Хагас дамжуулагчийн үйлдвэрлэл 2 нм-ээс доош хэмжээтэй процессын зангилааг эрчимтэй эрэлхийлж байгаа тул механик алдааны хязгаар бараг алга болсон. Энэхүү өндөр эрсдэлтэй орчинд процессын камерын тогтвортой байдал нь хоёрдогч асуудал байхаа больсон; энэ нь гарцын гол саад тотгор юм. ZHHIMG дээр бид дэлхийн OEM-үүд хагас дамжуулагчийн үндсэн тоног төхөөрөмжийн бүтцийн бүрэн бүтэн байдалд хэрхэн ханддаг талаар үндсэн өөрчлөлтийг ажиглаж байна.
Чимээгүй байдлын физик: Дэвшилтэт чичиргээг намсгах аргууд
Орчин үеийн хавтангийн үйлдвэрлэлд нэгэн цагт "суурь чимээ" гэж тооцогддог байсан чичиргээ одоо гамшигт үзэгдэл болжээ. Байгууламжийн HVAC системээс үүсэх бичил хэлбэлзэл эсвэл өндөр хурдтай сканнердах шатны дотоод инерци байсан ч хяналтгүй энерги нь давхардлын алдаа болон бүдгэрсэн хэв маягт шууд нөлөөлдөг.
Хагас дамжуулагч үйлдвэрлэлийн одоогийн чичиргээг намсгах аргууд нь олон давхаргат архитектур болж хөгжсөн. Ашигт малтмалын цутгамал эсвэл нарийн боржин чулуу зэрэг өндөр масстай материалыг ашигладаг идэвхгүй намсгах нь үндэс суурь хэвээр байгаа ч идэвхтэй намсгах интеграцчлал огцом нэмэгдэж байгааг бид харж байна.
Идэвхтэй системүүд нь пьезоэлектрик идэвхжүүлэгч болон бодит цагийн мэдрэгчийг ашиглан эсрэг давтамж үүсгэх замаар чичиргээг "цуцалдаг". Гэсэн хэдий ч идэвхтэй системийн үр нөлөө нь үндсэн материалын чийгшүүлэх харьцаагаар хязгаарлагддаг. Энэ бол ZHHIMG-ийн өндөр чийгшүүлэгч бүтцийн материалын чиглэлээр мэргэшсэн байдал чухал ач холбогдолтой газар юм. Идэвхтэй электроникийг байгалийн идэвхгүй боржин чулуу эсвэл нийлмэл суурьтай хослуулснаар бид нано байрлалыг хөндлөнгийн оролцоогүйгээр хийх боломжтой "Чимээгүй бүс"-ийг бий болгодог.
Үрэлтгүй хөдөлгөөний өсөлт: Агаарын холхивчийн технологи
Илүү өндөр хүчин чадалтай байх эрэлт хэрэгцээ нь уламжлалт механик холхивчийг хязгаарт хүргэсэн. Үрэлт нь халуунд хүргэдэг бол дулаан нь дулааны тэлэлтэд хүргэдэг бөгөөд энэ нь нарийвчлалын дайсан юм. Энэ нь өргөн хэрэглээнд хүргэсэнНарийвчлалтай шат дамжлагын агаарын даацын технологи.
Агаарын холхивч нь даралттай агаарын нимгэн хальсан дээрх ачааллыг даах чадвартай бөгөөд энэ нь ихэвчлэн хэдхэн микрон зузаантай байдаг. Физик холбоо байхгүй тул статик үрэлт (наалдац) тэг байдаг. Энэ нь дараахь зүйлийг хийх боломжийг олгодог:
-
Гистерезисгүй хөдөлгөөн: Үе шат нь үргэлж яг ижил нанометрийн координат руу буцаж ирэхийг баталгаажуулах.
-
Хурдны тогтмол байдал: Механик холхивчийн бага зэрэг "араатай" хөдөлгөөн ч гэсэн зургийг гажуудуулж болзошгүй цахилгаан цацрагийн үзлэг гэх мэт сканнердах хэрэглээнд чухал ач холбогдолтой.
-
Маш удаан эдэлгээтэй: Хүрэлцэх эд анги байхгүй тул элэгдэлд орохгүй, тоосонцор үүсэхгүй тул 1-р зэрэглэлийн цэвэр өрөөний орчинд тохиромжтой.
ZHHIMG дээр бид эдгээр агаарын холхивчийн чиглүүлэгч зам болгон ашигладаг хэт хавтгай боржин чулуун гадаргууг үйлдвэрлэдэг. Зөв ажиллахын тулд эдгээр гадаргууг гэрлийн долгионы уртын бутархайгаар хэмжсэн тэгш байдалд хүргэх ёстой.
Хагас дамжуулагчийн тоног төхөөрөмжийн чиг хандлага: 2026 ба түүнээс хойш
Бид 2026 оныг туулж өнгөрөх тусам,хагас дамжуулагч капиталын тоног төхөөрөмжийн чиг хандлага"Гурван тулгуур багана"-аар тодорхойлогддог: Модульчлал, Тогтвортой байдал, Дулааны хяналт.
-
Модульчлагдсан платформ дизайн: Үйлдвэрлэгчид "залгаад ашиглах" үндсэн модулиудыг хайж байна. Тэд багаж хэрэгсэл бүрт шинэ суурь зохион бүтээхийн оронд литографи, хэмжил зүй эсвэл сийлбэрт тохируулан ашиглаж болох стандартчилагдсан ZHHIMG нарийвчлалтай суурийг ашиглаж байна.
-
Дулааны менежмент: EUV (Хэт ягаан туяаны) гэрлийн эх үүсвэрүүд асар их дулаан ялгаруулдаг тул машины суурь нь асар том дулаан шингээгч болж ажиллах ёстой. Бид $<0.01^\circ\text{C}$ дельтаг хадгалахын тулд нарийн төвөгтэй хөргөлтийн сувгуудыг эрдэс болон боржин чулуун бүрэлдэхүүн хэсгүүддээ шууд нэгтгэж байна.
-
Вакуум нийцтэй байдал: Илүү олон процесс өндөр вакуум орчинд шилжих тусам ашигласан материалууд нь хий ялгаруулахгүй байх ёстой. Манай мэргэшсэн боржин чулуу болон керамик боловсруулалт нь вакуумын бүрэн бүтэн байдлыг бүтцийн суурийн нөлөөгөөр хэзээ ч алдагдуулахгүй байхыг баталгаажуулдаг.
ZHHIMG-тэй стратегийн түншлэл
ZHHIMG нь зөвхөн эд анги үйлдвэрлэгч биш; бид хөдөлгөөн хянах хангамжийн сүлжээний стратегийн түнш юм. Хятад дахь манай үйлдвэр нь салбарын хамгийн хэцүү тогтвортой байдлын сорилтуудыг шийдвэрлэхийн тулд Силикон хөндий болон Эйндховены инженерийн багуудтай нягт уялдаатай ажилладаг.
Бидний эзэмшлийн давхцах техник болон гүнзгий ойлголтыг ашигласнаарчичиргээг бууруулах техникүүд, бид үйлчлүүлэгчиддээ Мурын хуулийн хил хязгаарыг тэлэх боломжийг олгодог. Та дараагийн үеийн ALD (Атомын давхаргын тунадасжуулалт) хэрэгсэл эсвэл өндөр хурдтай вафер зонд боловсруулж байгаа эсэхээс үл хамааран суурь нь ZHHIMG-ээс эхэлдэг.
Дүгнэлт
Хагас дамжуулагч үйлдвэрлэлийн хувьсал нь физикийн хуулиудын эсрэг уралдаан юм. Салбар 2026 он руу шилжих тусам агаарын холхивчийн нарийвчлал болон дэвшилтэт чийгшүүлэлтэд анхаарлаа хандуулах нь улам бүр нэмэгдэх болно. Эдгээр чиг хандлагыг тэргүүлэхийн тулд мэргэжлийн ур чадвар, инновацид суурилсан шууд болон дүрслэлийн үндэс суурь шаардлагатай.
Нийтэлсэн цаг: 2026 оны 1-р сарын 26