Хэт нарийвчлалтай хөдөлгөөний модулийг хэрэглэхэд суурь нь гол тулгуур бүрэлдэхүүн хэсэг болохын хувьд модулийн гүйцэтгэлд шийдвэрлэх үүрэг гүйцэтгэдэг. Боржин чулуун нарийвчлалтай суурь болон цутгамал суурь нь өөрийн гэсэн онцлог шинж чанартай бөгөөд тэдгээрийн хоорондох ялгаа нь илэрхий юм.
I. Тогтвортой байдал
Олон сая жилийн геологийн өөрчлөлтийн дараа боржин чулуу нь дотоод бүтэц нь нягт, жигд бөгөөд голчлон кварц, хээрийн жонш болон бусад эрдэс бодисууд нягт нийлдэг. Энэхүү өвөрмөц бүтэц нь маш сайн тогтвортой байдлыг хангаж, гадны хөндлөнгийн оролцоог үр дүнтэй эсэргүүцэх чадвартай. Электрон чип үйлдвэрлэлийн цехэд захын тоног төхөөрөмж байнга ажилладаг бөгөөд боржин чулуун суурь нь агаарын хөвөгч рүү дамжуулсан хэт нарийвчлалтай хөдөлгөөний модулийн чичиргээний далайцыг 80%-иас дээш бууруулж, модулийн жигд хөдөлгөөнийг хангаж, чип үйлдвэрлэлийн литографи, сийлбэр зэрэг өндөр нарийвчлалтай процессуудын бат бөх баталгааг өгдөг.
Хэдийгээр цутгах суурь нь тодорхой хэмжээгээр чичиргээг буферлаж чаддаг ч цутгах явцад элсний нүх, нүх сүв зэрэг зарим согог гарч болзошгүй бөгөөд энэ нь бүтцийн жигд байдал, тогтвортой байдлыг бууруулдаг. Өндөр давтамжтай болон өндөр бат бэх чичиргээний өмнө чичиргээг сулруулах чадвар нь боржин чулуун суурь шиг сайн биш тул агаарын хөвөгч төхөөрөмжийн хэт нарийвчлалтай хөдөлгөөний модулийн хөдөлгөөний тогтвортой байдал муудаж, тоног төхөөрөмжийн боловсруулалт болон илрүүлэлтийн нарийвчлалд нөлөөлдөг.
Хоёрдугаарт, нарийвчлалыг хадгалах
Боржин чулуун дулааны тэлэлтийн коэффициент нь маш бага бөгөөд ерөнхийдөө 5-7 × 10⁻⁶/℃ температурын хэлбэлзлийн орчинд хэмжээний өөрчлөлт хамгийн бага байдаг. Одон орон судлалын салбарт дурангийн линзийг нарийн тохируулах хэт нарийвчлалтай хөдөлгөөний модулийг боржин чулуун суурьтай хослуулсан бөгөөд өдөр шөнийн температурын зөрүү их байсан ч линзийн байрлалын нарийвчлалыг микроноос доош түвшинд байлгаж, одон орон судлаачдад алслагдсан тэнгэрийн биетүүдийг тодорхой ажиглахад тусалдаг.
Цутгамал төмөр гэх мэт металл материалыг цутгах суурийн дулааны тэлэлтийн коэффициент харьцангуй өндөр, ойролцоогоор 10-20 × 10⁻⁶/℃ байдаг. Температур өөрчлөгдөхөд хэмжээ нь илт өөрчлөгддөг бөгөөд энэ нь агаарын хөвөгч хэт нарийвчлалтай хөдөлгөөний модулийн дулааны деформацид амархан хүргэж, хөдөлгөөний нарийвчлал буурахад хүргэдэг. Температурт мэдрэмтгий оптик линз нунтаглах процесст температурын нөлөөн дор цутгамал суурийн деформаци нь линз нунтаглах нарийвчлал зөвшөөрөгдөх хэмжээнээс хэтэрч, линзний чанарт нөлөөлж болзошгүй юм.
Гуравдугаарт, элэгдэлд тэсвэртэй
Боржин чулуун хатуулаг өндөр, Мохсын хатуулаг 6-7 хүрч чаддаг, элэгдэлд тэсвэртэй. Материалын шинжлэх ухааны лабораторид байнга ашиглагддаг агаарын хөвөгч хэт нарийвчлалтай хөдөлгөөнт модуль болох боржин чулуун суурь нь ердийн цутгамал суурьтай харьцуулахад агаарын хөвөгч гулсагчийн үрэлтийг үр дүнтэй эсэргүүцэж, модулийн засвар үйлчилгээний мөчлөгийг 50%-иас дээш хувиар сунгаж, тоног төхөөрөмжийн засвар үйлчилгээний зардлыг бууруулж, шинжлэх ухааны судалгааны ажлын тасралтгүй байдлыг хангаж чаддаг.
Хэрэв цутгах суурь нь ердийн металл материалаар хийгдсэн бол хатуулаг нь харьцангуй бага бөгөөд агаарын хөвөгч гулсагчийн урт хугацааны харилцан үрэлтийн дор гадаргуу нь элэгдэхэд хялбар байдаг бөгөөд энэ нь агаарын хөвөгч гулсагчийн хэт нарийвчлалтай хөдөлгөөний модулийн хөдөлгөөний нарийвчлал, жигд байдалд нөлөөлж, илүү олон удаа засвар үйлчилгээ, солих шаардлагатай болж, ашиглалтын зардал болон зогсолтын хугацааг нэмэгдүүлдэг.
Дөрөвдүгээрт, үйлдвэрлэлийн өртөг ба боловсруулалтын хүндрэл
Боржин чулуун түүхий эдийг олж авах зардал өндөр, олборлолт, тээвэрлэлтийн нарийн төвөгтэй байдал, боловсруулалт нь өндөр нарийвчлалтай зүсэх, нунтаглах, өнгөлөх гэх мэт мэргэжлийн тоног төхөөрөмж, технологи шаарддаг бөгөөд үйлдвэрлэлийн өртөг өндөр байдаг. Мөн өндөр хатуулаг, хэврэгшил, боловсруулалтын хүндрэл, ирмэг нь амархан нурах, хагарах болон бусад согогтой тул хаягдлын хэмжээ өндөр байдаг.
Цутгах суурь түүхий эдийг өргөнөөр ашигладаг, өртөг нь харьцангуй бага, цутгах үйл явц нь боловсорсон, боловсруулахад бэрхшээл багатай, хэвээр дамжуулан массын үйлдвэрлэлийг хийж болох бөгөөд үйлдвэрлэлийн өндөр үр ашиг, хяналттай өртөгтэй байдаг. Гэсэн хэдий ч боржин чулуун суурьтай адил өндөр нарийвчлал, тогтвортой байдалд хүрэхийн тулд цутгах үйл явц болон боловсруулалтын дараах шаардлага маш хатуу бөгөөд өртөг нь мөн мэдэгдэхүйц нэмэгдэх болно.
Товчхондоо, боржин чулуун нарийвчлалтай суурь нь өндөр нарийвчлал, тогтвортой байдал, элэгдэлд тэсвэртэй хэт нарийвчлалтай хөдөлгөөнт модулиудын хэрэглээний нөхцөлд мэдэгдэхүйц давуу талтай. Цутгамал суурь нь өртөг болон боловсруулалтын хялбар байдлын хувьд тодорхой давуу талтай бөгөөд нарийвчлалын шаардлага харьцангуй бага, өртгийн үр ашгийг эрэлхийлж буй тохиолдолд тохиромжтой.
Нийтэлсэн цаг: 2025 оны 4-р сарын 8