Нарийвчлалтай оптик туршилт болон өндөр зэрэглэлийн үйлдвэрлэлийн салбарт 0.01μрад түвшний өнцгийн тогтвортой байдал нь гол үзүүлэлт юм. Боржин чулуун оптик платформууд нь материалын шинж чанар, технологийн синергитэй тул хэт өндөр нарийвчлалд хүрэх гол тээвэрлэгч болсон.
Материалын давуу талууд нь тогтвортой суурийг тавьдаг. Хэдэн зуун сая жилийн турш геологийн үйл явцаар үүссэн магмын чулуулаг болох боржин чулуу нь гангийнхаас хоёр дахин, хөнгөн цагааныхаас дөрөвний нэгтэй тэнцэх дулааны тэлэлтийн маш бага коэффициентоороо алдартай. Температур 1℃-ээр өөрчлөгдөхөд 1 метр урттай боржин чулуун бүрэлдэхүүн хэсэг нь ердөө 6 микрометрээр тэлдэг бол хөнгөн цагааны бүрэлдэхүүн хэсэг нь 23 микрометрээр тэлдэг. Энэ нь дулааны деформацийн улмаас үүссэн өнцгийн хазайлтаас үр дүнтэй зайлсхийдэг. Үүний зэрэгцээ, түүний маш сайн чийгшүүлэх чадвар нь гадны чичиргээг хурдан сулруулж, платформыг статик төлөвт байлгаж, оптик бүрэлдэхүүн хэсгүүдэд үзүүлэх хөндлөнгийн оролцоог бууруулдаг.
Нарийн бүтцийн дизайн нь хатуулгийг нэмэгдүүлдэг. Оновчтой механик бүтцийн дизайны дараа боржин чулуун оптик платформ нь хатуулгийг мэдэгдэхүйц нэмэгдүүлж, ачааллын деформацийг үр дүнтэй эсэргүүцэж чаддаг. Гадаргуугийн боловсруулалтын нарийвчлал нь салбартаа хамгийн дээд түвшинд хүрдэг. GB4987-85 стандартыг хангасан 00 түвшний нарийвчлалыг жишээ болгон авч үзвэл хавтгай байдлын хүлцэл нь ердөө 2×(1 + d/1000)μm (d нь диагональ урт) бөгөөд энэ нь оптик тоног төхөөрөмжийн хувьд маш хавтгай суурилуулах лавлагаа болдог.
Динамик тохируулгыг технологийн хамтын ажиллагааны тусламжтайгаар хийдэг. Агаарын пүрш эсвэл соронзон левитация зэрэг дэвшилтэт чичиргээ тусгаарлах системээр тоноглогдсон үед боржин чулуун тавцан нь нам давтамжийн болон өндөр давтамжийн чичиргээг тусгаарлаж чаддаг. Лазер интерферометр зэрэг өндөр нарийвчлалтай хэмжих төхөөрөмжөөр нэмэлтээр өнцгийн өөрчлөлтийг бодит цаг хугацаанд хянадаг. Хазайлт нь 0.01μрад босгыг давсан тохиолдолд санал хүсэлтийн хяналтын систем нь залруулгын нарийн тохируулгын механизмыг нэн даруй ажиллуулж, тавцан үргэлж өндөр нарийвчлалтай, тогтвортой төлөвт байгаа эсэхийг баталгаажуулдаг.
Материалын мөн чанараас эхлээд технологийн чадавх хүртэл, дулааны тогтвортой байдал, чичиргээний эсэргүүцэл, нарийвчлалын боловсруулалтын давуу талуудыг гол цөм болгон ашигладаг боржин чулуун оптик платформ нь ухаалаг хяналтын технологитой хослуулан 0.01μрад нарийвчлалын босгыг амжилттай давж, фотолитографи, одон орны ажиглалт, лазер хэмжилт зэрэг дэвшилтэт салбарт өргөн хэрэглэгдэж, өндөр нарийвчлалтай оптикийн судалгаа, үйлдвэрлэлийг шинэ өндөрлөгт хүргэж байна.
Нийтэлсэн цаг: 2025 оны 5-р сарын 23