Хагас дамжуулагч үйлдвэрлэлийн "нано нарийвчлал"-ын эцсийн тулаанд вафли огтлох төхөөрөмжийн өчүүхэн алдаа ч чипийг хаягдал болгож болзошгүй юм. Боржин чулуун суурь нь ±5 мкм давталтын байрлалын нарийвчлалыг хянадаг, гурван байгалийн гайхамшгаараа нарийн үйлдвэрлэлийн дүрмийг дахин бичдэг алдартай баатар юм.
Дулааны деформацийн эсрэг "тогтворжуулагч зангуу": Боржин чулуун дулааны тэлэлтийн коэффициент нь 5-7 × 10⁻⁶/℃ хүртэл бага бөгөөд энэ нь металл материалынхаас гуравны нэгтэй тэнцүү юм. Вафер зүсэх төхөөрөмжийн өндөр хурдтай ажиллагааны улмаас үүссэн дулааны нөлөөллийн дор ердийн материалууд дулааны тэлэлт ба агшилтын улмаас деформацид орж, зүсэх толгойн байрлал шилждэг. Гэсэн хэдий ч боржин чулуун суурь нь "хөдөлгөөнгүй" хэвээр үлдэж, дулааны деформацийн улмаас үүссэн байрлалын хазайлтыг үндсэндээ арилгаж, нарийвчлалын бат бөх суурийг тавьдаг.
Чичиргээ шингээх "чимээгүй бамбай": Машины багаж хэрэгслийн тогтмол архирах чимээ болон цехийн тоног төхөөрөмжийн тасралтгүй чичиргээг нарийвчлалтайгаар "үхлийн аюултай" гэж үзэж болно. Боржин чулуун өвөрмөц талст бүтэц нь байгалийн цочрол шингээгчтэй адил бөгөөд тоног төхөөрөмжийн ажиллагааны явцад үүссэн гадаад чичиргээ болон механик чичиргээг дулааны энерги болгон хурдан хувиргаж, тархах чадвартай. Бусад суурь нь чичиргээний улмаас "найгаж" байгаа ч боржин чулуун суурь нь зүсэх толгойд хөдөлгөөнгүй тогтвортой тавцан бий болгож, ±5 мкм нарийвчлалыг боломжтой болгосон.
Зэврэлтэнд тэсвэртэй "Мөнхийн цайз": Хагас дамжуулагчийн цехүүд нь сийлбэрийн уусмал, хүчил ба шүлтийн цэвэрлэгч зэрэг зэврэлттэй бодисоор дүүрэн байдаг. Ийм орчинд металл суурь нь аажмаар зэврэх, деформацид ордог. Байгалийн химийн тогтвортой байдалтай боржин чулуу нь эдгээр химийн бодисуудтай огт урвалд ордоггүй. Хэдэн жил ашигласан ч гэсэн бүтцийн бүрэн бүтэн байдлыг хадгалж, өндөр нарийвчлалтай зүсэлтийг тасралтгүй хангаж чаддаг.
Материалын авьяас чадвараас эхлээд хэт нарийвчлалтай боловсруулалт хүртэл боржин чулуун суурь нь бүх материал хагас дамжуулагч үйлдвэрлэлийн хатуу сорилтыг даван туулж чаддаггүй гэдгийг бат бөх чанараараа харуулсан. Чухам эдгээр орлуулшгүй байгалийн давуу талуудын ачаар боржин чулуун суурь нь ±5 мкм давтан байрлуулах нарийвчлалд хүрэхийн тулд вафли огтлох төхөөрөмжийн гол түлхүүр болж, хагас дамжуулагчийн салбарыг илүү өндөр нарийвчлал руу тасралтгүй шилжихэд түлхэц болсон юм!
Нийтэлсэн цаг: 2025 оны 5-р сарын 14