Хэт нарийвчлалтай тоног төхөөрөмжийн хувьд нарийвчлалын саад бэрхшээл нь ихэвчлэн боловсруулалтын алгоритм эсвэл оптик бүрэлдэхүүн хэсгүүдээс бус, харин байнгын бичил чичиргээнээс үүдэлтэй байдаг. Шугаман моторын өндөр хурдны харилцан үйлчлэл, дамжуулах механизмыг эхлүүлэх-зогсоох болон эргэн тойрны цехийн тоног төхөөрөмжийн ажиллагаанаас үүдэлтэй нарийн чичиргээ нь машины хүрээний дагуу хяналтын гадаргуу руу дамжуулж, хэмжилтийн алдааг нэмэгдүүлж, дүрслэл, байршил, хяналтын үр дүнгийн давтагдах байдлыг бууруулдаг. Гаднах чичиргээ тусгаарлах хүснэгтээс гадна нанометрийн түвшний жишиг үзүүлэлтүүдийг хадгалахын тулд тоног төхөөрөмжийн суурь хүрээний материал нь чичиргээг бууруулах хамгаалалтын эхний шугам болж үйлчилдэг. Нарийвчлалтай боржин чулуун бүрэлдэхүүн хэсгүүдийн нэг гол үнэ цэнэ нь материалын дотоод бүтцийн ачаар чичиргээний хөндлөнгийн оролцоог шууд бууруулах явдал юм.
Чичиргээний дамжуулалт нь үндсэндээ энергийн дамжуулалт ба резонансын олшруулалт юм. Металл суурь нь өндөр уян харимхай модультай; чичиргээний долгион нь тэдгээрийн дотор хурдан тархдаг. Өдөөлтийн давтамж нь хүрээний байгалийн давтамжтай тохирсны дараа резонанс амархан үүсч, жижиг чичиргээ тасралтгүй өсдөг. Гаднах чичиргээний намсгагч дэвсгэр суурилуулсан ч гэсэн тэдгээр нь газраас бага давтамжийн чичиргээний зөвхөн хэсгийг тусгаарлаж чаддаг. Тоног төхөөрөмжийн өөрийн хөдөлгөөнөөс үүссэн дотоод чичиргээ нь металл бүтцэд дахин дахин тусч, лавлах гадаргуугийн тогтвортой байдлыг тасралтгүй алдагдуулдаг.
Аж үйлдвэрийн хар боржин чулуу нь нягт хоорондоо холбогдсон талстууд болон төрөлхийн өндөр чийгшүүлэгч бичил бүтэцтэй. Чичиргээний энерги чулуун массивт ороход нягт талст интерфейсүүд нь чичиргээний кинетик энергийг тасралтгүй хэрэглэж, чичиргээний энергийг тархалтын хамгийн бага дулаан болгон хувиргаж, далайцыг хурдан сулруулж, чичиргээ болон резонансын тасралтгүй давхцал үүсэхээс сэргийлдэг. Энэхүү материалын төрөлхийн чийгшүүлэгч шинж чанар нь төрөлхийн шинж чанар бөгөөд цаг хугацааны явцад хөгширч, эвдэрдэг резин, хөөс зэрэг гадаад чичиргээ бууруулах материалаас ялгаатай нь тоног төхөөрөмжийн урт хугацааны үйлчилгээтэй хамт доройтохгүй.
Чичиргээг намсгах чадвар нь чулуун төрлүүдийн хооронд эрс ялгаатай байдаг. Гантиг нь сул талсттай, дотор талын нүх сүв элбэг, жигд бус бүтэцтэй тул чичиргээг сулруулах чадвар хязгаарлагдмал бөгөөд өндөр давтамжийн бичил чичиргээг бараг дардаггүй. ZHHIMG нь 3100кг/м³ хүртэл нягтралтай өндөр нягтралтай хар боржин чулууг ашигладаг. Энэ нь жигд байрлуулсан дотоод талстуудтай. Түүхий блокууд нь далд хагаралгүйгээр удаан хугацааны хөгшрөлтийн боловсруулалтанд ордог. Нэгдсэн цул боржин чулуун эд ангиудыг тоног төхөөрөмжийн лавлах суурь, гантри дам нуруу, агаар агуулсан тавцангийн суурь болгон шууд ашиглаж болно. Тэд тархсаны дараа чичиргээг идэвхгүй тусгаарлахын оронд чичиргээ үүсгэх эх үүсвэр дээр чичиргээний энергийг шингээдэг. 
Энэхүү төрөлхийн чичиргээг бууруулах давуу тал нь өндөр давтамжийн нарийвчлалын хувилбаруудад гайхалтай үнэ цэнийг өгдөг. Фемтосекунд болон пикосекунд лазер боловсруулалт, AOI оптик үзлэг, рентген туяаны согог илрүүлэлт, хагас дамжуулагч ваферийн үзлэг, координат хэмжих машинууд нь бичил чичиргээнд маш мэдрэмтгий байдаг. Хэдэн арван нанометрийн чичиргээ ч гэсэн дүрслэлийг бүдгэрүүлэх, байрлалын офсет болон хяналтын өгөгдөл хэлбэлзэхэд хүргэдэг. Боржин чулуун лавлах бүрэлдэхүүн хэсгүүдээр тоноглогдсон тул тоног төхөөрөмжийн өөрийн хөдөлгөөнөөс үүссэн чичиргээ нь хэмжилтийн ажлын гадаргуу дээр хүрэхээс өмнө ихээхэн буурдаг. Олон тооны нарийн төвөгтэй чичиргээ бууруулах угсралтыг давхарлах шаардлагагүй бөгөөд энэ нь машины нийт бүтцийг хялбаршуулж, тоног төхөөрөмжийн урт хугацааны үйл ажиллагааны тогтвортой байдлыг сайжруулдаг.
Объектив байдлаар хэлэхэд, боржин чулуун чичиргээ дарах чадвар нь бүхнийг чадагч биш юм. Энэ нь тоног төхөөрөмжийн дотор үүссэн дунд болон өндөр давтамжийн бичил чичиргээг шингээхдээ маш сайн. Гадны эх үүсвэрээс үүсэх хүчтэй цохилтын чичиргээний хувьд мэргэжлийн чичиргээний эсрэг суваг, цочрол шингээгч суурь зэрэг гадаад бүтэцтэй зохицсон хамгаалалт шаардлагатай хэвээр байна. Тогтмол температурын цех барихдаа ZHHIMG нь бие даасан чичиргээний эсрэг сувагны загварыг хэрэгжүүлж, боржин чулуун эд ангиудын дотоод чийгшүүлэгчтэй хамт дотоод болон гадаад чичиргээ бууруулах хос системийг бий болгож, жишиг нарийвчлалыг хамгийн их байлгахын тулд боржин чулуун эд ангиудын дотоод чийгшүүлэлтийг ашигладаг.
Товчхондоо, нарийн боржин чулуун эд ангиуд нь зөвхөн ачаалал даах суурь биш, харин чичиргээ дарах чадвартай жишиг тээвэрлэгч юм. Материалын өндөр чийгшүүлэх шинж чанарт тулгуурлан тэдгээр нь тоног төхөөрөмжийг ажиллуулах явцад эх үүсвэрээс үүсэх чичиргээний хөндлөнгийн оролцоог сулруулж, хэмжилт болон байршлын жишигт нөлөөлөх байдлыг бууруулж, хэт нарийвчлалтай тоног төхөөрөмжийг микрон болон тэр ч байтугай нанометрийн ажлын нарийвчлалыг тогтвортой байлгахад тусалдаг. Энэ нь тэдгээрийг өндөр зэрэглэлийн хэмжил зүй, хагас дамжуулагч болон лазер тоног төхөөрөмжид тасралтгүй сонгож байгаагийн гол шалтгаан юм.
Нийтэлсэн цаг: 2026 оны 9-р сарын 14