Боржин чулуун тавцан нь нарийн хэмжилт, боловсруулалтын лавлах хэрэгсэл бөгөөд түүний нарийвчлалыг хадгалах нь үйлдвэрлэлийн чанарт шууд нөлөөлдөг. Дараах нь тавцан нь нанометрийн түвшний нарийвчлалыг удаан хугацаанд хадгалахын тулд байгаль орчны хяналт, өдөр тутмын засвар үйлчилгээ, мэргэжлийн тохируулгыг хамарсан системчилсэн засвар үйлчилгээний төлөвлөгөөг оруулсан болно.
1. Байгаль орчны хяналт: Нарийвчлалтай хамгаалалтын хаалт барих
Температур ба чийгшлийн менежмент
Ажлын орчны температурыг 20±1℃-д тогтворжуулах шаардлагатай. 1℃-ийн хэлбэлзэл бүр нь боржин чулуун тавцангийн дулааны деформацийг 0.5-1μm/m болгоно. Агааржуулагчийн гарцууд тавцан руу шууд үлээхээс сэргийлэхийн тулд цехэд тогтмол температурын систем суурилуулж болно.
Чийгшлийг 40%-60% хооронд хянаж байх ёстой. Хэт их чийгшил нь металл эд ангиудад зэврэлт үүсгэдэг бол хэт бага чийгшил нь хэмжилт хийхэд статик цахилгаан саад учруулж болзошгүй.
Чичиргээ тусгаарлалт
Тавцанг тамгалах машин, тээрэмдэх машин зэрэг чичиргээний эх үүсвэрээс хол байлгах хэрэгтэй. Чичиргээний төхөөрөмжөөс 3 метрээс хол зайд байлгахыг зөвлөж байна.
Хэрэв чичиргээнээс зайлсхийх боломжгүй бол тавцангийн тэгш байдалд хүрээлэн буй орчны чичиргээ үзүүлэх нөлөөллийг бууруулахын тулд тавцангийн ёроолд агаарын пүрштэй амортизатор суурилуулж болно (энэ нь гадаад чичиргээг 80%-иас дээш бууруулж чадна).
2. Өдөр тутмын засвар үйлчилгээ: Цэвэрлэгээнээс эхлээд хамгаалалт хүртэл нарийн хяналт
Гадаргуу цэвэрлэх техникийн үзүүлэлтүүд
Тоос арилгах: Тоосны хэсгүүд (≥5μm) тавцан дээр маажихаас сэргийлж гадаргууг бугын арьс эсвэл хөвөнгүй даавуугаар өдөр бүр арчина. Зөрүүд толбыг усгүй этанолоор (цэвэршилт ≥99.7%) зөөлөн арчиж болно. Ацетон зэрэг хүчтэй уусгагч хэрэглэж болохгүй.
Тосыг арилгах: Хэрэв тосны толботой харьцвал шингэрүүлсэн төвийг сахисан цэвэрлэгчээр арчиж, дараа нь ионгүйжүүлсэн усаар зайлж, агаарт хатаана. Ингэснээр эрдэс тос нь тавцангийн жижиг нүх сүвээр нэвтрэхээс сэргийлнэ.
Ачаалал болон мөргөлдөөнөөс хамгаалах
Орон нутгийн хэт ачааллаас үүдэлтэй байнгын хэв гажилтаас зайлсхийхийн тулд тавцангийн ачааллын даацыг нэрлэсэн ачааллын 70%-иас хэтрэхгүй байлгах хэрэгтэй (жишээлбэл, 1000кг жинтэй тавцангийн хувьд ачааллыг ≤700кг байлгахыг зөвлөж байна).
Ажлын хэсгүүдийг тавцан дээр цохихыг хатуу хориглоно. Багаж хэрэгсэлтэй харьцахдаа хурц зүйлс гадаргууг маажихаас сэргийлж зөөлөн бээлий өмсөөрэй (20μм-ээс их гүнтэй зураас нь ойсон гэрлийн замын хэмжилтэд нөлөөлнө).
3. Мэргэжлийн тохируулга: Шинжлэх ухааны үндэслэлтэй нарийвчлалыг хадгалах гол цөм
Тохируулгын мөчлөгийн тохиргоо
Уламжлалт хэрэглээний хувилбарууд: Улирал тутамд нэг удаа тохируулга хийж, лазер интерферометр ашиглан хавтгай байдлыг илрүүлнэ (±0.5μm/m нарийвчлалтайгаар).
Өндөр давтамжтай хэрэглээ эсвэл хатуу ширүүн орчин: Температурт мэдрэмтгий хэсгүүдийг (дулааны эх үүсвэрийн ойролцоох тавцангийн ирмэг гэх мэт) хянах тал дээр анхаарлаа төвлөрүүлэн сар бүр тохируулга хийх.
Тохируулгын дараах боловсруулалт
Хэрэв тэгш байдлын хазайлт илэрвэл (жишээлбэл > ±1μm/m) мэргэжлийн техникч W1.5 микро нунтаг ашиглан нунтаглаж, засах шаардлагатай. Зүлгүүрээр өөрөө нунтаглахыг хатуу хориглоно.
Тохируулгын дараа өгөгдлийг бүртгэж, архивлах ёстой бөгөөд засвар үйлчилгээний шаардлагыг урьдчилан таамаглахын тулд платформын нарийвчлалын сулралын муруйг тогтоох хэрэгтэй.
4. Хадгалалт ба тээвэрлэлт: Далд нарийвчлалын алдагдлаас зайлсхий
Урт хугацааны хадгалалтын гол цэгүүд
Хадгалах үед чийг болон тоос нэвтэрдэггүй бүрхүүлээр хучих хэрэгтэй. Таталцлын хүчнээс үүдэлтэй нугаралтын деформациас урьдчилан сэргийлэхийн тулд ёроол хэсгийг гурван цэгээр (тулгуурын цэг нь тавцангийн уртын 2/9 хэсэгт байрладаг) тулгуурлах ёстой (1 метрийн тавцан нь удаан хугацааны нэг цэгийн тулгуураас болж 0.3μм-ээр унжиж болно).
Урт хугацааны орон нутгийн дарамтаас зайлсхийхийн тулд тавцангийн тулгуур цэгүүдийн байрлалыг тогтмол (сар бүр) хөдөлгөж байгаарай.
Тээврийн хамгаалалтын төлөвлөгөө
Богино зайд тээвэрлэх: Цочрол шингээгч хөөсөөр боож, хатуу хүрээнд бэхлээд, хурдатгалыг 2г дотор байлгана.
Холын зайн тээвэрлэлт: Үүнийг вакуум савлаж, хуурай азотоор дүүргэх шаардлагатай. Ирсний дараа конденсацийн ус нарийвчлалд нөлөөлөхөөс сэргийлж, температур тэнцвэрт хүрэх хүртэл 24 цагийн турш байлгаж, савлагааг задлах хэрэгтэй.
5. Алдааг урьдчилан таамаглах: Эрт үеийн асуудлуудыг тодорхойлох аргууд
Харааны үзлэг: 40 дахин томруулдаг шилээр гадаргууг тогтмол ажигла. Хэрэв тасралтгүй зураас эсвэл гялбаа мэдэгдэхүйц буурсан бол энэ нь нарийвчлал буурч байгааг илтгэж болно.
Дуу чимээ илрүүлэх: Тавцан дээр зөөлөн товшино уу. Хэрэв дуу сөөнгөтвөл (ихэвчлэн тод дуу чимээ байх ёстой) дотор нь бичил хагарал байж магадгүй. Илрүүлэхийн тулд ашиглахаа нэн даруй зогсооно уу.
Энэхүү засвар үйлчилгээний системийн тусламжтайгаар ZHHIMG® боржин чулуун тавцан нь ±1μm/m тэгш байдлыг 10 жилийн турш хадгалах боломжтой бөгөөд энэ нь зохих ёсоор засвар үйлчилгээ хийдэггүй тавцангийн нарийвчлалын ашиглалтын хугацаанаас гурав дахин их юм. Тодорхой хагас дамжуулагчийн үйлдвэр энэ шийдлийг хэрэгжүүлсний дараа тавцангийн тохируулгын давтамж 50%-иар буурч, жилийн засвар үйлчилгээний зардлыг 150,000 гаруй юаниар хэмнэсэн нь практик дээр батлагдсан.
Нийтэлсэн цаг: 2025 оны 6-р сарын 18