Нарийвчлалтай үйлдвэрлэл болон шинжлэх ухааны судалгааны тэргүүлэх чиглэлд алдааны ул мөр бүр нээлт хийхээс сэргийлдэг "саад тотгор" болж болзошгүй юм. Өндөр нарийвчлалтай хөдөлгөөний хяналтыг бий болгох гол тоног төхөөрөмж болохын хувьд нарийвчлалтай статик даралттай агаарын хөвөгч хөдөлгөөнт платформын гүйцэтгэл нь үр дүнгийн чанар, амжилтаас шууд хамаардаг. Олон нөлөөллийн хүчин зүйлсийн дунд хосгүй шинж чанартай боржин чулуун суурь нь платформын маш сайн гүйцэтгэлийг хангах гол элемент болсон.
Боржин чулуу нь сая сая жилийн геологийн өөрчлөлтийн дараа хатуурсан бөгөөд дотоод бүтэц нь нягт, нэгэн жигд бөгөөд голчлон кварц, хээрийн жонш болон бусад эрдэс бодисууд хоорондоо нягт уялдаатай байдаг. Байгалийн жамаар үүссэн энэхүү өвөрмөц бүтэц нь боржин чулуун сууринд хэд хэдэн гайхалтай шинж чанарыг өгдөг.
Гадны хөндлөнгийн оролцооноос тусгаарлагдсан, маш тогтвортой
Гаднах орчны чичиргээ нь нарийвчлалтай статик даралттай агаарын хөвөгч тавцангийн нарийвчлалын дайсан юм. Үйлдвэрийн талбай болон түүний ойр орчмын хөдөлгөөнд том машин механизм, тоног төхөөрөмжийн ажиллагаанаас үүссэн чичиргээ нь газар луу дамжин хөдөлж буй тавцан руу дамжуулж болно. Гэсэн хэдий ч боржин чулуун суурь нь бат бөх "газар хөдлөлтөд тэсвэртэй цайз" шиг юм. Түүний нарийн төвөгтэй болор бүтэц нь чичиргээг үр дүнтэй хааж, сулруулж чаддаг бөгөөд практик туршилтаар дамжуулан тавцан руу дамжуулсан чичиргээний далайцыг 80 гаруй хувиар бууруулж болно. Хагас дамжуулагч чип үйлдвэрлэх цехэд фотолитографийн процесс нь нанометрийн түвшинд хүрэхийн тулд байрлалын нарийвчлалыг шаарддаг бөгөөд боржин чулуун суурийн тулгууртай нарийвчлалтай статик даралттай агаарын хөвөгч хөдөлгөөнт тавцан нь чип литографийн тоног төхөөрөмжийн нарийн төвөгтэй чичиргээний орчинд тогтвортой ажиллагааг хангаж, хэлхээний хэв маягийн сийлбэрийг үнэн зөв хийж, чип үйлдвэрлэлийн гарцыг эрс сайжруулж чадна.
Дулааны тогтвортой байдал сайн, температурын өөрчлөлтөөс айдаггүй
Температурын хэлбэлзэл нь олон материалыг тэлж, агшихад хүргэдэг бөгөөд энэ нь тоног төхөөрөмжийн нарийвчлалд нөлөөлнө. Гэсэн хэдий ч боржин чулуун суурь нь ер бусын дулааны тогтвортой байдлыг харуулдаг бөгөөд дулааны тэлэлтийн коэффициент нь маш бага, ерөнхийдөө 5-7 × 10⁻⁶/℃ байдаг. Одон орон судлалын салбарт том дурангийн линзийг нарийн тохируулахад ашигладаг нарийвчлалтай статик даралттай агаарын хөвөгч хөдөлгөөнт платформ нь өдөр шөнийн температурын зөрүү огцом өөрчлөгдсөн ч гэсэн боржин чулуун суурьтай тул линзийн байршлын нарийвчлалыг микроноос доош түвшинд хадгалах боломжийг олгодог бөгөөд одон орон судлаачдад алслагдсан тэнгэрийн биетүүдийн нарийн өөрчлөлтийг тодорхой барьж, гүн ертөнцийн нууцыг судлахад тусалдаг.
Урт хугацааны хэрэглээг хангахын тулд өндөр хатуулаг, элэгдэлд тэсвэртэй
Нарийвчлалтай статик даралттай агаарын хөвөгч тавцангийн урт хугацааны туршид тавцан болон суурийн хооронд агаар хөвөгч тулгуур байгаа ч тодорхой хэмжээний үрэлт байсаар байна. Боржин чулуун хатуулаг өндөр, Мохсын хатуулаг нь 6-7 хүрч, элэгдэлд тэсвэртэй. Материалын шинжлэх ухааны лабораторид байнга ашиглагддаг нарийн статик даралттай агаарын хөвөгч хөдөлгөөнт тавцан бөгөөд түүний боржин чулуун суурь нь ердийн суурьтай харьцуулахад урт хугацааны үрэлтийн алдагдлыг үр дүнтэй эсэргүүцэж, тавцангийн засвар үйлчилгээний мөчлөгийг 50%-иас дээш хувиар сунгаж, тоног төхөөрөмжийн засвар үйлчилгээний зардлыг бууруулж, шинжлэх ухааны судалгааны ажлын тасралтгүй байдлыг хангаж чадна.
Нарийвчлалтай статик даралттай агаарын хөвөгч хөдөлгөөнт тавцангийн хувьд боржин чулуун суурийг сонгох нь нарийвчлал, тогтвортой байдал, бат бөх чанарыг эрэлхийлэх эцсийн зорилго юм. Хагас дамжуулагч үйлдвэрлэл, оптик багаж хэрэгсэл үйлдвэрлэл, сансар судлал, шинжлэх ухааны судалгаа, туршилтын салбарт бараг хатуу нарийвчлал шаарддаг тул боржин чулуун сууриар дэмжигдсэн нарийвчлалтай статик даралттай агаарын хөвөгч хөдөлгөөнт тавцан нь орлуулшгүй гол үүрэг гүйцэтгэж, янз бүрийн салбарын өндөр нарийвчлал руу чиглэсэн хөгжлийг дэмжиж байна.
Нийтэлсэн цаг: 2025 оны 4-р сарын 9