Боржин чулуун ор нь янз бүрийн хагас дамжуулагч төхөөрөмжүүдийн чухал бүрэлдэхүүн хэсэг юм. Өндөр тогтвортой, хатуу материалын хувьд боржин чулууг хагас дамжуулагч боловсруулах төхөөрөмжийн суурь болгон өргөн ашигладаг. Энэ нь бага дулааны тэлэлтийн коэффициент, өндөр хэмжээст тогтвортой байдал, маш сайн механик шинж чанараараа онцлог юм. Эдгээр шинж чанаруудаас шалтгаалан боржин чулуун орыг гурван өөр төрлийн хагас дамжуулагч төхөөрөмж болох хэмжилзүйн төхөөрөмж, литографийн төхөөрөмж, хяналтын төхөөрөмжид хамгийн түгээмэл ашигладаг.
Хэмжилзүйн төхөөрөмжийг хагас дамжуулагч төхөөрөмжийн чухал хэмжээсийг хэмжих, илрүүлэхэд ашигладаг. Энэ нь хагас дамжуулагч үйлдвэрлэлийн процессын чанар, тогтвортой байдлыг хадгалахад чухал үүрэг гүйцэтгэдэг. Хэмжилзүйн тоног төхөөрөмжид оптик микроскоп, электрон микроскоп, атомын хүчний микроскоп (AFM) зэрэг багаж хэрэгсэл багтдаг. Эдгээр хэмжих хэрэгслийн гүйцэтгэл нь тэдгээрийн тогтвортой байдал, нарийвчлал, чичиргээний эсэргүүцлээс хамаардаг тул боржин чулуу нь тэдгээрийн ор материалын хувьд хамгийн тохиромжтой сонголт юм. Боржин чулуун орны жигд байдал, тогтвортой байдал нь багаж хэрэгслийн тогтвортой тавцанг бүрдүүлдэг бөгөөд энэ нь тэдгээрийн нарийвчлал, найдвартай байдлыг нэмэгдүүлдэг.
Литографийн төхөөрөмжийг вафли дээр микрочипийн хээг хийхэд ашигладаг. Литографийн процесс нь нарийн төвөгтэй хэлхээ үүсгэх, чипийн гүйцэтгэлийг сайжруулахын тулд өндөр түвшний нарийвчлал, нарийвчлал шаарддаг. Литографийн тоног төхөөрөмж нь вафли руу дүрс дамжуулахын тулд гэрлийг ашигладаг stepper болон сканнерын системүүдийг агуулдаг. Литографийн процесс нь чичиргээ болон дулааны өөрчлөлтөд маш мэдрэмтгий тул литографийн процессын тогтвортой байдал, давтагдах чадварыг хангахын тулд өндөр чанартай ор зайлшгүй шаардлагатай. Боржин чулуун ор нь литографийн системд шаардлагатай тогтвортой байдал, хатуу чичиргээг намсгах гүйцэтгэлийг хангадаг. Боржин чулуун ор нь stepper эсвэл сканнерын системд өндөр нарийвчлал, эцсийн бүтээгдэхүүний чанарыг баталгаажуулж, нарийн орон зайн харилцааг хадгалах боломжийг олгодог.
Хагас дамжуулагч төхөөрөмжийн аливаа согогийг илрүүлэхэд үзлэгийн төхөөрөмжийг ашигладаг. Үзлэгийн тоног төхөөрөмжид лазер сканнердах микроскоп, электрон микроскоп, оптик микроскоп зэрэг системүүд багтдаг. Эдгээр төхөөрөмжүүд нь өндөр нарийвчлалтай, тогтвортой, чичиргээнд тэсвэртэй байх шаардлагатай тул боржин чулуун ор нь төгс материал юм. Боржин чулуун механик шинж чанар болон хэмжээст тогтвортой байдал нь чичиргээг тусгаарлахад тусалдаг бөгөөд энэ нь үзлэгийн төхөөрөмжийн гаралтын нарийвчлалыг нэмэгдүүлдэг.
Дүгнэж хэлэхэд, боржин чулуун ор нь хагас дамжуулагчийн үйлдвэрлэлд чухал ач холбогдолтой бөгөөд янз бүрийн төрлийн тоног төхөөрөмжид өргөн хэрэглэгддэг. Хэмжээст тогтвортой байдал, бага дулааны тэлэлтийн коэффициент, маш сайн механик тогтвортой байдал зэрэг өвөрмөц шинж чанарууд нь боржин чулууг хагас дамжуулагч төхөөрөмжийн ор материалын хамгийн тохиромжтой сонголт болгодог. Өндөр чанартай боржин чулуун ор нь хагас дамжуулагч төхөөрөмжид шаардлагатай тогтвортой байдал, нарийвчлал, чичиргээний эсэргүүцлийг өгдөг тул эцсийн бүтээгдэхүүний чанарыг сайжруулдаг. Тиймээс хагас дамжуулагч төхөөрөмжид боржин чулуун орыг ашиглах нь ирэх олон жилийн турш үргэлжлэх нь гарцаагүй.
Нийтэлсэн цаг: 2024 оны 4-р сарын 3