Хагас дамжуулагч үйлдвэрлэл: Чип үйлдвэрлэх процесст фотолитографийн процесс нь хэлхээний хэв маягийг вафер руу нарийн шилжүүлэх шаардлагатай. Нэг тэнхлэгтэй агаарын хөвөгч хэт нарийвчлалтай хөдөлгөөний модулийн боржин чулуун суурь нь литографийн тоног төхөөрөмжид ваферийн ширээг өндөр нарийвчлалтай байрлуулж, тогтвортой тулгуур өгч чадна. Жишээлбэл, ASML болон бусад олон улсад нэр хүндтэй литографийн машин үйлдвэрлэгчид өндөр зэрэглэлийн тоног төхөөрөмждөө боржин чулуун суурьтай агаарын хөвөгч хөдөлгөөний модулиудыг ашигладаг бөгөөд энэ нь ваферийн байрлалын нарийвчлалыг нанометрийн түвшинд хянаж, литографийн хэв маягийн нарийвчлалыг баталгаажуулж, улмаар чипийн интеграци болон гүйцэтгэлийг сайжруулж чаддаг.
Нарийвчлалын хэмжилтийн талбар: CMM нь үйлдвэрлэлийн үйлдвэрлэлд түгээмэл хэрэглэгддэг нарийвчлалын хэмжилтийн төхөөрөмж бөгөөд ажлын хэсгийн хэмжээ, хэлбэр, байрлалын нарийвчлалыг хэмжихэд ашиглагддаг. Боржин чулуун суурь дээрх нэг тэнхлэгтэй агаарын хөвөгч төхөөрөмжийн хэт нарийвчлалтай хөдөлгөөний модулийг CMM-ийн хөдөлгөөний тавцан болгон ашиглаж болох бөгөөд энэ нь өндөр нарийвчлалтай шугаман хөдөлгөөнийг бий болгож, хэмжих датчикийн тогтвортой хөдөлгөөний траекторыг хангаж чадна. Жишээлбэл, Hexagon-ийн өндөр зэрэглэлийн CMM нь энэхүү хослолыг ашиглан том, нарийн төвөгтэй эд ангиудыг микрон хүртэлх хэмжилтийн нарийвчлалтайгаар хэмжиж, автомашин, сансар судлал болон бусад салбарт эд ангийн чанарын хяналтыг хүчтэй баталгаажуулдаг.
Агаарын орон зайн салбар: Агаарын орон зайн эд ангиудыг боловсруулах, турших явцад өндөр нарийвчлал шаардлагатай. Жишээлбэл, нисэх онгоцны хөдөлгүүрийн ирийг боловсруулахад ирний профайлын нарийвчлалыг хангахын тулд багажны хөдөлгөөний траекторыг нарийн хянах шаардлагатай. Нэг тэнхлэгтэй агаарын хөвөгч хэт нарийвчлалтай хөдөлгөөний модулийн боржин чулуун суурийг таван тэнхлэгтэй боловсруулах төв болон бусад тоног төхөөрөмжид хэрэглэж, багажны өндөр нарийвчлалтай хөдөлгөөний хяналтыг хангаж, ирний боловсруулалтын нарийвчлал нь дизайны шаардлагыг хангаж чадна. Үүний зэрэгцээ, агаарын хөдөлгүүрийг угсрах явцад эд ангиудын угсралтын нарийвчлалыг илрүүлэхийн тулд өндөр нарийвчлалтай хэмжих төхөөрөмжийг ашиглах шаардлагатай. Боржин чулуун суурийн агаарын хөвөгч хөдөлгөөний модуль нь угсралтын чанарыг хангахын тулд хэмжих төхөөрөмжийг тогтвортой тулгуур, нарийвчлалтай хөдөлгөөнөөр хангаж чадна.
Оптик үзлэгийн талбар: Оптик эд анги үйлдвэрлэх, турших процесст оптик эд ангиудыг өндөр нарийвчлалтай байрлуулах, хэмжих шаардлагатай. Жишээлбэл, толь, линз зэрэг өндөр нарийвчлалтай оптик эд ангиудыг үйлдвэрлэхдээ гадаргуугийн хэлбэрийн нарийвчлалыг илрүүлэхийн тулд интерферометр болон бусад тоног төхөөрөмжийг ашиглах шаардлагатай. Нэг тэнхлэгтэй агаарын хөвөгч хэт нарийвчлалтай хөдөлгөөний модулийн боржин чулуун суурийг интерферометрийн хөдөлгөөний тавцан болгон ашиглаж болох бөгөөд энэ нь микроноос доош байрлалын нарийвчлалыг бий болгож, оптик эд ангиудыг илрүүлэхэд нарийвчлалтай өгөгдлийн дэмжлэг үзүүлэх боломжтой. Үүнээс гадна, лазер боловсруулах төхөөрөмжид лазер туяаны сканнердах траекторийг хянахын тулд өндөр нарийвчлалтай хөдөлгөөний тавцан ашиглах шаардлагатай бөгөөд агаарын хөвөгч хөдөлгөөний модулийн боржин чулуун суурь нь энэ шаардлагыг хангаж, өндөр нарийвчлалтай лазер боловсруулалт хийх боломжтой.
Нийтэлсэн цаг: 2025 оны 4-р сарын 7