Хагас дамжуулагчийн үйлдвэрлэлийн нарийн гинжин хэлхээнд вафель дамжуулах систем нь "чип үйлдвэрлэх шугамын амьдралын шугам" шиг бөгөөд түүний тогтвортой байдал, нарийвчлал нь чипний гарцыг шууд тодорхойлдог. Шинэ үеийн өргүүр дамжуулах систем нь шугаман моторыг боржин суурьтай хослуулсан бөгөөд боржин чулуун материалын өвөрмөц давуу тал нь өндөр гүйцэтгэлтэй дамжуулалтыг нээх үндсэн код юм.
.
Боржин чулуун суурь: Тогтвортой дамжуулах "чулуун суурь" барих
Хэдэн зуун сая жилийн турш геологийн боловсруулалтанд орсон боржин чулуу нь нягт, жигд дотоод эрдсийн талсжилттай байдаг. Энэхүү байгалийн шинж чанар нь үүнийг вафель дамжуулах системд хамгийн тохиромжтой суурь материал болгодог. Хагас дамжуулагч цэвэрлэгээний өрөөнүүдийн нарийн төвөгтэй орчинд дулааны тэлэлтийн хэт бага коэффициенттэй боржин чулуу нь тоног төхөөрөмжийн ашиглалтын явцад үүссэн дулаан, орчны температурын өөрчлөлтийн нөлөөг тэсвэрлэж, суурь хэмжээсийн тогтвортой байдлыг хангаж, дулааны дамжуулалтын замын хэв гажилтаас сэргийлдэг. Түүний чичиргээ сааруулагчийн гайхалтай гүйцэтгэл нь шугаман моторыг асаах, унтраах, хурдасгах үед үүссэн механик чичиргээ, түүнчлэн цехийн бусад тоног төхөөрөмжийн үйл ажиллагаанаас үүдэлтэй гадны хөндлөнгийн нөлөөллийг хурдан шингээж, хавтан дамжуулах "тэг сэгсрэх" тогтвортой платформыг хангадаг. .
Үүний зэрэгцээ, боржингийн химийн тогтвортой байдал нь хүчил, шүлтлэг урвалжууд дэгдэмхий, өндөр цэвэршилт шаарддаг хагас дамжуулагч цехүүдэд зэврэхгүй, зэврэхгүй байх ба ингэснээр материалын хөгшрөлт, бохирдуулагч шингээлтийн улмаас дамжуулах нарийвчлалд нөлөөлөхөөс сэргийлдэг. Гөлгөр, нягт гадаргуугийн шинж чанар нь тоосны наалдацыг илүү үр дүнтэй бууруулж, тоосгүй цэвэр өрөөний стандартыг хангаж, вафельний үндэс нь бохирдох эрсдэлийг арилгана. .
Шугаман мотор ба боржингийн "алтан түншлэлийн" нөлөө
Механик дамжуулалтын зайгүй, өндөр хурдатгалтай, хариу үйлдэл үзүүлэх өндөр хурдтай шугаман моторууд нь өрмөнцөр дамжуулалтыг "хурдан, нарийвчлалтай, тогтвортой" давуу талтай болгодог. Боржин чулуун суурь нь түүнийг бат бөх, найдвартай дэмжих платформоор хангадаг. Гүйцэтгэлийн үсрэлтэнд хүрэхийн тулд энэ хоёр хамтран ажилладаг. Шугаман мотор нь боржин чулуун суурийн зам дээр өргүүрийн зөөгчийг хөдөлгөх үед суурийн хүчтэй хөшүүн, тогтвортой байдал нь моторын хөдөлгөгч хүчийг үр ашигтай дамжуулж, суурийн хэв гажилтаас үүсэх хүчний алдагдал эсвэл дамжуулалтын хоцролтоос сэргийлдэг. .
Нано хэмжээст нарийвчлалын эрэлт хэрэгцээнд тулгуурлан шугаман моторууд нь микроны доод түвшний нүүлгэн шилжүүлэлтийг хянах боломжтой. Боржин чулуун суурийн өндөр нарийвчлалтай боловсруулалтын шинж чанар (хавтгай байдлын алдаа нь ±1μm дотор хянагддаг) нь шугаман моторын нарийн удирдлагатай төгс тохирч, вафель дамжуулах үед байрлал тогтоох алдаа ±5μм-ээс бага байх болно. Янз бүрийн технологийн тоног төхөөрөмжийн дунд өндөр хурдтай тээвэрлэлт хийх эсвэл өрмөнцөр шилжүүлэн өгөх нарийн зогсоол байх эсэхээс үл хамааран шугаман мотор ба боржин чулуун суурийн хослол нь өрмөнцөр дамжуулахад "тэг хазайлт ба тэг чичиргээ"-ийг хангаж чадна. .
Аж үйлдвэрийн практикийн баталгаажуулалт: Үр ашиг, өгөөжийн түвшинг давхар сайжруулах
Хагас дамжуулагч дэлхийн тэргүүлэгч аж ахуйн нэгж өрмөнцөр дамжуулах системээ шинэчилсний дараа шугаман мотор + боржин чулуун суурь шийдлийг нэвтрүүлсэн бөгөөд энэ нь хавтанцар дамжуулах үр ашгийг 40%-иар нэмэгдүүлж, дамжуулах явцад мөргөлдөх, няцлах зэрэг гэмтлийн тохиолдлын хэмжээг 85%-иар бууруулж, чипсийн нийт гарцыг 6%-иар сайжруулсан. Өгөгдлийн цаана боржин чулуун суурийн дамжуулалтын тогтвортой байдлын баталгаа, шугаман моторын өндөр хурдтай, нарийн синергетик нөлөө оршдог бөгөөд энэ нь вафель дамжуулах үйл явц дахь алдагдал, алдааг эрс багасгадаг. .
Материалын шинж чанараас эхлээд нарийн үйлдвэрлэл, гүйцэтгэлийн давуу талуудаас практик баталгаажуулалт хүртэл шугаман мотор болон боржин чулуун суурийн хослол нь вафель дамжуулах системийн стандартыг дахин тодорхойлсон. Ирээдүйд хагас дамжуулагч технологи 3 нм ба 2 нм процесс руу шилжих үед боржин чулуун материалууд орлуулашгүй давуу талуудаараа салбарын хөгжилд хүчтэй түлхэц үзүүлсээр байх нь дамжиггүй.
Шуудангийн цаг: 2025-05-14