Хэт нарийвчлалтай хөдөлгөөний хяналтын салбарт агаарын хөвөгч хэт нарийвчлалтай хөдөлгөөний модуль нь үрэлтгүй, өндөр нарийвчлалтай хөдөлгөөний шинж чанараараа олон өндөр зэрэглэлийн үйлдвэрлэл, шинжлэх ухааны судалгааны хувилбаруудад тохиромжтой сонголт болсон. Боржин чулуун нарийвчлалтай суурийг нэвтрүүлснээр гүйцэтгэлийг сайжруулахын тулд хүчтэй хүчийг шахах боловч энэ хоёрын хослол төгс биш юм.
Нэгдүгээрт, мэдэгдэхүйц давуу талууд
Маш сайн тогтвортой байдал: Сая сая жилийн геологийн өөрчлөлтийн дараа боржин чулуу нь дотоод бүтэц нь нягт, жигд бөгөөд голчлон кварц, хээрийн жонш болон бусад эрдэс бодисууд нягт нийлдэг. Энэхүү өвөрмөц бүтэц нь боржин чулуун сууринд маш сайн тогтвортой байдлыг өгдөг. Эргэн тойрны том тоног төхөөрөмжийн ажиллагаа, орчны температурын хэлбэлзлээс үүдэлтэй чичиргээ зэрэг гадны нөлөөллийн эсрэг боржин чулуун суурь нь үр дүнтэйгээр хааж, сулруулж чаддаг. Электрон чип үйлдвэрлэлийн цехэд машин механизм болон бусад тоног төхөөрөмж байнга ажилладаг бөгөөд боржин чулуун суурь нь агаарын хөвөгч рүү дамжуулсан хэт нарийвчлалтай хөдөлгөөний модулийн чичиргээний далайцыг 80%-иас дээш бууруулж, модулийн жигд хөдөлгөөнийг хангаж, чип үйлдвэрлэлийн процесст литографи, сийлбэр зэрэг өндөр нарийвчлалтай процессуудын тогтвортой суурийг тавьж, чип үйлдвэрлэлийн гарцыг эрс сайжруулдаг.
Хэт өндөр нарийвчлалтай хадгалах: Агаарын хөвөгч төхөөрөмжийн хэт нарийвчлалтай хөдөлгөөний модуль нь маш өндөр нарийвчлал шаарддаг бөгөөд боржин чулуун суурийн бага тэлэлтийн коэффициентийн давуу тал нь үүнд гол үүрэг гүйцэтгэдэг. Ерөнхий боржин чулуун материалын дулааны тэлэлтийн коэффициент нь 5-7 × 10⁻⁶/℃ бөгөөд энэ нь ердийн металл материалаас хамаагүй бага юм. Температур өөрчлөгдөхөд суурийн хэмжээ маш бага өөрчлөгддөг. Одон орон судлалын салбарт боржин чулуун суурьтай дурангийн линзийг нарийн тохируулах зориулалттай агаарын хөвөгч төхөөрөмжийн хэт нарийвчлалтай хөдөлгөөний модуль нь өдөр шөнийн температурын зөрүү их байсан ч линзийн байрлалын нарийвчлалыг микроноос доош түвшинд байлгах боломжийг олгодог бөгөөд энэ нь одон орон судлаачдад алслагдсан тэнгэрийн биетүүдийг тодорхой ажиглахад тусалдаг.
Сайн элэгдэлд тэсвэртэй, урт хугацааны эдэлгээтэй: Агаарт хөвөгч хэт нарийвчлалтай хөдөлгөөнт модуль нь ашиглалтын явцад шууд үрэлтийг бууруулдаг ч урт хугацаанд ашиглахад тодорхой хэмжээний элэгдэлд орох эрсдэл байсаар байна. Боржин чулуун хатуулаг өндөр, Мохсын хатуулаг 6-7 хүрч чаддаг, элэгдэлд тэсвэртэй. Материалын шинжлэх ухааны лабораторид байнга ашиглагддаг агаарын хөвөгч хэт нарийвчлалтай хөдөлгөөнт модуль болох боржин чулуун суурь нь ердийн металл суурьтай харьцуулахад агаарын хөвөгч гулсагчийн үрэлтийг үр дүнтэй эсэргүүцэж, модулийн засвар үйлчилгээний мөчлөгийг 50%-иас дээш хувиар сунгаж, тоног төхөөрөмжийн засвар үйлчилгээний зардлыг бууруулж, шинжлэх ухааны судалгааны ажлын тасралтгүй байдлыг хангаж чадна.
Хоёрдугаарт, дутагдалтай талууд бий
Өндөр өртөг: Өндөр чанартай боржин чулуун түүхий эдийг худалдан авах өртөг өндөр бөгөөд олборлолт, тээвэрлэлт, боловсруулалт нь илүү төвөгтэй тул мэргэжлийн тоног төхөөрөмж, технологи шаарддаг. Тохирох боржин чулуун хүдрийг олборлохоос эхлээд өндөр нарийвчлалын шаардлагыг хангасан хэт нарийвчлалтай агаарын хөвөгч хөдөлгөөнт модулийн суурь болгон боловсруулах хүртэл өндөр нарийвчлалтай зүсэх, нунтаглах, өнгөлөх гэх мэт олон нарийн процессууд явагддаг бөгөөд энэ нь боржин чулуун нарийвчлалтай суурийн үйлдвэрлэлийн зардлыг эрс нэмэгдүүлдэг. Металл зэрэг бусад материалтай харьцуулахад өртөг нь хэд дахин эсвэл түүнээс дээш өндөр байж болох бөгөөд энэ нь ялангуяа хязгаарлагдмал төсөвтэй жижиг аж ахуйн нэгжүүд эсвэл шинжлэх ухааны судалгааны байгууллагуудын хувьд өргөн хүрээтэй хэрэглээг тодорхой хэмжээгээр хязгаарладаг.
Илүү хүнд жин: Боржин чулууны нягтрал харьцангуй өндөр, ойролцоогоор 2.6-3.1г/см³ байдаг тул боржин чулууны нарийвчлалтай суурь илүү хүнд болдог. Тоног төхөөрөмжийг суурилуулах, зөөвөрлөх явцад мэргэжлийн өргөх тоног төхөөрөмж, хүн хүч шаардлагатай байдаг нь угсралт болон тээврийн зардлыг нэмэгдүүлдэг. Тоног төхөөрөмжийн орон зайн зохион байгуулалтын өндөр уян хатан байдал шаарддаг зарим тохиолдолд хүнд суурь нь агаарын хөвөгч онгоцны хэт нарийвчлалтай хөдөлгөөний модулийг тохиромжтой хөдөлгөөн, дахин суурилуулахыг хязгаарлаж, тоног төхөөрөмжийн үр ашиг, дасан зохицох чадварт нөлөөлдөг.
Боловсруулахад хэцүү: боржин чулуу нь өндөр хатуулаг, хэврэгшилтэй бөгөөд боловсруулах тоног төхөөрөмж, процессын шаардлага маш хатуу байдаг. Машин боловсруулах явцад хагарал, цууралт болон бусад согог үүсэх нь амархан бөгөөд боловсруулалтын нарийвчлал болон гадаргуугийн чанарыг хангахад хэцүү байдаг. Агаарын хөвөгч төхөөрөмжийн хэт нарийвчлалтай хөдөлгөөний модульд шаардлагатай өндөр нарийвчлалтай тэгш, шулуун байдлыг хангахын тулд боловсруулалтын явцад олон туршилт, залруулга шаардлагатай бөгөөд боловсруулалтын мөчлөг урт, татгалзах түвшин өндөр байдаг нь үйлдвэрлэлийн зардал болон цаг хугацааны зардлыг улам нэмэгдүүлдэг.
Боржин чулуун нарийвчлалтай суурьтай хэт нарийвчлалтай хөдөлгөөний модуль нь тогтвортой байдал, нарийвчлалын хувьд гайхалтай давуу талтай бөгөөд энэ нь өндөр нарийвчлалын шаардлага бүхий өндөр зэрэглэлийн талбайд тохиромжтой боловч өртөг, жин, боловсруулалтын хүндрэл зэрэг богино самбарыг практик хэрэглээнд цогцоор нь авч үзэх шаардлагатай бөгөөд давуу болон сул талуудыг жинлэсний дараа боломжийн сонголт хийдэг.
Нийтэлсэн цаг: 2025 оны 4-р сарын 8