Хагас дамжуулагч үйлдвэрлэлийн цехэд чип үйлдвэрлэх процессын хүрээлэн буй орчны нөхцөл байдал болон тоног төхөөрөмжийн нарийвчлалын шаардлага маш өндөр байдаг бөгөөд аливаа бага зэрэг хазайлт нь чипийн гарцыг мэдэгдэхүйц бууруулж болзошгүй юм. XYZT нарийвчлалтай gantry хөдөлгөөний платформ нь нано хэмжээний нарийвчлалд хүрэх бат бөх суурийг бий болгохын тулд платформын бусад хэсгүүдтэй хамтран ажиллахын тулд боржин чулуун эд ангиудад тулгуурладаг.
Маш сайн чичиргээ хаах шинж чанартай
Хагас дамжуулагч үйлдвэрлэлийн цехэд захын тоног төхөөрөмж болон ажилтнуудын ажиллагаа нь чичиргээ үүсгэж болзошгүй. Боржин чулуун эд ангиудын дотоод бүтэц нь нягт, жигд бөгөөд үр ашигтай чичиргээний "хаалт" шиг байгалийн өндөр намсгах шинж чанартай байдаг. Гаднах чичиргээг XYZT платформ руу дамжуулахад боржин чулуун эд анги нь чичиргээний энергийн 80 гаруй хувийг үр дүнтэй сулруулж, тавцангийн хөдөлгөөний нарийвчлалд чичиргээний хөндлөнгийн нөлөөллийг бууруулж чаддаг. Үүний зэрэгцээ тавцан нь боржин чулуун эд ангиудтай хамтран ажилладаг өндөр нарийвчлалтай агаарын хөвөгч хөтчийн системээр тоноглогдсон. Агаарын хөвөгч хөтч нь өндөр даралтын хийнээс үүссэн тогтвортой хийн хальсыг ашиглан тавцангийн хөдөлж буй хэсгүүдийн холбоогүй түдгэлзүүлэлтийн хөдөлгөөнийг бий болгож, механик үрэлтийн улмаас үүссэн жижиг чичиргээг бууруулдаг. Энэ хоёр нь хамтдаа чип литографи, сийлбэр зэрэг гол процессуудад тавцангийн байршлын нарийвчлалыг нанометрийн түвшинд үргэлж хадгалж, чичиргээнээс үүдэлтэй чип хэлхээний хэв маягийн хазайлтаас зайлсхийдэг.
Маш сайн дулааны тогтвортой байдал
Цех дэх температур, чийгшлийн хэлбэлзэл нь чип үйлдвэрлэх тоног төхөөрөмжийн нарийвчлалд ихээхэн нөлөөлдөг. Боржин чулуун дулааны тэлэлтийн коэффициент маш бага, ерөнхийдөө 5-7 × 10⁻⁶/℃ байдаг бөгөөд температур өөрчлөгдөхөд хэмжээ нь бараг өөрчлөгддөггүй. Цех дэх өдөр, шөнийн температурын зөрүү эсвэл тоног төхөөрөмжийн дулааны үйлдвэрлэл нь орчны температурыг хэлбэлзэхэд хүргэдэг ч боржин чулуун эд ангиуд нь дулааны тэлэлт, агшилтаас болж тавцангийн хэв гажилтаас урьдчилан сэргийлэхийн тулд тогтвортой хэвээр байж чадна. Үүний зэрэгцээ, тавцангаар тоноглогдсон ухаалаг температурын хяналтын систем нь орчны температурыг бодит цаг хугацаанд хянаж, агааржуулагч болон дулаан ялгаруулах төхөөрөмжийг автоматаар тохируулж, цехийн температурыг 20°C ±1°C түвшинд байлгадаг. Боржин чулуун дулааны тогтвортой байдлын давуу талуудтай хослуулан тавцан урт хугацаанд ажиллах үед тэнхлэг бүрийн хөдөлгөөний нарийвчлал нь чип үйлдвэрлэлийн нанометрийн нарийвчлалын стандартыг үргэлж хангаж, чипийн литографийн хэв маягийн хэмжээ, сийлбэрийн гүн жигд байхыг баталгаажуулдаг.
Цэвэр орчны хэрэгцээг хангах
Хагас дамжуулагч үйлдвэрлэлийн цех нь тоосны хэсгүүд чипийг бохирдуулахаас урьдчилан сэргийлэхийн тулд өндөр түвшний цэвэр байдлыг хадгалах шаардлагатай. Боржин чулуун материал нь өөрөө тоос үүсгэдэггүй бөгөөд гадаргуу нь гөлгөр тул тоос шингээхэд хялбар биш юм. Платформ нь бүхэлдээ гаднах тоосны нэвтрэлтийг багасгахын тулд бүрэн хаалттай эсвэл хагас хаалттай бүтцийн загварыг ашигладаг. Дотоод агаарын эргэлтийн системийг цехийн цэвэр агааржуулалтын системтэй холбож, дотоод агаарын цэвэр байдал нь чип үйлдвэрлэхэд шаардлагатай түвшинд хүрэхийг баталгаажуулдаг. Энэхүү цэвэр орчинд боржин чулуун эд ангиуд нь тоосны элэгдлийн улмаас гүйцэтгэлд нөлөөлөхгүй бөгөөд платформын өндөр нарийвчлалтай мэдрэгч, мотор зэрэг гол эд ангиуд нь тогтвортой ажиллаж, чип үйлдвэрлэхэд тасралтгүй, найдвартай нано хэмжээний нарийвчлалын баталгааг өгч, хагас дамжуулагчийн үйлдвэрлэлийг илүү өндөр процессын түвшинд шилжүүлэхэд тусалдаг.
Нийтэлсэн цаг: 2025 оны 4-р сарын 14