Хагас дамжуулагч үйлдвэрлэлийн нарийн ертөнцөд вафлины үл эвдэх туршилт нь чипийн чанарыг баталгаажуулах гол холбоос юм. Ач холбогдолгүй мэт санагдах боржин чулуун суурь нь үнэндээ илрүүлэлтийн нарийвчлалыг тодорхойлдог "муухай баатар" юм. Энэ нь туршилтын үр дүнд хэрхэн нөлөөлдөг вэ? Энэ нийтлэлд материалын шинж чанар, бүтцийн дизайн зэрэг хэмжээсүүдийн гүнзгий дүн шинжилгээ хийх болно.
1. Тогтвортой суурь: Боржин чулуун байгалийн давуу талууд нь нарийвчлалын бат бөх суурийг тавьдаг
1. Газар хөдлөлтийн маш сайн үзүүлэлт
Ваферын эвдэхгүй туршилтын төхөөрөмжийг ажиллуулах явцад моторын эргэлт болон механик эд ангиудын хөдөлгөөн нь чичиргээ үүсгэдэг. Хэрэв эдгээр чичиргээг үр дүнтэй дарахгүй бол туршилтын нарийвчлалд ноцтой саад учруулна. Боржин чулууны дотор тал нь кварц, хээрийн жонш зэрэг эрдэс талстуудтай нягт холбоотой. Өвөрмөц бүтэц нь тоног төхөөрөмжийн чичиргээний энергийн 90 гаруй хувийг шингээх чадвартай, байгалийн чичиргээ шингээх чадварыг олгодог. Тодорхой хагас дамжуулагч үйлдвэрлэгчийн бодит хэмжилтийн өгөгдөл нь боржин чулуун суурийг ашигласны дараа илрүүлэх төхөөрөмжийн чичиргээний далайцыг 12μм-ээс 2μм болгон бууруулж, чичиргээнээс үүдэлтэй илрүүлэх дохионы хазайлтыг үр дүнтэйгээр зайлсхийж байгааг харуулж байна.
2. Дулааны тэлэлтийн маш бага коэффициент
Илрүүлэх явцад тоног төхөөрөмжийн халаалт, орчны температурын өөрчлөлт зэрэг хүчин зүйлс нь машины суурийн тогтвортой байдалд нөлөөлнө. Ердийн материалууд халаахад мэдэгдэхүйц тэлдэг боловч боржин чулуун дулааны тэлэлтийн коэффициент нь гангийнхаас ердөө 1/5 байна. Орчны температур 10℃-ээр хэлбэлзсэн ч түүний хэв гажилтыг үл тоомсорлож болно. Энэ нь боржин чулуун суурийг үзлэгийн тоног төхөөрөмжийн тогтвортой лавлах тавцан болгож, үзлэгийн датчик болон хавтангийн хоорондох харьцангуй байрлал үргэлж үнэн зөв хэвээр байх, дулааны хэв гажилтаас үүдэлтэй үзлэгийн алдаанаас зайлсхийх боломжийг олгодог.
Хоёрдугаарт, нарийн дизайн: Бүтцийн оновчлол нь илрүүлэлтийн найдвартай байдлыг улам бүр нэмэгдүүлдэг
Өндөр нарийвчлалтай боловсруулалт болон тэгш байдлын баталгаа
Өндөр чанартай боржин чулуун суурийг дэвшилтэт таван тэнхлэгтэй холбоос CNC технологиор боловсруулсан бөгөөд ±0.5μm/m тэгш байдалтай тул үзлэгийн тоног төхөөрөмжийн хэт хавтгай суурилуулалтын лавлагаа болдог. Ваферын үзлэгт үзлэгийн датчикийн босоо байдал болон тэгш байдал нь үзлэгийн үр дүнд чухал үүрэг гүйцэтгэдэг. Өндөр нарийвчлалтай боржин чулуун суурь нь датчикийн нарийн байрлалыг баталгаажуулж, үзлэгийн өгөгдлийг илүү нарийвчлалтай, найдвартай болгодог.
2. Бүтцийн тохируулга
Боржин чулуун машины суурийг янз бүрийн ваферын үл эвдэх туршилтын тоног төхөөрөмж болон процессын шаардлагад тохируулан өөрчилж болно. Жишээлбэл, гэрлийн тусгалын оптик хяналтын тоног төхөөрөмжийн шаардлагыг хангахын тулд машины суурийн гадаргууг тусгайлан боловсруулж болно; хэт авианы туршилтын тоног төхөөрөмжийн суурилуулах шаардлагыг хангахын тулд суурийг нарийн суурилуулах нүх, кабелийн тавиураар урьдчилан бэлтгэж болох бөгөөд энэ нь тоног төхөөрөмжийг хурдан бөгөөд нарийвчлалтай суурилуулах боломжийг олгож, суурилуулалтын алдаанаас үүдэлтэй илрүүлэх хазайлтыг бууруулна.
III. Урт хугацааны тогтвортой байдал: Тоног төхөөрөмжийн засвар үйлчилгээнээс үүдэлтэй нарийвчлалын алдагдлыг бууруулах
Боржин чулуу нь өндөр хатуулаг, элэгдэлд тэсвэртэй бөгөөд Мохсын хатуулаг нь 6-7 бөгөөд энэ нь ердийн гангийн элэгдэлд тэсвэртэй байдлаас гурав дахин их юм. Урт хугацааны үзлэгийн ажиллагааны үед машины суурийн гадаргуу нь элэгдэлд өртөмтгий биш бөгөөд үргэлж сайн нарийвчлалын төлөвийг хадгалж чаддаг. Үүний эсрэгээр, бусад материалаар хийгдсэн суурь нь элэгдэл, урагдалтын улмаас тоног төхөөрөмжийн суурилуулалтын лавлагаанд өөрчлөлт оруулж, улмаар илрүүлэлтийн нарийвчлалд нөлөөлж, байнга тохируулга, засвар үйлчилгээ шаарддаг. Боржин чулуун суурийн урт хугацааны ашиглалтын хугацаа, өндөр тогтвортой байдал нь тоног төхөөрөмжийн засвар үйлчилгээний давтамжийг үр дүнтэй бууруулж, засвар үйлчилгээний явцад гарч болзошгүй нарийвчлал алдагдах эрсдлийг бууруулдаг.
Цочролд тэсвэртэй байдал, халуунд тэсвэртэй байдлаас эхлээд нарийн хийц хүртэл боржин чулуун суурийн бүх онцлог нь вафлины үл эвдэх туршилтын нарийвчлалыг хамгаалдаг. Өнөөгийн хагас дамжуулагч үйлдвэрлэлийн эрин үед өндөр чанартай боржин чулуун суурийг сонгох нь туршилтын үр дүнгийн нарийвчлал, найдвартай байдалд бат бөх хамгаалалт нэмэхтэй адил юм.
Нийтэлсэн цаг: 2025 оны 6-р сарын 18