтгүй төлөвт үр дүнтэй ажилладаг. Электродууд энэ дүүжингийн хоёр талд байрладаг. Түвшин төгс хэвтээ байрлалд байх үед хоёр талын агаарын зай тэнцүү бөгөөд ингэснээр багтаамжийн утга ижил болно. Ажлын материалын нөлөөгөөр түвшин хазайх үед дүүжин шилжиж, зай хоорондын зай тэгш бус болдог. Зайны энэхүү өөрчлөлт нь багтаамжийн хэмжигдэхүйц зөрүүг бий болгодог бөгөөд үүнийг дараа нь өнцгийн хэмжилт болгон нарийн хөрвүүлдэг.
Өндөр нарийвчлалтай багаж хэрэгслийн хэрэглээ
Электрон түвшин нь өндөр нарийвчлалтай машин хэрэгсэл болон хэмжих хэрэгслийн тэгш байдал болон тэгш байдлыг шалгахад зайлшгүй шаардлагатай. Хэт мэдрэг чанартай тул уг багаж нь системийн нийт гүйцэтгэлд чухал ач холбогдолтой минутын хазайлтыг илрүүлж чаддаг. Үүнийг NC токарь, тээрэмдэх машин, зүсэх төв, координат хэмжих машин (CMM) зэрэг дэвшилтэт машин механизмын суурийн гадаргууг хэмжихэд тогтмол ашигладаг. Өндөр нягтралтай нь хязгаарлагдмал хэмжих хүрээтэй байсан ч (ихэвчлэн ± 25 масштабын хуваагдлыг хөдөлгөх боломжтой гэж тооцоолсон) төхөөрөмж нь машины тохиргооны бүрэн бүтэн байдлыг баталгаажуулж, нарийн, тодорхой налуу хүрээнд нарийвчлалтай хэмжилт хийж чадна гэсэн үг юм.
Хавтгай байдлыг баталгаажуулах үүрэг: Хуссан гадаргуугийн хавтан
Цахим түвшингийн нэг онцгой хүчирхэг хэрэглээ бол хуссан боржин чулуу эсвэл цутгамал төмрийн гадаргуугийн хавтан гэх мэт өндөр нарийвчлалтай лавлах гадаргууг шалгах явдал юм. Цахим түвшин нь гадаргуугийн тэгш байдлыг үнэлэх энгийн боловч гүнзгий нарийвчлалтай аргыг олгодог.
Эдгээр суурийн хавтанг шалгахын тулд электрон түвшинг ашиглах үед гол журмын гол анхаарал нь холбогдох гүүрний (эсвэл хэмжих хэрэгслийн) тохиромжтой уртыг тодорхойлох явдал юм, энэ нь туршиж буй хавтангийн нийт хэмжээнээс хамаарна. Хамгийн чухал нь туршилтын бүх үйл явцын туршид энэхүү гүүрний хөдөлгөөн нь хатуу хоорондоо уялдаа холбоотой, давхцаж байх ёстой. Дараагийн хэмжилтийн цэг бүр өмнөх цэгтэй холбогддог энэхүү нарийн, алхам алхмаар хэмжилтийн арга нь эцсийн тооцоолсон тэгш байдлын утга нь жинхэнэ гадаргуугийн топографид аль болох ойр байхыг баталгаажуулдаг гол хүчин зүйл юм.
Дүгнэлт
Уламжлалт бөмбөлөг түвшингээс нарийн электрон түвшин рүү шилжих хувьсал нь чанарын хяналт, хэмжилзүйн салбарт томоохон дэвшил болж байна. Индукц эсвэл багтаамж гэх мэт үндсэн физикийг ашигласнаар эдгээр хэрэгслүүд нь нарийвчлалтай тоног төхөөрөмжийн суурь тохируулга хамгийн нарийн стандартыг хангаж байгаа эсэхийг баталгаажуулахад шаардлагатай өгөгдлийг өгдөг. Нарийвчлал, бүтээгдэхүүний чанарт зориулагдсан аливаа байгууламжийн хувьд электрон түвшинг ойлгож, хэрэгжүүлэх нь зүгээр нэг шилдэг туршлага биш; энэ нь өрсөлдөөний давуу талыг хадгалах үндсэн шаардлага юм.
Нийтэлсэн цаг: 2025 оны 11-р сарын 21
