Өндөр зэрэглэлийн үйлдвэрлэл болон дэвшилтэт шинжлэх ухааны судалгааны салбарт нарийвчлалтай статик даралттай агаарын хөвөгч хөдөлгөөнт платформ нь хэт нарийвчлалтай ажиллагааг хангах гол тоног төхөөрөмж юм. Боржин чулуун нарийвчлалтай суурь нь платформын гол тулгуур хэсэг бөгөөд түүний гүйцэтгэл нь ажлын орчинтой нягт холбоотой байдаг. Эдгээр байгаль орчны шаардлагыг ойлгож, хангах нь зөвхөн платформын өндөр нарийвчлалтай ажиллагааг хангахаас гадна аж ахуйн нэгжийн холбогдох салбарт өрсөлдөх чадварыг дээшлүүлэх чухал хэсэг бөгөөд үүнийг доор дэлгэрэнгүй тайлбарласан болно.
1. Температур: хэмжээст тогтвортой байдлыг хангахын тулд нарийн хяналт
Боржин чулуу нь тогтвортой байдгаараа алдартай боловч дулааны тэлэлтийн коэффициент нь тэг биш бөгөөд температурын бага зэргийн өөрчлөлт нь хэмжээст нарийвчлалд нөлөөлж болзошгүй юм. Ерөнхийдөө боржин чулууны дулааны тэлэлтийн коэффициент нь 5-7 × 10⁻⁶/℃ юм. Нарийвчлалтай статик даралттай агаарын хөвөгч хөдөлгөөнт платформын хэрэглээний хувилбарт энэхүү бага зэргийн өөрчлөлт нь платформоор нэмэгдэж, хөдөлгөөний нарийвчлалын хазайлтад хүргэж болзошгүй юм. Жишээлбэл, хагас дамжуулагч чип үйлдвэрлэх процесст литографийн процессын байрлалын нарийвчлалын шаардлага нь данами түвшин, орчны температурын хэлбэлзэл 1°C, 1 метрийн боржин чулуун суурийн хажуугийн урт нь 5-7 микрон шугаман тэлэлт эсвэл агшилт үүсгэж болзошгүй бөгөөд энэ нь чип литографийн хэв маягийн хазайлтыг бий болгож, ургацыг бууруулахад хангалттай юм. Тиймээс, боржин чулуун суурьтай, нарийвчлалтай статик даралттай агаарын хөвөгч тавцан нь хамгийн тохиромжтой ажлын орчны температурыг 20°C ±1°C-д хатуу хянаж байх ёстой бөгөөд аж ахуйн нэгжүүд өндөр нарийвчлалтай тогтмол температуртай агааржуулагчийн системийг суурилуулж, орчны температурыг тасралтгүй хянаж, нарийн тохируулж, боржин чулуун суурийн хэмжээг тогтвортой байлгаж, тавцангийн өндөр нарийвчлалтай ажиллагааг хангах боломжтой.
2. Чийгшил: боломжийн хяналт, суурь гүйцэтгэлийг хамгаалах
Чийгшил нь нарийн боржин чулуун сууринд мэдэгдэхүйц нөлөө үзүүлдэг. Өндөр чийгшилтэй орчинд боржин чулуу нь усны уурыг амархан шингээдэг бөгөөд гадаргуу дээр конденсац үүсч болзошгүй бөгөөд энэ нь зөвхөн агаарын хөвүүлэлтийн системийн хэвийн ажиллагаанд саад учруулахаас гадна боржин чулуун гадаргууг удаан хугацаанд элэгдэлд оруулж, нарийвчлал болон ашиглалтын хугацааг бууруулдаг. Оптик линз нунтаглах цехийн жишээг авч үзвэл, хэрэв чийгшил удаан хугацаанд 60%-иас дээш байвал боржин чулуун суурийн гадаргуу дээр шингэсэн усны уур нь агаарын хөвөгч хальсны жигд байдлыг алдагдуулж, улмаар линз нунтаглах нарийвчлал буурч, гадаргуугийн согог үүсдэг. Тиймээс ажлын орчны харьцангуй чийгшлийг 40%-60%-ийн хооронд хянах шаардлагатай. Аж ахуйн нэгжүүд чийгшлийг бодит цаг хугацаанд хянаж, хянахын тулд чийгшүүлэгч, чийгшлийн мэдрэгч болон бусад тоног төхөөрөмжийг ашиглаж, нарийн боржин чулуун суурийн тохиромжтой чийгшлийн орчинг бүрдүүлж, нарийн статик даралттай агаарын хөвөгч хөдөлгөөний тавцангийн тогтвортой ажиллагааг хангаж чадна.
3. цэвэр байдал: хатуу хяналт, бөөмийн хөндлөнгийн оролцоог арилгах
Тоосны хэсгүүд нь нарийвчлалтай статик даралттай агаарын хөвөгч хөдөлгөөнт тавцангийн "дайсан" бөгөөд боржин чулуун нарийвчлалтай сууринд ихээхэн хор хөнөөл учруулдаг. Жижиг хэсгүүд нь хийн хөвөгч гулсагч болон боржин чулуун суурийн хоорондох хийн хальсны зайд орсны дараа хийн хальсны жигд байдлыг алдагдуулж, үрэлтийг нэмэгдүүлж, тэр ч байтугай суурийн гадаргууг зурж, тавцангийн хөдөлгөөний нарийвчлалд ноцтой нөлөөлж болзошгүй юм. Агаарын тээврийн эд ангиудын хэт нарийвчлалтай боловсруулах цехэд агаарт байгаа тоосны хэсгүүд боржин чулуун суурь дээр унавал боловсруулах хэрэгслийн хөдөлгөөний чиглэл хазайж, эд ангийн боловсруулалтын нарийвчлалд нөлөөлж болзошгүй юм. Тиймээс ажлын талбайг маш цэвэр байлгаж, 10,000 ба түүнээс дээш цэвэр байдлын стандартад хүрэх ёстой. Аж ахуйн нэгжүүд өндөр үр ашигтай агаарын шүүлтүүр (HEPA) суурилуулснаар агаарт байгаа тоосны хэсгүүдийг шүүж, хүмүүсийн авчирсан тоосыг багасгах, боржин чулуун суурь болон нарийвчлалтай статик даралттай агаарын хөвөгч хөдөлгөөнт тавцангийн өндөр нарийвчлалтай ажиллах орчныг хадгалахын тулд ажилтнуудаас тоосгүй хувцас, гутлын нөмрөг гэх мэтийг өмсөхийг шаардаж болно.
4. Чичиргээ: Гөлгөр орон зайг бий болгох үр дүнтэй тусгаарлалт
Гадны чичиргээ нь нарийвчлалтай статик даралттай агаарын хөвөгч тавцангийн нарийвчлалд ноцтой саад учруулна, гэхдээ нарийвчлалтай боржин чулуун суурь нь тодорхой чичиргээг сулруулах чадвартай боловч өндөр бат бэх чичиргээ нь түүний буферийн хязгаарыг эвдэж болзошгүй юм. Үйлдвэрийн эргэн тойрон дахь хөдөлгөөн болон том механик тоног төхөөрөмжийн ажиллагааны улмаас үүссэн чичиргээ нь газардуулснаар боржин чулуун суурь руу дамждаг бөгөөд энэ нь тавцангийн хөдөлгөөний нарийвчлалд саад учруулна. Өндөр зэрэглэлийн CMM-д чичиргээ нь хэмжих датчик болон хэмжих ажлын хэсгийн хоорондох холбоог тогтворгүй болгож, хэмжилтийн өгөгдлийн хазайлтыг үүсгэж болзошгүй. Энэ асуудлыг шийдэхийн тулд тоног төхөөрөмжийн суурилуулалтын хэсэгт чичиргээ тусгаарлах дэвсгэр тавих, чичиргээ тусгаарлах суурийг барих эсвэл гадаад чичиргээг идэвхтэй нөхөхийн тулд идэвхтэй чичиргээ тусгаарлах системийг ашиглах, боржин чулуун нарийвчлалтай суурь болон нарийвчлалтай статик даралттай агаарын хөвөгч хөдөлгөөний тавцангийн чимээгүй, тогтвортой ажиллах орчныг бүрдүүлэх зэрэг үр дүнтэй чичиргээ тусгаарлах арга хэмжээг авах шаардлагатай.
Дээрх байгаль орчны шаардлагыг хангасан байхын тулд нарийн статик даралттай агаарын хөвөгч хөдөлгөөнт платформ дахь боржин чулуун нарийвчлалын суурийн давуу талыг бүрэн ашиглах, янз бүрийн салбарт өндөр нарийвчлалтай, өндөр тогтвортой хөдөлгөөн хянах үйлчилгээ үзүүлэхийг баталгаажуулах. Хэрэв аж ахуйн нэгжүүд үйлдвэрлэлийн орчинд эдгээр нарийн ширийн зүйлийг анхаарч чадвал нарийн үйлдвэрлэл, шинжлэх ухааны судалгаа болон бусад салбарт боломжийг ашиглаж, өрсөлдөх чадвараа нэмэгдүүлж, тогтвортой хөгжилд хүрэх болно.
Нийтэлсэн цаг: 2025 оны 4-р сарын 10