Нарийвчлалтай эд анги үйлдвэрлэдэг үйлдвэрт XYZ нарийн гантри хүрээ нь микрометр эсвэл бүр нанометрийн хэмжээнд нарийн хөдөлгөөн хийх чадвартай "супер плоттер" шиг юм. Боржин чулуун суурь нь энэхүү "плоттер"-ыг дэмждэг "тогтвортой ширээ" юм. Тэд хоорондоо хосолсон үед үнэхээр "төгс зохицолтой ажиллаж" чадах уу? Өнөөдөр доторх нууцыг тайлцгаая.
Тэднийг яагаад "төгс хос" гэж хэлдэг вэ?
Боржин чулуу бол энгийн чулуу биш. Энэ нь материалын ертөнц дэх "зургаан өнцөгт дайчин"-тай адил юм.
Цочрол шингээх чадвар маш сайн: Боржин чулуу нь маш өндөр нягтралтай бөгөөд дотоод бүтэц нь "чанга эвлүүлдэг тоглоом" шиг юм. Гантри хүрээ хурдан хөдөлж, чичирхийлэх үед (яг л ажиллаж байх үед гэнэт тоормослоход чичирдэг шиг) боржин чулуу нь чичиргээний энергийн 90 гаруй хувийг шингээж, гантри хүрээг хурдан "бат бөх" байлгах боломжийг олгодог. Жишээлбэл, оптик линзийг нунтаглах үед боржин чулуун суурийг ашигласны дараа гантри хүрээний чичиргээний далайц 15 микроноос 3 микрон болж буурч, линзний нарийвчлал эрс сайжирсан.
Температурын "эвдрэл"-ээс айхгүй: Удаан хугацааны ашиглалтын дараа гангийн хүрээ хална. Ердийн материалууд халахад "өргөжиж, деформацид ордог" боловч боржин чулуун дулааны тэлэлтийн коэффициент нь гангийнхаас ердөө тавны нэг юм! Хэдийгээр цехийн температур нэг өдрийн дотор 10℃-аар өөрчлөгдсөн ч түүний деформацийг бараг үл тоомсорлож болно. Энэ нь гангийн хүрээг бат бөх барьж, байрлалын алдаа 2 микроноос хэтрэхгүй байхыг баталгаажуулж чадна.
Тэд бас "зөрчилдөөнтэй" байх уу? Эдгээр асуудлуудыг анхаарах хэрэгтэй!
Хэдийгээр тэдгээр нь "маш нийцтэй" боловч эхний шатандаа сайн төлөвлөөгүй бол "орон нутгийн орчинтой нийцэхгүй байдал" үүсч болно:
"Интерфэйсүүд таарахгүй байна" гэсэн ичгүүр
Гантри хүрээ дээрх гулсуур болон чиглүүлэгч хашлагыг суурийн нүхэнд нарийн суурилуулах шаардлагатай. Хэрэв суурийн нүхний хазайлт 0.01 миллиметрээс (хүний үснээс нимгэн) хэтэрвэл, гантри хүрээ суурилуулах үед хазайж, хөдөлгөх үед гацаж болзошгүй. Яг л эвлүүлдэг тоглоомын холбоосууд таарахгүй байгаатай адил, хичнээн хичээсэн ч бүтэхгүй.
"Жингийн зөрүү"-ийн далд аюул
Том гантри хүрээ нь хүнд бөгөөд "бат бөх" байдаг. Хэрэв боржин чулуун суурь нь хангалттай бат бөх биш (шахалтын бат бэх нь 120 мегапаскалаас бага) бол удаан хугацааны хүнд даралтын дор хагарч болзошгүй. Энэ нь жижиг мөчрөөр том чулууг тулахтай адил юм. Эрт орой хэзээ нэгэн цагт энэ нь хагарна.
"Асинхрон дулааны тэлэлт ба агшилт"-ын асуудал
Металл гантри хүрээ болон боржин чулууг халаахад хэр зэрэг тэлэх нь өөр өөр байдаг. Температурын зөрүү ихтэй орчинд эдгээр хоёр нь хоорондоо "өрсөлдөж", стресс үүсгэж, тоног төхөөрөмжийг тогтворгүй болгож болзошгүй бөгөөд яг л өөр өөр материалаар хийгдсэн эд ангиуд өндөр температурт "өөрийн замаараа" явдагтай адил юм.
Тэднийг хэрхэн "төгс хамтран ажиллах" вэ?
Санаа зоволтгүй. Эдгээр асуудлуудад дараах шийдлүүд бий.
Захиалгат суурь: Гантри хүрээний жин, суурилуулах нүхний байрлал болон бусад өгөгдлийг урьдчилан хэмжиж, нүхний байрлал бүрийн алдаа 0.005 миллиметрээс хэтрэхгүй байхаар үйлдвэрлэгчид зориулалтын суурийг тохируулан өөрчлөхийг зөвшөөрнө үү.
Суурийг бэхжүүлж, сайжруулна: Шахалтын бат бэх өндөртэй (≥150 мегапаскал) боржин чулууг сонгож, мөн зөгийн үүр шиг суурийн дотор зөгийн үүрний бүтэц зохион бүтээнэ. Энэ нь жинг бууруулаад зогсохгүй ачаалал даах чадварыг нэмэгдүүлдэг.
"Температурын хяналтын хамгаалагч"-ыг суурилуулах: Дулааны стрессийг шингээхийн тулд суурь болон гантри хүрээний хооронд уян хатан жийргэвчний давхарга нэмж болно; Эсвэл температурын хэлбэлзлийг 1°C дотор байлгахын тулд ус хөргөх хоолой суурилуулна.
Нийтэлсэн цаг: 2025 оны 6-р сарын 17