Хагас дамжуулагч болон оптоэлектроник үйлдвэрлэлийн тоног төхөөрөмжид боржин чулууг голчлон нарийн хөдөлгөөнт тавцан, чиглүүлэгч төмөр замын суурь, чичиргээ тусгаарлах тулгуур бүтэц, оптик эд анги суурилуулах суурь зэрэг гол эд ангиудад ашигладаг. Эдгээр эд ангиуд нь нарийвчлал, тогтвортой байдал, хүрээлэн буй орчны тэсвэр тэвчээрийн хувьд маш өндөр шаардлага тавьдаг. Боржин чулуун шинж чанар нь хагас дамжуулагч болон оптоэлектроник үйлдвэрлэлийн хатуу шаардлагыг яг таг хангаж чаддаг. Дараахь хэрэглээний тодорхой хувилбарууд болон давуу талуудын шинжилгээг дор харуулав.
I. Хэрэглээний үндсэн хэсгүүд
Нарийвчлалтай хөдөлгөөнт тавцангууд (жишээлбэл, фотолитографийн машин болон холбогч машинд зориулсан вафер тавцангууд)
Үүнийг нано хэмжээний нарийвчлалтайгаар орчуулга болон эргэлтийн хөдөлгөөнийг бий болгохын тулд вафли болон оптик линз зэрэг нарийн эд ангиудыг зөөхөд ашигладаг.
Ердийн тоног төхөөрөмж: фотолитографийн машины ажлын ширээ, хэмжих хэрэгслийн байрлуулах тавцан.
Хөтөч төмөр замын суурь ба хүрээний бүтэц
Шугаман хөтөч болон агаарын хөвөгч хөтөчийн суурилуулах суурь болгон тоног төхөөрөмжийн гол хөдөлгөөний механизмыг дэмждэг.
Ердийн тоног төхөөрөмж: хагас дамжуулагч сав баглаа боодлын тоног төхөөрөмжийн механик хүрээ болон оптик хяналтын багаж хэрэгсэл.
Чичиргээ тусгаарлах тулгуур ба тогтворжуулах бүтэц
Энэ нь гадаад чичиргээг (жишээлбэл, үйлдвэрийн давхраас эсвэл тоног төхөөрөмжийн ажиллагааны явцад чичиргээ) тусгаарлахад ашиглагддаг бөгөөд оптик систем эсвэл нарийн машин механизмын тогтвортой байдлыг хангадаг.
Ердийн хувилбарууд: Оптик микроскоп болон лазер интерферометрийн суурь тулгуур.
Оптик бүрэлдэхүүн хэсгийн угсралтын суурь
Оптик замын системийн тэгшитгэлийн нарийвчлалын урт хугацааны тогтвортой байдлыг хангахын тулд толь, призм, лазер зэрэг оптик төхөөрөмжийг засах.
Ердийн тоног төхөөрөмж: Оптоэлектроник сав баглаа боодлын тоног төхөөрөмж, шилэн кабелийн холболтын систем.
Нийтэлсэн цаг: 2025 оны 5-р сарын 29